Дом
Продукты
Электростатический патрон с совместимостью, высокой плотностью, высокой структурной прочностью и индивидуальной
Функции
Совместимость | Настройка | Высокая плотность | Высокая структурная прочность | Быстрая доставка | Экономически эффективным
Приложения
Лон-имплантация | Тонкая пленка | травление | Разработка процессов | Проектирование оборудования
Проектирование и производство
12-дюймовый Fab доставлен для проверки фактической производительности, обеспечения регенерации и ремонта, а также проверки разработки и конструкции.
С развитием технологического оборудования и технологий производства полупроводников и интегральных схем традиционные электростатические патроны, использующие органические полимерные материалы, оксиды металлов и керамические материалы в качестве диэлектриков, не полностью совместимы с такими материалами, как кремниевые пластины, сапфир и карбид кремния. Таким образом, постепенно будут разрабатываться электростатические патроны, совместимые с захватами полупроводниковых пластин первого, второго и третьего поколений.
Полимерный электростатический патрон/нагреватель
Полимерный диэлектрический материал (полимер) в настоящее время является наиболее широко используемым электростатическим патронным материалом, процесс его приготовления также является наиболее зрелым, полимерный диэлектрический материал после обработки модификацией полимера, электрическая, механическая, термостойкость, свойства устойчивости к галогенам будут значительно улучшены. Диэлектрический материал формируется с помощью других комплексных операций, а затем наслаивается многоступенчатой вакуумной тяжелой нагрузкой, и между внутренними электродами образуется плотный диэлектрический изоляционный слой.
Полимерный электростатический патрон
Технология модификации полимера используется для достижения более высокого объемного удельного сопротивления и относительной диэлектрической проницаемости, а также для получения более стабильной силы зажима.
Диэлектрические материалы высокой плотности могут снизить риск образования твердых частиц и снизить подвижность ионов.
Разнообразие зажимных объектов может быть совместимо с зажимом пластин из разных материалов.
Отличная коррозионная стойкость в галогенной и плазменной атмосфере.
Высокая себестоимость, короткий период приемки, подходит для разработки процесса производства продукта и проверки разработки нового оборудования.
Полимерный электростатический патрон с нагревателем
Он может реализовать расположение нескольких температурных зон нагрева (до 20 температурных зон) и имеет хорошую однородность температуры нагрева (± 5% ℃ при 150 ℃).
Технология вакуумного ламинирования позволяет добиться чрезвычайно высокой плотности и температуры нагрева до 200°С.
Равномерная кривая нагрева с более широким диапазоном настроек температурной кривой.
Высокая себестоимость, короткий период приемки, подходит для разработки процесса производства продукта и проверки разработки нового оборудования.
Керамика Электростатический патрон/нагреватель
Технология керамической коагуляции представляет собой усовершенствованный процесс спекания при разработке электростатических патронов и нагревателей из оксида алюминия/нитрида алюминия. Его суть заключается в использовании различных керамических порошков нанометрового диаметра, которые смешиваются в определенной пропорции с помощью уникального смесительного оборудования и процесса смешивания. Керамические электростатические патроны с высокой плотностью, стабильной кристаллической структурой и равномерным распределением удельного сопротивления были спечены с определенной температурной кривой спекания на спекательном оборудовании. Статический патрон, изготовленный по технологии керамической коагуляции, имеет высокую плотность, стабильную кристаллическую структуру и равномерное распределение удельного сопротивления по объему и может реализовать нормальную функцию зажима чипа в суровых условиях высокого вакуума, плазмы и галогена.
Al₂O₃ Электростатический патрон
Объемное сопротивление контролируется с помощью технологии коагуляции керамики и процесса совместного обжига для достижения большей удерживающей силы.
Внутренняя структура высокотемпературного спекания плотная, кристаллическая структура стабильна, и можно получить удерживающую способность в более широком температурном интервале.
Интегрированное совместное формование снижает миграцию ионов.
Длительная работа в плазменно-галогенной вакуумной атмосфере.
Электростатический патрон AlN
Контролируя состав и пропорцию бетонного материала, можно контролировать объемное сопротивление и достигать удерживающей способности в более широком температурном интервале.
Равномерное распределение температурных зон обеспечивается за счет технологии спекания и процесса совместного обжига бетонной керамики.
Интегрированное совместное формование для максимизации качества продукции.
Длительная работа в плазменно-галогенной вакуумной атмосфере.
Керамический электростатический патрон с нагревателем
Он может реализовать расположение нескольких температурных зон нагрева и имеет хорошую однородность температуры нагрева (± 7,5% ℃ при 350 ℃).
Технология вакуумного ламинирования и спекания используется для достижения чрезвычайно высокой плотности и температуры нагрева до 550 ℃.
Интегрированное совместное формование для максимизации качества продукции.
Длительная работа в плазменно-галогенной вакуумной атмосфере.
Электростатический патрон/нагреватель сложного типа
Может быть совместим с кремнием, арсенидом галлия, карбидом кремния, сапфиром зажима пластины, может снизить затраты на замену проволоки производителей оборудования и конечных пользователей. На основе технологии бетонной керамики и технологии модификации полимеров использование интегрированной технологии вакуумного ламинирования и горячего склеивания может снизить внутреннее термическое сопротивление электростатической присоски, достичь однородности внутренней температуры, сформировать плотный диэлектрический изоляционный слой для улучшения характеристик сопротивления миграции ионов.
Электростатический патрон сложного типа
Использование бетона с использованием технологии керамической и полимерной модификации, имеет более высокую плотную структуру и меньшее газовыделение.
Более строгий контроль толщины диэлектрического слоя и блока электродов.
Разнообразие зажимных объектов может быть совместимо с зажимом различных пластин.
Сопротивление тела можно точно контролировать, чтобы получить более сильную электростатическую удерживающую способность.
Высокая себестоимость, короткий период приемки, подходит для разработки процесса производства продукта и проверки разработки нового оборудования.
Электростатический патрон сложного типа с нагревателем
Он может реализовать расположение нескольких температурных зон нагрева и имеет хорошую однородность температуры нагрева (± 3,5% ℃ при 150 ℃).
Технология вакуумного ламинирования позволяет добиться чрезвычайно высокой плотности и температуры нагрева до 200°С.
Равномерная кривая нагрева с более широким диапазоном настроек температурной кривой.
Высокая себестоимость, короткий период приемки, подходит для разработки процесса производства продукта и проверки разработки нового оборудования.