itthon
Anyagok
Szilícium-karbid korrózióálló alkatrészekhez, tömítőalkatrészekhez, magas hőmérsékletnek ellenálló alkatrészekhez, vezetősínekhez és szögletes gerendákhoz
A szilícium-karbid kerámiák kiváló mechanikai tulajdonságokkal rendelkeznek normál hőmérsékleten, például nagy szilárdság, nagy keménység, nagy rugalmassági modulus, kiváló magas hőmérsékleti stabilitás, például nagy hővezető képesség, alacsony hőtágulási együttható, valamint jó fajlagos merevség és optikai feldolgozási tulajdonságok, különösen alkalmasak precíziós kerámia szerkezeti alkatrészek fotolitográfiás gépei és egyéb integrált áramköri berendezései elkészítéséhez. Mint például a fotolitográfiás gépben használt precíziós mozgó munkadarab asztal, csontváz, tapadókorong, vízhűtéses lemez és precíziós mérőtükör, rács és egyéb kerámia szerkezeti részek, Fountyl új anyag éves műszaki kutatás után, megoldja a nagy méretű, vékony falat, üreges és egyéb összetett szerkezetű szilícium-karbid szerkezeti részek precíziós feldolgozási és előkészítési problémák, áttörve az ilyen típusú precíziós szilícium-karbid szerkezeti alkatrészek előkészítési technológiájának műszaki szűk keresztmetszetét. Nagyban elősegítette az integrált áramkör-gyártó berendezésekben használt kulcsfontosságú szerkezeti részek lokalizálását.
● A szilícium-karbid kerámiák főként a nyomásmentes szinterező szilícium-karbidot (SSiC), a reakció-szinterelt szilícium-karbidot (RBSC), a kémiai gőzfázisú szilícium-karbidot (CVD-SiC) tartalmazzák.
● A szilícium-karbid számos kiváló tulajdonsággal rendelkezik: szuper kemény, kopásálló, magas hővezető képesség és mechanikai szilárdság, alacsony hőtágulási együttható, kiváló hőstabilitás, alacsony sűrűség, nagy fajlagos merevség, nem mágneses.
● Jelenleg a szilícium-karbid kerámiákat különféle iparágakban alkalmazzák, például a légi közlekedésben, az űrhajózásban és a nukleáris iparban, például a szilícium-karbid kerámia reflektorok és az IC integrált áramkörök gyártása, hőcserélők és golyóálló anyagok kerámia alkatrészei extrém körülmények között.
Az integrált áramkör-gyártó berendezések precíziós kerámia szerkezeti alkatrészeinek jellemzői:
① Nagyon könnyű: A mozgás tehetetlenségének csökkentése, a motor terhelésének csökkentése, a mozgás hatékonyságának, a pozicionálási pontosság és a stabilitás javítása érdekében a szerkezeti részek általában könnyű szerkezeti kialakítást használnak, a könnyű súly aránya 60-80%, akár 90%;
② Nagy forma-pozíció pontosság: A nagy pontosságú mozgás és pozicionálás érdekében a szerkezeti részek rendkívül nagy alak- és helyzetpontossággal rendelkeznek, a síkság, párhuzamosság és merőlegesség 1 μm-nél kisebb legyen, valamint a forma ill. a pozíció pontosságának 5 μm-nél kisebbnek kell lennie.
③ Nagy méretstabilitás: A nagy pontosságú mozgás és pozicionálás érdekében a szerkezeti részeknek rendkívül nagy méretstabilitással kell rendelkezniük, nem kell feszültséget okozniuk, és magas hővezető képességgel, alacsony hőtágulási együtthatóval kell rendelkezniük, nem könnyű nagy méretbeli deformációt előállítani. ;
④ Tiszta és szennyeződésmentes. A szerkezeti részeknek rendkívül alacsony súrlódási tényezővel, kis mozgási energiaveszteséggel kell rendelkezniük, és nem kell csiszolórészecske-szennyezést okozniuk. A szilícium-karbid anyagnak nagyon magas rugalmassági modulusa, hővezető képessége és alacsony hőtágulási együtthatója van, nem könnyű hajlítási feszültség-deformációt és termikus alakváltozást előállítani, és kiváló polírozhatósággal rendelkezik, kiváló tükörré megmunkálható; Ezért nagy előnye van a szilícium-karbidnak az integrált áramkörök kulcsfontosságú berendezéseinek precíziós szerkezeti anyagaként való felhasználása, mint például a fotolitográfiai gép, a szilícium-karbid előnyei a jó kémiai stabilitás, a nagy mechanikai szilárdság, a magas hővezető képesség és az alacsony hőtágulási együttható, és alkalmazható magas hőmérsékleten, nagy nyomáson, korróziós és extrém környezeti sugárzásban.
A szilícium-karbid előnyei a jó kémiai stabilitás, a nagy mechanikai szilárdság, a nagy hővezető képesség és az alacsony hőtágulási együttható, és alkalmazható magas hőmérsékleten, nagy nyomáson, korrózióban és extrém környezeti sugárzásban.
Az integrált áramkör kulcsfontosságú berendezései megkövetelik, hogy az alkatrészek anyagai a könnyű súly, a nagy szilárdság, a nagy hővezető képesség és az alacsony hőtágulási együttható jellemzői legyenek, valamint sűrűek és egyenletesek legyenek, hibák nélkül. Az alkatrészeknek rendkívül nagy méretpontossággal és méretstabilitással kell rendelkezniük, hogy biztosítsák a berendezés rendkívül pontos mozgását és vezérlését. A szilícium-karbid kerámiák nagy rugalmassági modulusúak és fajlagos merevséggel rendelkeznek, nem könnyen deformálódnak, magas hővezető képességgel és alacsony hőtágulási együtthatóval, nagy hőstabilitásúak, ezért a szilícium-karbid kerámiák kiváló szerkezeti anyag, jelenleg az integrált áramkörök gyártásában. kulcsfontosságú berendezések az alkalmazások széles skálájának eléréséhez, például litográfiai gép szilícium-karbid munkaasztallal, vezetősínnel, reflektorral, kerámia tokmányral és kerámia végkiegyenlítővel.
A Fountyl találkozhat a fotolitográfiai géppel, mint a nagy méretű, üreges vékonyfalú, összetett szerkezetű, precíziós szilícium-karbid szerkezeti alkatrész-előkészítési technológiával rendelkező integrált áramkör gyártó kulcsfontosságú berendezés képviselője, mint például: szilícium-karbid vákuum tokmány, vezetősín, reflektor, munkaasztal és egy sor precíziós szilícium-karbid szerkezeti alkatrészt a fotolitográfiai gépekhez.
| Tulajdonságok | Fountyl | ||
| Sűrűség (g/cm3) | 2,98-3,02 | ||
| Young's Modulus (GPa) | 368 | ||
| Hajlítószilárdság (MPa) | 334 | ||
| Weibull | 8.35 | ||
| CTE (×10-6/℃) | 100 ℃ | 2,8×10-6 | |
| 400 ℃ | 3,6×10-6 | ||
| 800 ℃ | 4,2×10-6 | ||
| 1000 ℃ | 4,6×10-6 | ||
| Hővezetőképesség (W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| Poisson-arány | 0,187 | ||
| Nyírási modulus (GPa) | 155 | ||