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Mandril de vácuo cerâmico microporoso
Recursos do mandril a vácuo de cerâmica
Permeabilidade forte: permeabilidade uniforme ao ar e permeabilidade à água, para garantir a força uniforme e a adsorção firme da pastilha de silício no processo de moagem sem deslizamento.
Estrutura densa e uniforme: Adoção de material cerâmico microporoso com estrutura densa e uniforme, que não é fácil de adsorver o pó de silício, e o mandril é fácil de limpar.
Alta resistência: sem deformação durante a retificação, para garantir que a pastilha de silício seja tensionada uniformemente em cada ponto durante a retificação, e não é fácil ocorrer o fenômeno de colapso da borda, detritos.
Longa vida: a retenção do formato da superfície é boa, o ciclo de curativo é longo e a quantidade de curativo é pequena, por isso tem uma vida útil elevada.
Curativo fácil: não haverá fenômenos de rachaduras, fragmentação ou debulha durante o curativo.
Leve: Devido à estrutura interna dos poros, o coeficiente de gravidade específica é 1,6-2,8.
Alto isolamento: material isolante, elimina a eletricidade estática.
Controle de precisão
| categoria | Material base | Material de superfície de adsorção | Tamanho | Planicidade | profundidade do paralelismo |
| Mandril poroso | Liga de alumínio | SIC poroso | ≤12μm | ≤15μm | ≤20μm |
| Aço inoxidável | ≤10μm | ≤15μm | |||
| Alumina | ≤5μm | ≤8μm | |||
| Carboneto de Silício | ≤3μm | ≤8μm | |||
| O mandril de cerâmica porosa possui uma gama completa de especificações e tamanhos, que podem ser usados na linha de 3 polegadas, linha de 4 polegadas, linha de 5 polegadas, linha de 6 polegadas, linha de 8 polegadas e linha de 12 polegadas, e pode ser personalizado de acordo com as especificações e tamanhos que você precisa. | |||||
| O tamanho máximo da caixa atual é: 1600 * 1600 m, a espessura é de 50 mm; | |||||
Características do material cerâmico poroso:
Ingredientes principais: alumina Cor: preto, cinza ferro
Teor de alumina: 92% Teor de umidade: 0%
Abertura: 2~30um Porosidade: 35~40%
Resistência à flexão: 6kgf/cm2 (Mpa) Relação de volume: 2,28g/cm3
Tipo de mandril cerâmico
De acordo com o uso, os mandris cerâmicos são divididos em:
Máquina de desbaste equipada com: mandril de disco abrasivo, pastilha de silício, substrato de safira e outros desbastes;
A máquina de corte está equipada com: mandril de traçado, wafer de silício, wafer composto semicondutor e outros cortes;
Máquina de limpeza equipada com: mandril de limpeza;
A máquina de remoção de filme está equipada com: mandril de remoção de filme;
Máquina laminadora equipada com: mandril laminador;
Máquina de impressão equipada com: mandril de impressão.
Garantia da Qualidade
Fountyl tem muitos anos de experiência técnica em engenharia de precisão cerâmica e processamento e fabricação de ultraprecisão, uma variedade de instrumentos de análise física e química e instrumentos de medição geométrica, para garantir a estabilidade da produção e consistência do produto para mandril cerâmico.
Aplicação do produto
O mandril poroso (mesa de trabalho de adsorção) é um componente utilizado na etapa de fabricação de semicondutores e montado em uma máquina de traçar ou dispositivo de inspeção. É um produto que pode utilizar a estrutura porosa e a pressão negativa da superfície da bancada para manter a fina pastilha de silício plana. A máquina de traçar corta o wafer de silício com largura de cerca de 20μm, portanto, os requisitos de planicidade e paralelismo da superfície de adsorção do wafer são muito altos. De acordo com suas respectivas características, diferentes estruturas de poros possuem diferentes faixas de aplicação, como cerâmicas microporosas com grande área superficial específica e pequeno tamanho de poros, geralmente utilizadas em campos de filtração bacteriana e fixação microbiana; Cerâmicas mesoporosas com sua distribuição de diâmetro específica são frequentemente usadas em campos de catálise de separação e adsorção. Cerâmicas macroporosas são geralmente adequadas para filtração grosseira de substâncias com grande conteúdo e tamanho grande.