Hjem
Hovedprodukt
0102030405
Mikroporøs keramisk vakuumpatron
Keramiske vakuumpatronfunktioner
Stærk permeabilitet: ensartet luftgennemtrængelighed og vandgennemtrængelighed, for at sikre ensartet kraft og tæt adsorption af siliciumwaferen i slibningsprocessen uden glid.
Tæt og ensartet struktur: Indførelse af mikroporøst keramisk materiale med den tætte og ensartede struktur, som ikke er let at absorbere siliciumstøv, og patronen er let at rengøre.
Høj styrke: ingen deformation under slibning, for at sikre, at siliciumwaferen er jævnt belastet på hvert punkt under slibning, og det er ikke let at opstå fænomener med kantkollaps, snavs.
Lang levetid: Overfladeformfastholdelsen er god, forbindingscyklussen er lang, og forbindingsmængden er lille, så den har en høj levetid.
Nem påklædning: der vil ikke være nogen revner, fragmentering, tærskefænomener ved påklædning.
Letvægts: På grund af porernes indre struktur er vægtfyldekoefficienten 1,6-2,8.
Høj isolering: isolerende materiale, eliminer statisk elektricitet.
Nøjagtighedskontrol
| kategori | Grundmateriale | Adsorptionsoverflademateriale | Størrelse | Fladhed | dybde af parallelitet |
| Porøs chuck | Aluminiumslegering | Porøs SIC | ≤12μm | ≤15μm | ≤20μm |
| Rustfrit stål | ≤10μm | ≤15μm | |||
| Alumina | ≤5μm | ≤8μm | |||
| Siliciumcarbid | ≤3μm | ≤8μm | |||
| Den porøse keramiske borepatron har et komplet udvalg af specifikationer og størrelser, som kan bruges i 3-tommer linje, 4-tommer linje, 5-tommer linje, 6-tommer linje, 8-tommer linje og 12-tommer linje, og kan tilpasses efter de specifikationer og størrelser, du har brug for. | |||||
| Den maksimale størrelse af den aktuelle sag er: 1600 * 1600 m, tykkelse er 50 mm; | |||||
Porøst keramisk materiale egenskaber:
Hovedingredienser: alumina Farve: sort, jerngrå
Aluminiumoxidindhold: 92% Fugtindhold: 0%
Blænde: 2~30um Porøsitet: 35~40%
Bøjningsstyrke :6kgf/cm2 (Mpa) Volumenforhold: 2,28g/cm3
Keramisk borepatrontype
I henhold til brugen er keramisk borepatron opdelt i:
Tyndingsmaskine udstyret med: slibeskivepatron, siliciumwafer, safirsubstrat og anden udtynding;
Skæremaskine er udstyret med: slibepatron, silicium wafer, halvleder sammensat wafer og anden skæring;
Rengøringsmaskine udstyret med: rensepatron;
Filmfjernelsesmaskine er udstyret med: filmfjernelsespatron;
Lamineringsmaskine udstyret med: lamineringspatron;
Trykmaskine udstyret med: trykpatron.
Kvalitetssikring
Fountyl har mange års teknisk erfaring med konstruktion af keramisk præcision og ultra-præcision behandling og fremstilling, en række fysiske og kemiske analyseinstrumenter og geometriske måleinstrumenter, for at sikre stabiliteten af produktionen og konsistensen af produktet til keramisk borepatron.
Produktanvendelse
Porøs chuck (adsorptionsarbejdsbord) er en komponent, der bruges i halvlederfremstillingsfasen og samles på en skrivemaskine eller inspektionsanordning. Det er et produkt, der kan bruge den porøse struktur og negative tryk på overfladen af arbejdsbænken til at holde den tynde siliciumwafer flad. Skrivemaskinen skærer siliciumwaferen med bredden omkring 20μm, så kravet til fladhed og parallelitet af wafer-adsorptionsoverfladen er meget højt. I henhold til deres respektive karakteristika har forskellige porestrukturer forskellige anvendelsesområder, såsom mikroporøse keramik med stort specifikt overfladeareal og lille porestørrelse, der sædvanligvis anvendes i bakteriefiltrerings- og mikrobielle fikseringsområder; Mesoporøs keramik med deres specifikke diameterfordeling bruges ofte i separations-, adsorptionskatalysefelter. Makroporøs keramik er normalt velegnet til grovfiltrering af stoffer med stort indhold og stor størrelse.