Doheem
Haaptprodukt
0102030405
Mikroporös Keramik Vakuum Chuck
Keramik Vakuum Chuck Features
Staark Permeabilitéit: eenheetlech Loftpermeabilitéit a Waasserpermeabilitéit, fir déi eenheetlech Kraaft an eng enk Adsorptioun vum Siliziumwafer am Schleifprozess ouni Rutsch ze garantéieren.
Dicht an eenheetlech Struktur: Adoptioun vu mikroporöse Keramikmaterial mat der dichter an eenheetlecher Struktur, déi net einfach ass Siliziumstaub ze adsorbéieren, an de Chuck ass einfach ze botzen.
Héich Kraaft: keng Verformung beim Schleifen, fir sécherzestellen datt de Siliziumwafer gläichméisseg op all Punkt beim Schleifen betount gëtt, an et ass net einfach d'Phänomener vum Rand Zesummebroch, Debris optrieden.
Laang Liewen: d'Uewerflächeform Retention ass gutt, de Dressing Zyklus ass laang an d'Dressing Betrag ass kleng, sou datt et en héicht Liewen huet.
Einfach Kleedung: Et gëtt keng Rëss, Fragmentatioun, Dreschen Phänomener beim Kleed.
Liichtgewiicht: Wéinst der interner Struktur vu Poren ass de spezifesche Schwéierkraaft Koeffizient 1,6-2,8.
Héich Isolatioun: Isoléiermaterial, eliminéiert statesch Elektrizitéit.
Genauegkeet Kontroll
| Kategorie | Basis Material | Adsorptioun Uewerfläch Material | Gréisst | Flaachheet | Déift vun parallelism |
| Poröse Kach | Aluminiumlegierung | Porous SIC | ≤12μm | ≤15μm | ≤20 μm |
| Edelstol | ≤10μm | ≤15μm | |||
| Alumina | ≤5 μm | ≤8μm | |||
| Silicon Carbide | ≤3μm | ≤8μm | |||
| De poröse Keramik Chuck huet eng komplett Palette vu Spezifikatioune a Gréissten, déi an der 3 Zoll Linn, 4 Zoll Linn, 5 Zoll Linn, 6 Zoll Linn, 8 Zoll Linn an 12 Zoll Linn benotzt kënne ginn, an ka personaliséiert ginn no de Spezifikatioune a Gréissten déi Dir braucht. | |||||
| Déi maximal Gréisst vum aktuelle Fall ass: 1600 * 1600m, Dicke ass 50mm; | |||||
Porous Keramik Material Charakteristiken:
Haaptbestanddeeler: Alumina Faarf: schwaarz, Eisengrau
Alumina Inhalt: 92% Fiichtegkeet Inhalt: 0%
Ouverture: 2~30um Porositéit: 35~40%
Béi Kraaft: 6kgf/cm2 (Mpa) Volume Verhältnis: 2,28g/cm3
Keramik Chuck Typ
No der Notzung, Keramik Chuck sinn ënnerdeelt an:
Ausdünnungsmaschinn equipéiert mat: abrasive disc Chuck, Silicon wafer, Saphir Substrat an aner thinning;
Schneidmaschinn ass equipéiert mat: Scribing Chuck, Silicon wafer, semiconductor compound wafer an aner opzedeelen;
Botzen Maschinn equipéiert mat: Botzen Chuck;
Film Ewechhuele Maschinn ass equipéiert mat: Film Ewechhuele Chuck;
Laminéieren Maschinn equipéiert mat: laminating Chuck;
Dréckerei Maschinn equipéiert mat: Dréckerei Chuck.
Qualitéitssécherung
Fountyl huet vill Joer vun technesch Erfahrung op Ingenieur Keramik Präzisioun an ultra-Präzisioun Veraarbechtung an Fabrikatioun, eng Rei vun kierperlech a chemesch Analyse Instrumenter a geometreschen Mooss Instrumenter, fir d'Stabilitéit vun Produktioun a Konsequenz vun Produit fir Keramik Chuck ze garantéieren.
Produit Applikatioun
Poröse Chuck (Adsorptiounsaarbechtsdësch) ass e Bestanddeel deen an der Hallefleitproduktiounsstadium benotzt gëtt an op enger Schreifmaschinn oder Inspektiounsapparat zesummegesat gëtt. Et ass e Produkt dat d'porös Struktur an den negativen Drock vun der Uewerfläch vun der Workbench benotze kann fir déi dënn Siliziumwafer flaach ze halen. D'Schreifmaschinn schneit de Siliziumwafer mat der Breet ongeféier 20μm, sou datt d'Ufuerderung fir d'Flaachheet an d'Parallalismus vun der Wafer Adsorptiounsfläch ganz héich sinn. No hir jeeweileg Charakteristiken, verschidde Pore Strukturen hunn verschidden Applikatioun Beräicher, wéi microporous Keramik mat grouss spezifesch Fläch a kleng Pore Gréisst, normalerweis an bakteriell filtration an microbial Fixatioun Felder benotzt; Mesoporous Keramik mat hirer spezifescher Duerchmiesserverdeelung ginn dacks an Trennung, Adsorptiounskatalysefelder benotzt. Macroporous Keramik si meeschtens gëeegent fir rau Filtratioun vu Substanzen mat engem groussen Inhalt a grousser Gréisst.