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Des produits
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Mandrin électrostatique avec compatibilité, haute densité, haute résistance structurelle avec personnalisation
Caractéristiques
Compatibilité | Personnalisation | Haute densité | Haute résistance structurelle | Délai de livraison rapide | Rentable
Applications
Lon-implantation | Couche mince | Gravure | Développement de processus | Conception d'équipement
Conception et fabrication
Fab de 12 pouces livré pour vérifier les performances réelles, assurer la régénération et la réparation, ainsi que vérifier le développement et la conception.
Avec le développement des équipements de traitement et de la technologie de traitement des semi-conducteurs et des circuits intégrés, les mandrins électrostatiques traditionnels utilisant des matériaux polymères organiques, des oxydes métalliques et des matériaux céramiques comme diélectriques ne sont pas entièrement compatibles avec des matériaux tels que les plaquettes de silicium, le saphir et le carbure de silicium. Par conséquent, des mandrins électrostatiques compatibles avec les pinces pour plaquettes semi-conductrices de première, deuxième et troisième générations se développeront progressivement.
Mandrin/chauffage électrostatique en polymère
Le matériau diélectrique polymère (polymère) est actuellement le matériau de mandrin électrostatique le plus largement utilisé, son processus de préparation est également le matériau diélectrique polymère le plus mature après le traitement de modification du polymère, les propriétés électriques, mécaniques, de résistance à la température et de résistance aux halogènes seront grandement améliorées. Le matériau diélectrique est modelé par d'autres opérations intégrées, puis superposé par une charge lourde sous vide à plusieurs étages, et une couche d'isolation diélectrique dense est formée entre les électrodes internes.
Mandrin électrostatique en polymère
La technologie de modification des polymères est utilisée pour obtenir une résistivité globale et une constante diélectrique relative plus élevées, ainsi qu'une force de serrage plus stable.
Les matériaux diélectriques haute densité peuvent réduire le risque de particules et réduire la mobilité des ions.
La diversité des objets de serrage peut être compatible avec le serrage de tranches de matériaux différents.
Excellente résistance à la corrosion en atmosphère halogène et plasma.
Performances élevées, période d'acceptation courte, adaptées au développement de processus de produits et à la vérification du développement de nouveaux équipements.
Mandrin électrostatique en polymère avec chauffage
Il peut réaliser la disposition de plusieurs zones de température de chauffage (jusqu'à 20 zones de température) et présente une bonne uniformité de température de chauffage (± 5 % ℃ à 150 ℃).
La technologie de laminage sous vide est utilisée pour atteindre une densité extrêmement élevée et des températures de chauffage allant jusqu'à 200°C.
Courbe de chauffage uniforme, avec une plus large gamme de réglages de courbe de température.
Performances élevées, période d'acceptation courte, adaptées au développement de processus de produits et à la vérification du développement de nouveaux équipements.
Mandrin/chauffage électrostatique en céramique
La technologie de coagulation céramique est un processus de frittage amélioré dans le développement de mandrins et de radiateurs électrostatiques en céramique d'alumine/nitrure d'aluminium. Son objectif est d'utiliser une variété de poudres céramiques de diamètre nanométrique, qui sont mélangées dans une certaine proportion grâce à un équipement de mélange et un processus de mélange uniques. Des mandrins électrostatiques en céramique à haute densité, structure cristalline stable et distribution uniforme de résistivité ont été frittés avec une certaine courbe de température de frittage dans un équipement de frittage. Le mandrin statique fabriqué par la technologie de coagulation céramique a une structure cristalline stable et à haute densité et une distribution uniforme de la résistivité volumique, et peut réaliser la fonction de serrage normale de la puce dans un environnement difficile sous vide poussé, plasma et halogène.
Mandrin électrostatique Al₂O₃
La résistivité volumique est contrôlée par la technologie céramique de coagulation et le processus de co-cuisson pour obtenir une force de maintien plus longue.
La structure interne du frittage à haute température est dense et la structure cristalline est stable, et la capacité de rétention d'un intervalle de température plus grand peut être obtenue.
Le moulage par co-cuisson intégré réduit la migration des ions.
Fonctionnement durable dans une atmosphère sous vide plasma halogène.
Mandrin électrostatique AlN
En contrôlant la composition et la proportion du matériau béton, la résistivité volumique peut être contrôlée et la capacité de rétention dans un intervalle de température plus large peut être obtenue.
La répartition uniforme des zones de température est assurée par la technologie de frittage et le processus de cocuisson de la céramique de béton.
Moulage par co-cuisson intégré pour maximiser la qualité du produit.
Fonctionnement durable dans une atmosphère sous vide plasma halogène.
Mandrin électrostatique en céramique avec chauffage
Il peut réaliser la disposition de plusieurs zones de température de chauffage et présente une bonne uniformité de température de chauffage (± 7,5 % ℃ à 350 ℃).
La technologie de frittage par stratification sous vide est utilisée pour atteindre des températures de densification et de chauffage extrêmement élevées jusqu'à 550 ℃.
Moulage par co-cuisson intégré pour maximiser la qualité du produit.
Fonctionnement durable dans une atmosphère sous vide plasma halogène.
Mandrin/chauffage électrostatique de type complexe
Peut être compatible avec le silicium, l'arséniure de gallium, le carbure de silicium, le saphir du serrage des plaquettes, peut réduire les coûts de changement de fil des fabricants d'équipements et des utilisateurs finaux. Basé sur la technologie de la céramique du béton et la technologie de modification des polymères, l'utilisation d'une technologie intégrée de stratification sous vide et de liaison à chaud peut réduire la résistance thermique interne de la ventouse électrostatique, obtenir une uniformité de température interne, former une couche d'isolation diélectrique dense pour améliorer les performances de résistance à la migration des ions.
Mandrin électrostatique de type complexe
L'utilisation de la technologie de modification du béton, de la céramique et des polymères permet d'obtenir une structure plus dense et un dégagement de gaz plus faible.
Contrôle plus strict de la couche diélectrique et de l’épaisseur du banc d’électrodes.
La diversité des objets de serrage peut être compatible avec le serrage de différentes tranches.
La résistivité du corps peut être contrôlée avec précision pour obtenir une capacité de rétention électrostatique plus forte.
Performances élevées, période d'acceptation courte, adaptées au développement de processus de produits et à la vérification du développement de nouveaux équipements.
Mandrin électrostatique de type complexe avec chauffage
Il peut réaliser la disposition de plusieurs zones de température de chauffage et présente une bonne uniformité de température de chauffage (± 3,5 % ℃ à 150 ℃).
La technologie de laminage sous vide est utilisée pour atteindre une densité extrêmement élevée et des températures de chauffage allant jusqu'à 200°C.
Courbe de chauffage uniforme, avec une plus large gamme de réglages de courbe de température.
Performances élevées, période d'acceptation courte, adaptées au développement de processus de produits et à la vérification du développement de nouveaux équipements.