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Mandril electrostático con compatibilidad, alta densidad, alta resistencia estructural con personalización
Características
Compatibilidad | Personalización | Alta densidad | Alta resistencia estructural | Tiempo de entrega rápido | Económico
Aplicaciones
Implantación larga | Película delgada | Grabado | Desarrollo de procesos | Diseño de equipos
Diseño y Fabricación
Fab de 12 pulgadas entregada para verificar el desempeño real, proporcionar regeneración y reparación, y verificar el desarrollo y diseño.
Con el desarrollo de equipos de proceso y tecnología de procesos de semiconductores y circuitos integrados, los mandriles electrostáticos tradicionales que utilizan materiales poliméricos orgánicos, óxidos metálicos y materiales cerámicos como dieléctricos no son totalmente compatibles con materiales como obleas de silicio, zafiro y carburo de silicio. Por lo tanto, gradualmente se desarrollarán mandriles electrostáticos compatibles con las pinzas de obleas semiconductoras de primera, segunda y tercera generación.
Mandril/calentador electrostático de polímero
El material dieléctrico polimérico (polímero) es actualmente el material de mandril electrostático más utilizado, su proceso de preparación también es el material dieléctrico polimérico más maduro después del tratamiento de modificación del polímero, las propiedades eléctricas, mecánicas, de resistencia a la temperatura y de resistencia a los halógenos mejorarán enormemente. El material dieléctrico se modela mediante otras operaciones integradas y luego se estratifica mediante una carga pesada de vacío de múltiples etapas, y se forma una densa capa de aislamiento dieléctrico entre los electrodos internos.
Portabrocas electrostático de polímero
La tecnología de modificación de polímeros se utiliza para lograr una mayor resistividad aparente y una constante dieléctrica relativa, y obtener una fuerza de sujeción más estable.
Los materiales dieléctricos de alta densidad pueden reducir el riesgo de partículas y reducir la movilidad de los iones.
La diversidad de objetos de sujeción puede ser compatible con la sujeción de obleas de diferentes materiales.
Excelente resistencia a la corrosión en atmósferas halógenas y de plasma.
Rendimiento de alto costo, período de aceptación corto, adecuado para el desarrollo de procesos de productos y la verificación del desarrollo de nuevos equipos.
Mandril electrostático de polímero con calentador
Puede realizar el diseño de múltiples zonas de temperatura de calentamiento (hasta 20 zonas de temperatura) y tiene buena uniformidad de temperatura de calentamiento (±5%℃@150℃).
La tecnología de laminación al vacío se utiliza para lograr una densidad extremadamente alta y temperaturas de calentamiento de hasta 200 °C.
Curva de calentamiento uniforme, con una gama más amplia de configuraciones de curva de temperatura.
Rendimiento de alto costo, período de aceptación corto, adecuado para el desarrollo de procesos de productos y la verificación del desarrollo de nuevos equipos.
Mandril/calentador electrostático de cerámica
La tecnología de coagulación cerámica es un proceso de sinterización mejorado en el desarrollo de mandriles y calentadores electrostáticos cerámicos de alúmina/nitruro de aluminio. Su núcleo es utilizar una variedad de polvos cerámicos de diámetro nanométrico, que se mezclan en una determinada proporción mediante un equipo de mezcla y un proceso de mezcla únicos. Se sinterizaron mandriles electrostáticos cerámicos con alta densidad, estructura cristalina estable y distribución uniforme de resistividad con una determinada curva de temperatura de sinterización en equipos de sinterización. El mandril estático fabricado con tecnología de coagulación cerámica tiene alta densidad, estructura cristalina estable y distribución uniforme de resistividad de volumen, y puede realizar la función de sujeción normal del chip en ambientes hostiles bajo alto vacío, plasma y halógeno.
Mandril electrostático Al₂O₃
La resistividad del volumen se controla mediante tecnología cerámica de coagulación y proceso de cocción conjunta para obtener una fuerza de retención más prolongada.
La estructura interna de la sinterización a alta temperatura es densa y la estructura cristalina es estable, y se puede obtener la capacidad de retención de un intervalo de temperatura mayor.
El moldeado de co-combustión integrado reduce la migración de iones.
Funcionamiento duradero en atmósfera de vacío de plasma halógeno.
Mandril electrostático AlN
Al controlar la composición y proporción del material de concreto, se puede controlar la resistividad del volumen y se puede obtener la capacidad de retención en un intervalo de temperatura mayor.
La distribución uniforme de las zonas de temperatura está garantizada por la tecnología de sinterización y el proceso de cocción de la cerámica de hormigón.
Moldeo de co-cocción integrado para maximizar la calidad del producto.
Funcionamiento duradero en atmósfera de vacío de plasma halógeno.
Portabrocas electrostático de cerámica con calentador
Puede realizar el diseño de múltiples zonas de temperatura de calentamiento y tiene una buena uniformidad de temperatura de calentamiento (±7,5%℃@350℃).
La tecnología de sinterización por laminación al vacío se utiliza para lograr temperaturas de densificación y calentamiento extremadamente altas de hasta 550 ℃.
Moldeo de co-cocción integrado para maximizar la calidad del producto.
Funcionamiento duradero en atmósfera de vacío de plasma halógeno.
Mandril/calentador electrostático de tipo complejo
Puede ser compatible con silicio, arseniuro de galio, carburo de silicio y zafiro de sujeción de obleas, lo que puede reducir los costos de cambio de cables de los fabricantes de equipos y los usuarios finales. Basado en la tecnología cerámica de hormigón y la tecnología de modificación de polímeros, el uso de laminación al vacío integrada y tecnología de unión en caliente puede reducir la resistencia térmica interna de la ventosa electrostática, lograr uniformidad de temperatura interna y formar una capa densa de aislamiento dieléctrico para mejorar el rendimiento de la resistencia a la migración de iones.
Mandril electrostático de tipo complejo
El uso de tecnología de modificación de polímeros y cerámica de hormigón tiene una estructura más densa y una menor liberación de gas.
Control más estricto de la capa dieléctrica y del espesor del banco de electrodos.
La diversidad de objetos de sujeción puede ser compatible con la sujeción de diferentes obleas.
La resistividad del cuerpo se puede controlar con precisión para obtener una mayor capacidad de retención electrostática.
Rendimiento de alto costo, período de aceptación corto, adecuado para el desarrollo de procesos de productos y la verificación del desarrollo de nuevos equipos.
Mandril electrostático de tipo complejo con calentador
Puede realizar el diseño de múltiples zonas de temperatura de calentamiento y tiene una buena uniformidad de temperatura de calentamiento (±3,5%℃@150℃).
La tecnología de laminación al vacío se utiliza para lograr una densidad extremadamente alta y temperaturas de calentamiento de hasta 200 °C.
Curva de calentamiento uniforme, con una gama más amplia de configuraciones de curva de temperatura.
Rendimiento de alto costo, período de aceptación corto, adecuado para el desarrollo de procesos de productos y la verificación del desarrollo de nuevos equipos.