SiCボートは炭化ケイ素ボートです。 炉心管には炭化ケイ素ボートが使用されており、高温アクセサリの高温処理のためにウェーハが装填されています。 炭化ケイ素だから…
2018年の世界のエッチング装置市場規模は約100億ドルに達しており、チッププロセスノードの削減に伴いエッチング工程はさらに増加し、...