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Carboneto de silício usado em peças resistentes à corrosão, peças de vedação, peças resistentes a altas temperaturas, trilhos-guia e vigas quadradas
A cerâmica de carboneto de silício tem excelentes propriedades mecânicas em temperatura normal, como alta resistência, alta dureza, alto módulo de elasticidade, excelente estabilidade em altas temperaturas, como alta condutividade térmica, baixo coeficiente de expansão térmica e boa rigidez específica e propriedades de processamento óptico, especialmente adequadas para a preparação de máquinas de fotolitografia e outros equipamentos de circuito integrado para peças estruturais cerâmicas de precisão. Tal como usado na mesa de peças móveis de precisão da máquina de fotolitografia, esqueleto, ventosa, placa resfriada a água e espelho de medição de precisão, grades e outras peças estruturais de cerâmica, Fountyl novo material após anos de pesquisa técnica, resolve o tamanho grande, parede fina, estruturas ocas e outras estruturas complexas de problemas de processamento e preparação de peças estruturais de carboneto de silício de precisão, rompendo o gargalo técnico desse tipo de tecnologia de preparação de peças estruturais de carboneto de silício de precisão. Promoveu enormemente a localização de peças estruturais importantes usadas em equipamentos de fabricação de circuitos integrados.
● As cerâmicas de carboneto de silício incluem principalmente carboneto de silício de sinterização sem pressão (SSiC), carboneto de silício sinterizado por reação (RBSC), carboneto de silício por deposição química de vapor (CVD-SiC).
● O carboneto de silício possui uma variedade de propriedades excelentes: superduro, resistência ao desgaste, alta condutividade térmica e resistência mecânica, baixo coeficiente de expansão térmica, excelente estabilidade térmica, baixa densidade, alta rigidez específica, não magnético.
● Atualmente, a cerâmica de carboneto de silício é aplicada em diversas indústrias, como aviação, aeroespacial e nuclear, como peças cerâmicas de equipamentos de última geração para refletores cerâmicos de carboneto de silício e fabricação de circuitos integrados IC, trocadores de calor e materiais à prova de balas sob condições extremas.
Características de peças estruturais cerâmicas de precisão para equipamentos de fabricação de circuitos integrados:
① Altamente leve: A fim de reduzir a inércia do movimento, reduzir a carga do motor, melhorar a eficiência do movimento, precisão de posicionamento e estabilidade, as peças estruturais geralmente usam design de estrutura leve, a taxa de leveza é de 60-80%, até 90%;
② Alta precisão de posição e forma: Para obter movimento e posicionamento de alta precisão, as peças estruturais devem ter forma e precisão de posição extremamente altas, o nivelamento, o paralelismo e a perpendicularidade devem ser inferiores a 1μm, e a forma e a precisão da posição deve ser inferior a 5μm.
③ Alta estabilidade dimensional: Para obter movimento e posicionamento de alta precisão, as peças estruturais devem ter estabilidade dimensional extremamente alta, não produzir deformação e alta condutividade térmica, baixo coeficiente de expansão térmica, não é fácil de produzir grande deformação dimensional ;
④ Limpo e livre de poluição. As peças estruturais devem ter coeficiente de atrito extremamente baixo, pequena perda de energia cinética durante o movimento e nenhuma poluição por partículas de moagem. O material de carboneto de silício tem um módulo de elasticidade muito alto, condutividade térmica e baixo coeficiente de expansão térmica, não é fácil de produzir deformação por tensão de flexão e deformação térmica e tem excelente polibilidade, pode ser usinado em excelente espelho; Portanto, tem grandes vantagens em usar carboneto de silício como material estrutural de precisão para os principais equipamentos de circuitos integrados, como máquinas de fotolitografia. O carboneto de silício tem as vantagens de boa estabilidade química, alta resistência mecânica, alta condutividade térmica e baixo coeficiente de expansão térmica, e pode ser aplicado em alta temperatura, alta pressão, corrosão e radiação de ambientes extremos.
O carboneto de silício tem as vantagens de boa estabilidade química, alta resistência mecânica, alta condutividade térmica e baixo coeficiente de expansão térmica, podendo ser aplicado em alta temperatura, alta pressão, corrosão e radiação de ambientes extremos.
O principal equipamento do circuito integrado exige que os materiais componentes tenham características de peso leve, alta resistência, alta condutividade térmica e baixo coeficiente de expansão térmica, e sejam densos e uniformes sem defeitos. Os componentes devem ter precisão dimensional e estabilidade dimensional extremamente altas para garantir movimento e controle de ultraprecisão do equipamento. A cerâmica de carboneto de silício possui alto módulo de elasticidade e rigidez específica, não é fácil de deformar, possui alta condutividade térmica e baixo coeficiente de expansão térmica, alta estabilidade térmica, portanto a cerâmica de carboneto de silício é um excelente material estrutural, atualmente na fabricação de circuitos integrados de equipamentos essenciais para obter uma ampla gama de aplicações, como máquina de litografia com mesa de trabalho de carboneto de silício, trilho guia, refletor, mandril de cerâmica e efetor final de cerâmica.
Fountyl pode atender a máquina de fotolitografia como representante do equipamento principal de fabricação de circuitos integrados com tamanho grande, parede fina oca, estrutura complexa, tecnologia de preparação de peças estruturais de carboneto de silício de precisão, tais como: mandril de vácuo de carboneto de silício, trilho guia, refletor, mesa de trabalho e uma série de peças estruturais de carboneto de silício de precisão para máquinas de fotolitografia.
| Propriedades | Fountil | ||
| Densidade (g/cm3) | 2,98-3,02 | ||
| Módulo de Young（GPa） | 368 | ||
| Resistência à flexão (MPa) | 334 | ||
| Weibull | 8h35 | ||
| CTE（×10-6/℃） | 100°C | 2,8×10-6 | |
| 400°C | 3,6×10-6 | ||
| 800°C | 4,2×10-6 | ||
| 1000 ℃ | 4,6×10-6 | ||
| Condutividade Térmica(W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| Razão de Poisson | 0,187 | ||
| Módulo de cisalhamento （GPa） | 155 | ||