itthon
Termékek
Elektrosztatikus tokmány kompatibilitással, nagy sűrűségű, magas szerkezeti szilárdsággal, egyedileg
Jellemzők
Kompatibilitás | Testreszabás | Nagy sűrűségű | Nagy szerkezeti szilárdság | Gyors szállítási idő | Költséghatékony
Alkalmazások
Hosszú beültetés | Vékony film | Etch | Folyamatfejlesztés | Berendezés tervezés
Tervezés és gyártás
12 hüvelykes Fab a tényleges teljesítmény ellenőrzésére, regenerálásra és javításra, valamint a fejlesztés és a tervezés ellenőrzésére.
A félvezető és integrált áramkörök technológiai és technológiai fejlesztésével a hagyományos elektrosztatikus tokmányok, amelyek dielektrikumként szerves polimer anyagokat, fém-oxidokat és kerámia anyagokat használnak, nem teljesen kompatibilisek olyan anyagokkal, mint a szilícium lapkák, zafír és szilícium-karbid. Ezért fokozatosan kifejlesztik az első, második és harmadik generációs félvezető lapka megfogókkal kompatibilis elektrosztatikus tokmányokat.
Polimer elektrosztatikus tokmány / fűtés
A polimer dielektromos anyag (Polymer) jelenleg a legszélesebb körben használt elektrosztatikus tokmányanyag, az előállítási folyamata is a legérettebb, polimer dielektromos anyag a polimer módosítási kezelés után, az elektromos, mechanikai, hőmérséklet-állóság, halogénállóság tulajdonságai jelentősen javulnak. A dielektromos anyagot egyéb integrált műveletekkel mintázzák, majd többlépcsős vákuumterheléssel rétegezik, és a belső elektródák között sűrű dielektromos szigetelőréteget alakítanak ki.
Polimer elektrosztatikus tokmány
A polimer módosítási technológiát a nagyobb térfogati ellenállás és relatív dielektromos állandó elérése, valamint stabilabb szorítóerő elérése érdekében használják.
A nagy sűrűségű dielektromos anyagok csökkenthetik a részecskék kialakulásának kockázatát és az ionok mobilitását.
A befogó tárgyak sokfélesége összeegyeztethető a különböző anyagokból készült ostyák befogásával.
Kiváló korrózióállóság halogén és plazma légkörben.
Magas költséghatékonyság, rövid átvételi idő, alkalmas termékfolyamatok fejlesztésére és új berendezések fejlesztésének ellenőrzésére.
Polimer elektrosztatikus tokmány fűtéssel
Több fűtési hőmérsékleti zóna (legfeljebb 20 hőmérsékleti zóna) elrendezését képes megvalósítani, és jó a fűtési hőmérséklet egyenletessége (±5%℃@150℃).
A vákuumos laminálási technológiát rendkívül nagy sűrűség és akár 200 °C-os hevítési hőmérséklet elérésére használják.
Egységes fűtési görbe, szélesebb hőmérsékleti görbe tartomány Beállítások.
Magas költséghatékonyság, rövid átvételi idő, alkalmas termékfolyamatok fejlesztésére és új berendezések fejlesztésének ellenőrzésére.
Kerámia elektrosztatikus tokmány / fűtő
A kerámia koagulációs technológia továbbfejlesztett szinterezési eljárás az alumínium-oxid/alumínium-nitrid kerámia elektrosztatikus tokmányok és fűtőelemek fejlesztésében. Ennek lényege, hogy különféle nanométer átmérőjű kerámiaporokat használjon, amelyeket meghatározott arányban kevernek össze egyedi keverőberendezéssel és keverési eljárással. A nagy sűrűségű, stabil kristályszerkezetű és egyenletes fajlagos ellenállás-eloszlású kerámia elektrosztatikus tokmányokat szinterező berendezésben bizonyos szinterezési hőmérsékleti görbével szinterezték. A kerámia koagulációs technológiával gyártott statikus tokmány nagy sűrűségű, stabil kristályszerkezettel és egyenletes térfogat-ellenállás-eloszlással rendelkezik, és képes megvalósítani a chip normál befogási funkcióját zord környezetben, nagy vákuum, plazma és halogén mellett.
Al₂O3 Elektrosztatikus tokmány
A térfogati ellenállást a koagulációs kerámia technológia és az együttégetési eljárás szabályozza a hosszabb tartóerő elérése érdekében.
A magas hőmérsékletű szinterezés belső szerkezete sűrű, kristályszerkezete stabil, és nagyobb hőmérsékleti intervallum tartóképessége érhető el.
Az integrált együttégető öntés csökkenti az ionok migrációját.
Tartós működés plazma halogén vákuum atmoszférában.
AlN elektrosztatikus tokmány
A betonanyag összetételének és arányának szabályozásával szabályozható a térfogati ellenállás, és nagyobb hőmérsékleti intervallumban érhető el a tartóképesség.
Az egyenletes hőmérsékleti zóna eloszlást a betonkerámiák szinterezési technológiája és együttégetési eljárása biztosítja.
Integrált együttégető öntés a termékminőség maximalizálása érdekében.
Tartós működés plazma halogén vákuum atmoszférában.
Kerámia elektrosztatikus tokmány fűtéssel
Több fűtési hőmérsékleti zóna elrendezését képes megvalósítani, és jó a fűtési hőmérséklet egyenletessége (±7,5% ℃ @ 350 ℃).
A vákuumos laminálási szinterezési technológiát rendkívül magas tömörítési és hevítési hőmérséklet eléréséhez alkalmazzák akár 550 ℃-ig.
Integrált együttégető öntés a termékminőség maximalizálása érdekében.
Tartós működés plazma halogén vákuum atmoszférában.
Komplex típusú elektrosztatikus tokmány/fűtő
Kompatibilis lehet szilíciummal, gallium-arzeniddel, szilícium-karbiddal, ostyaszorító zafírral, csökkentheti a berendezésgyártók és a végfelhasználók huzalcsere költségeit. A betonkerámia technológián és a polimer módosítási technológián alapuló integrált vákuum-laminálás és forró kötési technológia alkalmazása csökkentheti az elektrosztatikus szívó belső hőellenállását, elérheti a belső hőmérséklet egyenletességét, sűrű dielektromos szigetelőréteget képezhet az ionvándorlási ellenállás teljesítményének javítása érdekében.
Komplex típusú elektrosztatikus tokmány
A betonkerámia és polimer módosítási technológia alkalmazása nagyobb sűrűségű szerkezettel és kisebb gázkibocsátással rendelkezik.
A dielektromos réteg és az elektródasor vastagságának szorosabb szabályozása.
A befogó tárgyak sokfélesége kompatibilis lehet a különböző ostyák befogásával.
A test ellenállása pontosan szabályozható az erősebb elektrosztatikus tartóképesség elérése érdekében.
Magas költséghatékonyság, rövid átvételi idő, alkalmas termékfolyamatok fejlesztésére és új berendezések fejlesztésének ellenőrzésére.
Komplex típusú elektrosztatikus tokmány fűtéssel
Több fűtési hőmérsékleti zóna elrendezését képes megvalósítani, és jó a fűtési hőmérséklet egyenletessége (±3,5% ℃ @ 150 ℃).
A vákuumos laminálási technológiát rendkívül nagy sűrűség és akár 200 °C-os hevítési hőmérséklet elérésére használják.
Egységes fűtési görbe, szélesebb hőmérsékleti görbe tartomány Beállítások.
Magas költséghatékonyság, rövid átvételi idő, alkalmas termékfolyamatok fejlesztésére és új berendezések fejlesztésének ellenőrzésére.