Hjem
Materialer
0102030405
Siliciumcarbid bruges til korrosionsbestandige dele, tætningsdele, højtemperaturbestandige dele, styreskinner og firkantede bjælker
Siliciumcarbidkeramik har fremragende mekaniske egenskaber ved normal temperatur, såsom høj styrke, høj hårdhed, højt elasticitetsmodul, fremragende højtemperaturstabilitet, såsom høj varmeledningsevne, lav termisk udvidelseskoefficient og god specifik stivhed og optiske bearbejdningsegenskaber, særligt velegnet til fremstilling af fotolitografimaskiner og andet integreret kredsløbsudstyr til præcisionskeramiske strukturdele. Såsom brugt i fotolitografi maskine præcision bevægelige emne bord, skelet, sugekop, vandkølet plade og præcisionsmåling spejl, rist og andre keramiske strukturelle dele, Fountyl nyt materiale efter mange års teknisk forskning, løse den store størrelse, tynd væg, hule og andre komplekse strukturer af siliciumcarbid strukturelle dele præcision behandling og forberedelse problemer, bryde gennem den tekniske flaskehals af denne form for præcision siliciumcarbid strukturelle dele forberedelse teknologi. Det har i høj grad fremmet lokaliseringen af vigtige strukturelle dele, der bruges i udstyr til fremstilling af integrerede kredsløb.
● Siliciumcarbidkeramik omfatter hovedsageligt trykløst sintrende siliciumcarbid (SSiC), reaktionssintret siliciumcarbid (RBSC), kemisk dampaflejring siliciumcarbid (CVD-SiC).
● Siliciumcarbid har en række fremragende egenskaber: superhård, slidstyrke, høj termisk ledningsevne og mekanisk styrke, lav termisk udvidelseskoefficient, fremragende termisk stabilitet, lav densitet, høj specifik stivhed, ikke-magnetisk.
● På nuværende tidspunkt anvendes siliciumcarbidkeramik i forskellige industrier såsom luftfart, rumfart og nuklear industri, såsom keramiske dele af high-end udstyr til siliciumcarbid keramisk reflektor og IC-integreret kredsløbsfremstilling, varmevekslere og skudsikre materialer under ekstreme forhold.
Funktioner af præcision keramiske strukturelle dele til integreret kredsløb fremstillingsudstyr:
① Meget let: For at reducere bevægelsesinertien, reducere motorbelastningen, forbedre bevægelseseffektiviteten, positioneringsnøjagtigheden og stabiliteten, bruger de strukturelle dele generelt letvægtsstrukturdesign, letvægtshastigheden er 60-80%, op til 90%;
② Høj form-positionsnøjagtighed: For at opnå bevægelse og positionering med høj præcision skal de strukturelle dele have ekstrem høj form- og positionsnøjagtighed, fladheden, paralleliteten og vinkelretheden skal være mindre end 1μm, og formen og positionsnøjagtigheden skal være mindre end 5μm.
③ Høj dimensionel stabilitet: For at opnå høj præcision bevægelse og positionering, skal strukturelle dele have ekstrem høj dimensionsstabilitet, ikke at producere belastning, og høj varmeledningsevne, lav termisk udvidelseskoefficient, ikke let at producere store dimensionelle deformationer ;
④ Ren og forureningsfri. De strukturelle dele skal have ekstremt lav friktionskoefficient, lille kinetisk energitab under bevægelse og ingen slibepartikelforurening. Siliciumcarbidmateriale har et meget højt elasticitetsmodul, termisk ledningsevne og lav termisk udvidelseskoefficient, er ikke let at producere bøjningsspændingsdeformation og termisk belastning, og har fremragende polerbarhed, kan bearbejdes til fremragende spejl; Derfor har det store fordele at bruge siliciumcarbid som det præcise strukturelle materiale til nøgleudstyret i integrerede kredsløb såsom fotolitografimaskine, siliciumcarbid har fordelene ved god kemisk stabilitet, høj mekanisk styrke, høj termisk ledningsevne og lav termisk udvidelseskoefficient, og kan anvendes i høje temperaturer, højt tryk, korrosion og stråling i ekstreme miljøer.
Siliciumcarbid har fordelene ved god kemisk stabilitet, høj mekanisk styrke, høj termisk ledningsevne og lav termisk udvidelseskoefficient og kan anvendes i høje temperaturer, højt tryk, korrosion og stråling i ekstreme miljøer.
Nøgleudstyret til integreret kredsløb kræver, at komponentmaterialerne har egenskaberne letvægt, høj styrke, høj termisk ledningsevne og lav termisk udvidelseskoefficient og er tætte og ensartede uden defekter. Komponenter skal have ekstrem høj dimensionsnøjagtighed og dimensionsstabilitet for at sikre ultra-præcision bevægelse og kontrol af udstyret. Siliciumcarbid keramik har et højt elasticitetsmodul og specifik stivhed, ikke let at deformere, og har en høj termisk ledningsevne og lav termisk udvidelseskoefficient, høj termisk stabilitet, så siliciumcarbid keramik er et fremragende strukturelt materiale, som i øjeblikket er i den integrerede kredsløbsfremstilling af nøgleudstyr til at opnå en bred vifte af applikationer, såsom litografimaskine med arbejdsbord af siliciumkarbid, styreskinne, reflektor, keramisk borepatron og keramisk endeeffektor.
Fountyl kan møde fotolitografimaskinen som repræsentant for det integrerede kredsløbsfremstillingsnøgleudstyr med stor størrelse, hul tynd væg, kompleks struktur, præcisionsteknologi til fremstilling af siliciumcarbidstrukturdele, såsom: siliciumcarbidvakuumpatron, styreskinne, reflektor, arbejdsbord og en række præcision siliciumcarbid strukturelle dele til fotolitografi maskine.
| Ejendomme | Fountyl | ||
| Massefylde (g/cm3) | 2,98-3,02 | ||
| Youngs modul (GPa) | 368 | ||
| Bøjningsstyrke (MPa) | 334 | ||
| Weibull | 8.35 | ||
| CTE（×10-6/℃） | 100 ℃ | 2,8×10-6 | |
| 400 ℃ | 3,6×10-6 | ||
| 800 ℃ | 4,2×10-6 | ||
| 1000 ℃ | 4,6×10-6 | ||
| Termisk ledningsevne (W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| Poissons forhold | 0,187 | ||
| Forskydningsmodul (GPa) | 155 | ||