エアフローティングテーブル
非接触ハンドリングを備えたセラミックエアフローティングプラットフォーム
従来の空気浮上プラットフォームは、一般的に小孔絞り、トーラス絞り、またはスリット絞り技術を採用しており、加工技術が簡単という特徴がありますが、供給空気圧が変化すると笛のような現象が発生しやすく、音が鋭く、支持力も変動するため、静かで安定した圧力作業環境に適していません。
従来のTFT-LCDガラス基板搬送は、ロボットアーム（Robots）やAGV（Automated guided vehicle）システムによって行われています。ガラス基板の生産工程では、搬送プラットフォーム（またはローラー）との接触操作となります。ガラス基板が搬送プラットフォームやローラーに接触すると、接触や摩擦により、角欠け、ひび割れ、損傷、汚染、ガラス基板表面の静電気などの損傷や欠陥問題が発生し、生産歩留まりや製品品質に影響を与えます。ローラー回転搬送負荷の使用に加えて、依然として克服すべき技術的な問題があります。これらの問題は、大型ガラス基板の生産効率に深刻な影響を及ぼし、早急に改善する必要があります。非接触エアフローティングプラットフォーム技術が、従来の接触搬送技術から生じる問題を置き換えることができれば、効果的な解決策となります。 エアフローティングシステムの利点：
1. 摩擦ゼロ。
2. 摩耗ゼロ。
3. 直線運動、回転運動が適用可能です。
4. 静かでスムーズな操作。
5. より高い減衰力。
6. 油を取り除く。
エアフローティングプラットフォームの構造は、ベースに埋め込まれたナノ多孔質セラミックスによって真空チャンバーを形成することで構成されています。水や油分を含まないクリーンな圧縮空気が、ガス管を通してベアリング面とエアフローティングガイドレール間のエアモードギャップに供給されます。このエアモードギャップを流れるガスが、ベアリング面をエアフローティングガイドレール上に浮上させます。このガスは潤滑剤として作用し、摩擦なく物体を移動または搬送します。
共通エアフロート穴の構造：
a) オリフィス絞り構造
b) 多孔質構造
最大カスタマイズサイズ：長さ1600mm、幅1000mm
非接触搬送・荷役装置は、主にガラス基板の大型化に伴う従来のハンドリング技術の課題を改善することを目的としています。搬送・荷役工程において、作業対象物と直接接触しないため、汚染物質の付着、応力、静電気の発生、ガラス基板への損傷を回避できます。また、多孔質材料を使用することで、ガスの流れを大幅に低減し、均一な空気圧と良好なエアクッション分布を実現し、作業に必要な十分な浮上高さを確保します。