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Mandrino elettrostatico con compatibilità, alta densità, elevata resistenza strutturale con personalizzazione
Caratteristiche
Compatibilità | Personalizzazione | Alta densità | Elevata resistenza strutturale | Tempi di consegna rapidi | Conveniente
Applicazioni
Impianto Lon | Pellicola sottile | Acquaforte | Sviluppo del processo | Progettazione di apparecchiature
Progettazione e produzione
Fab da 12 pollici consegnato per verificare le prestazioni effettive, fornire rigenerazione e riparazione e verificare lo sviluppo e la progettazione.
Con lo sviluppo delle apparecchiature di processo e della tecnologia di processo di semiconduttori e circuiti integrati, i tradizionali mandrini elettrostatici che utilizzano materiali polimerici organici, ossidi metallici e materiali ceramici come dielettrici non sono completamente compatibili con materiali come wafer di silicio, zaffiro e carburo di silicio. Pertanto, si svilupperanno gradualmente mandrini elettrostatici compatibili con le pinze per wafer semiconduttori di prima, seconda e terza generazione.
Mandrino/riscaldatore elettrostatico polimerico
Il materiale dielettrico polimerico (polimero) è attualmente il materiale del mandrino elettrostatico più utilizzato, il suo processo di preparazione è anche il materiale dielettrico polimerico più maturo dopo il trattamento di modifica del polimero, le proprietà elettriche, meccaniche, di resistenza alla temperatura e di resistenza agli alogeni saranno notevolmente migliorate. Il materiale dielettrico viene modellato mediante altre operazioni integrate, quindi stratificato mediante carico pesante sotto vuoto multistadio e tra gli elettrodi interni viene formato un denso strato di isolamento dielettrico.
Mandrino elettrostatico polimerico
La tecnologia di modifica del polimero viene utilizzata per ottenere una maggiore resistività di massa e costante dielettrica relativa e ottenere una forza di serraggio più stabile.
I materiali dielettrici ad alta densità possono ridurre il rischio di particolato e ridurre la mobilità ionica.
La diversità degli oggetti di bloccaggio può essere compatibile con il bloccaggio di wafer di materiali diversi.
Eccellente resistenza alla corrosione in atmosfere alogene e al plasma.
Prestazioni ad alto costo, breve periodo di accettazione, adatto per lo sviluppo del processo del prodotto e la verifica dello sviluppo di nuove apparecchiature.
Mandrino elettrostatico in polimero con riscaldatore
Può realizzare la disposizione di più zone di temperatura di riscaldamento (fino a 20 zone di temperatura) e ha una buona uniformità della temperatura di riscaldamento (±5%℃@150℃).
La tecnologia di laminazione sotto vuoto viene utilizzata per ottenere densità estremamente elevate e temperature di riscaldamento fino a 200 ° C.
Curva di riscaldamento uniforme, con una gamma più ampia di impostazioni della curva di temperatura.
Prestazioni ad alto costo, breve periodo di accettazione, adatto per lo sviluppo del processo del prodotto e la verifica dello sviluppo di nuove apparecchiature.
Mandrino/riscaldatore elettrostatico in ceramica
La tecnologia di coagulazione della ceramica è un processo di sinterizzazione migliorato nello sviluppo di mandrini e riscaldatori elettrostatici in ceramica di allumina/nitruro di alluminio. Il suo nucleo è l'utilizzo di una varietà di polveri ceramiche di diametro nanometrico, che vengono miscelate in una certa proporzione attraverso un'apparecchiatura di miscelazione e un processo di miscelazione unici. I mandrini elettrostatici in ceramica con alta densità, struttura cristallina stabile e distribuzione uniforme della resistività sono stati sinterizzati con una determinata curva della temperatura di sinterizzazione nelle apparecchiature di sinterizzazione. Il mandrino statico prodotto con tecnologia di coagulazione ceramica ha un'alta densità, una struttura cristallina stabile e una distribuzione uniforme della resistività del volume e può realizzare la normale funzione di bloccaggio del chip in ambienti difficili sotto alto vuoto, plasma e alogeni.
Mandrino elettrostatico Al₂O₃
La resistività del volume è controllata dalla tecnologia della ceramica di coagulazione e dal processo di co-cottura per ottenere una forza di tenuta più lunga.
La struttura interna della sinterizzazione ad alta temperatura è densa e la struttura cristallina è stabile ed è possibile ottenere la capacità di ritenzione di un intervallo di temperatura più ampio.
Lo stampaggio a co-combustione integrato riduce la migrazione degli ioni.
Funzionamento duraturo in atmosfera di vuoto al plasma alogeno.
Mandrino elettrostatico AlN
Controllando la composizione e la proporzione del materiale calcestruzzo, è possibile controllare la resistività del volume e ottenere la capacità di ritenzione in un intervallo di temperature più ampio.
La distribuzione uniforme delle zone di temperatura è garantita dalla tecnologia di sinterizzazione e dal processo di co-cottura della ceramica del calcestruzzo.
Stampaggio in co-cottura integrata per massimizzare la qualità del prodotto.
Funzionamento duraturo in atmosfera di vuoto al plasma alogeno.
Mandrino elettrostatico in ceramica con riscaldatore
Può realizzare la disposizione di più zone di temperatura di riscaldamento e ha una buona uniformità della temperatura di riscaldamento (±7,5%℃@350℃).
La tecnologia di sinterizzazione della laminazione sotto vuoto viene utilizzata per raggiungere temperature di densificazione e riscaldamento estremamente elevate fino a 550 ℃.
Stampaggio in co-cottura integrata per massimizzare la qualità del prodotto.
Funzionamento duraturo in atmosfera di vuoto al plasma alogeno.
Mandrino/riscaldatore elettrostatico di tipo complesso
Può essere compatibile con silicio, arseniuro di gallio, carburo di silicio, zaffiro o bloccaggio di wafer, può ridurre i costi di cambio del filo dei produttori di apparecchiature e degli utenti finali. Basato sulla tecnologia della ceramica del calcestruzzo e sulla tecnologia di modificazione dei polimeri, l'uso della laminazione sotto vuoto integrata e della tecnologia di incollaggio a caldo può ridurre la resistenza termica interna della ventosa elettrostatica, raggiungere l'uniformità della temperatura interna, formare uno strato isolante dielettrico denso per migliorare le prestazioni di resistenza alla migrazione ionica.
Mandrino elettrostatico di tipo complesso
L'uso della tecnologia di modificazione dei polimeri e della ceramica del calcestruzzo ha una struttura più densa e un rilascio di gas inferiore.
Controllo più rigoroso dello strato dielettrico e dello spessore del banco di elettrodi.
La diversità degli oggetti di bloccaggio può essere compatibile con il bloccaggio di diversi wafer.
La resistività del corpo può essere controllata accuratamente per ottenere una maggiore capacità di ritenzione elettrostatica.
Prestazioni ad alto costo, breve periodo di accettazione, adatto per lo sviluppo del processo del prodotto e la verifica dello sviluppo di nuove apparecchiature.
Mandrino elettrostatico di tipo complesso con riscaldatore
Può realizzare la disposizione di più zone di temperatura di riscaldamento e ha una buona uniformità della temperatura di riscaldamento (±3,5%℃@150℃).
La tecnologia di laminazione sotto vuoto viene utilizzata per ottenere densità estremamente elevate e temperature di riscaldamento fino a 200 ° C.
Curva di riscaldamento uniforme, con una gamma più ampia di impostazioni della curva di temperatura.
Prestazioni ad alto costo, breve periodo di accettazione, adatto per lo sviluppo del processo del prodotto e la verifica dello sviluppo di nuove apparecchiature.