Hem
Huvudprodukt
Mikroporös keramisk vakuumchuck
Keramiska vakuumchuckfunktioner
Stark permeabilitet: enhetlig luftpermeabilitet och vattenpermeabilitet, för att säkerställa enhetlig kraft och tät adsorption av kiselskivan i slipprocessen utan glid.
Tät och enhetlig struktur: Användning av mikroporöst keramiskt material med den täta och enhetliga strukturen, som inte är lätt att absorbera kiseldamm, och chucken är lätt att rengöra.
Hög hållfasthet: ingen deformation under slipning, för att säkerställa att kiselskivan är jämnt stressad vid varje punkt vid slipning, och det är inte lätt att uppstå fenomen med kantkollaps, skräp.
Lång livslängd: ytformsbevarandet är bra, förbandscykeln är lång och förbandsmängden är liten, så den har en lång livslängd.
Lätt påklädning: det kommer inga sprickor, fragmentering, tröskningsfenomen vid påklädning.
Lättvikt: På grund av porernas inre struktur är den specifika viktkoefficienten 1,6-2,8.
Hög isolering: isolerande material, eliminera statisk elektricitet.
Noggrannhetskontroll
| kategori | Basmaterial | Adsorptionsytmaterial | Storlek | Flathet | djup av parallellism |
| Porös chuck | Aluminiumlegering | Porös SIC | ≤12μm | ≤15μm | ≤20μm |
| Rostfritt stål | ≤10μm | ≤15μm | |||
| Aluminiumoxid | ≤5 μm | ≤8μm | |||
| Kiselkarbid | ≤3μm | ≤8μm | |||
| Den porösa keramiska chucken har ett komplett utbud av specifikationer och storlekar, som kan användas i 3-tumslinjen, 4-tumslinjen, 5-tumslinjen, 6-tumslinjen, 8-tumslinjen och 12-tumslinjen, och kan anpassas enligt de specifikationer och storlekar du behöver. | |||||
| Den maximala storleken på det aktuella fallet är:1600*1600m, tjockleken är 50mm; | |||||
Porösa keramiska materialegenskaper:
Huvudingredienser: aluminiumoxid Färg: svart, järngrå
Aluminiumoxidhalt: 92% Fukthalt: 0%
Bländare: 2~30um Porositet: 35~40%
Böjhållfasthet:6kgf/cm2 (Mpa) Volymförhållande: 2,28g/cm3
Keramisk chuck typ
Beroende på användningen är keramisk chuck indelad i:
Gallringsmaskin utrustad med: slipande skivchuck, silikonskiva, safirsubstrat och annan gallring;
Skärmaskinen är utrustad med: ritchuck, kiselskiva, halvledarblandningsskiva och annan skärning;
Rengöringsmaskin utrustad med: rengöringschuck;
Filmborttagningsmaskinen är utrustad med: filmavlägsnande chuck;
Lamineringsmaskin utrustad med: lamineringschuck;
Tryckmaskin utrustad med: tryckchuck.
Kvalitetssäkring
Fountyl har många års teknisk erfarenhet av teknisk keramisk precision och ultraprecisionsbearbetning och tillverkning, en mängd olika fysikaliska och kemiska analysinstrument och geometriska mätinstrument, för att säkerställa stabiliteten i produktionen och konsistensen av produkten för keramisk chuck.
Produktapplikation
Porös chuck (adsorptionsarbetsbord) är en komponent som används i halvledartillverkningsstadiet och monteras på en ritsmaskin eller inspektionsanordning. Det är en produkt som kan använda den porösa strukturen och negativa trycket på arbetsbänkens yta för att hålla den tunna kiselskivan platt. Ritsmaskinen skär kiselskivan med en bredd på cirka 20 μm, så kravet på planhet och parallellitet hos waferns adsorptionsyta är mycket höga. Enligt sina respektive egenskaper har olika porstrukturer olika användningsområde, såsom mikroporös keramik med stor specifik yta och liten porstorlek, vanligtvis används inom bakteriefiltrering och mikrobiell fixering; Mesoporös keramik med sin specifika diameterfördelning används ofta i separations-, adsorptionskatalysfält. Makroporös keramik är vanligtvis lämplig för grovfiltrering av ämnen med stort innehåll och stor storlek.