Дом
Главный продукт
Микропористый керамический вакуумный патрон
Особенности керамического вакуумного патрона
Сильная проницаемость: равномерная воздухопроницаемость и водопроницаемость, чтобы обеспечить равномерную силу и плотную адсорбцию кремниевой пластины в процессе шлифования без скольжения.
Плотная и однородная структура: используется микропористый керамический материал с плотной и однородной структурой, который нелегко адсорбирует кремниевую пыль, а патрон легко очищается.
Высокая прочность: отсутствие деформации во время шлифования, чтобы гарантировать, что кремниевая пластина испытывает равномерную нагрузку в каждой точке при шлифовании, и не легко возникают явления разрушения краев и мусора.
Долгий срок службы: хорошее сохранение формы поверхности, длительный цикл правки и небольшое количество правки, что обеспечивает длительный срок службы.
Легкая правка: при правке не будет явлений растрескивания, дробления, обмолота.
Легкий вес: Благодаря внутренней структуре пор коэффициент удельного веса составляет 1,6-2,8.
Высокая изоляция: изоляционный материал устраняет статическое электричество.
Контроль точности
| категория | Базовый материал | Материал адсорбционной поверхности | Размер | Плоскостность | глубина параллелизма |
| Пористый патрон | Алюминиевый сплав | Пористый СИК | ≤12 мкм | ≤15 мкм | ≤20 мкм |
| Нержавеющая сталь | ≤10 мкм | ≤15 мкм | |||
| глинозем | ≤5 мкм | ≤8 мкм | |||
| Карбид кремния | ≤3 мкм | ≤8 мкм | |||
| Пористый керамический патрон имеет полный набор спецификаций и размеров, которые можно использовать в 3-дюймовых, 4-дюймовых, 5-дюймовых, 6-дюймовых, 8-дюймовых и 12-дюймовых линиях, а также Могут быть настроены в соответствии с необходимыми спецификациями и размерами. | |||||
| Максимальный размер корпуса: 1600*1600 м, толщина 50 мм; | |||||
Характеристики пористого керамического материала:
Основные ингредиенты: оксид алюминия. Цвет: черный, железно-серый.
Содержание глинозема: 92% Содержание влаги: 0%
Диафрагма: 2~30 мкм. Пористость: 35~40%.
Прочность на изгиб: 6 кгс/см2 (МПа). Объемное соотношение: 2,28 г/см3.
Тип керамического патрона
В зависимости от использования керамический патрон делится на:
Утончающий станок, оснащенный: патроном с абразивным диском, кремниевой пластиной, сапфировой подложкой и другими утончающими устройствами;
Режущая машина оснащена: разметочным патроном, кремниевой пластиной, пластиной полупроводникового соединения и другими режущими инструментами;
Чистящая машина оснащена: чистящим патроном;
Машина для снятия пленки оснащена: патроном для снятия пленки;
Ламинатор оснащен: патроном для ламинирования;
Печатная машина оснащена: печатным патроном.
Гарантия качества
Fountyl имеет многолетний технический опыт в области прецизионной и сверхточной обработки и производства керамики, а также различных инструментов для физического и химического анализа, а также инструментов для геометрических измерений, чтобы обеспечить стабильность производства и постоянство продукта для керамических патронов.
Применение продукта
Пористый патрон (адсорбционный рабочий стол) — это компонент, используемый на этапе производства полупроводников и собираемый на разметочной машине или контрольном устройстве. Это продукт, который может использовать пористую структуру и отрицательное давление поверхности рабочего места, чтобы тонкая кремниевая пластина оставалась плоской. Скрайберная машина режет кремниевую пластину шириной около 20 мкм, поэтому требования к плоскостности и параллельности адсорбционной поверхности пластины очень высоки. В зависимости от своих характеристик различные пористые структуры имеют разные области применения, например, микропористая керамика с большой удельной площадью поверхности и малым размером пор, обычно используемая в области бактериальной фильтрации и микробной фиксации; Мезопористая керамика с ее специфическим распределением диаметров часто используется в областях разделения и адсорбционного катализа. Макропористая керамика обычно подходит для грубой фильтрации веществ с большим содержанием и крупными размерами.