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0102030405
Portabrocas de vacío de cerámica microporosa
Características del mandril de vacío de cerámica
Fuerte permeabilidad: permeabilidad uniforme al aire y permeabilidad al agua, para garantizar la fuerza uniforme y la adsorción hermética de la oblea de silicio en el proceso de molienda sin deslizamiento.
Estructura densa y uniforme: Adopción de material cerámico microporoso con una estructura densa y uniforme, que no absorbe fácilmente el polvo de silicona y el mandril es fácil de limpiar.
Alta resistencia: no se deforma durante el rectificado, para garantizar que la oblea de silicio se esfuerce uniformemente en cada punto durante el rectificado, y no es fácil que se produzcan fenómenos de colapso de los bordes y escombros.
Larga vida: la retención de la forma de la superficie es buena, el ciclo de apósito es largo y la cantidad de apósito es pequeña, por lo que tiene una larga vida útil.
Fácil aderezo: no se producirán fenómenos de agrietamiento, fragmentación o trilla al aderezar.
Ligero: debido a la estructura interna de los poros, el coeficiente de gravedad específica es de 1,6 a 2,8.
Alto aislamiento: material aislante, elimina la electricidad estática.
Control de precisión
| categoría | Material de base | Material de la superficie de adsorción | Tamaño | Llanura | profundidad del paralelismo |
| mandril poroso | Aleación de aluminio | SIC poroso | ≤12μm | ≤15 μm | ≤20 μm |
| Acero inoxidable | ≤10 μm | ≤15 μm | |||
| Alúmina | ≤5μm | ≤8μm | |||
| Carburo de silicio | ≤3μm | ≤8μm | |||
| El mandril de cerámica porosa tiene una gama completa de especificaciones y tamaños, que se pueden utilizar en la línea de 3 pulgadas, línea de 4 pulgadas, línea de 5 pulgadas, línea de 6 pulgadas, línea de 8 pulgadas y línea de 12 pulgadas, y Se puede personalizar según las especificaciones y tamaños que necesite. | |||||
| El tamaño máximo de la caja actual es: 1600*1600 m, el espesor es de 50 mm; | |||||
Características del material cerámico poroso:
Ingredientes principales: alúmina Color: negro, gris hierro
Contenido de alúmina: 92% Contenido de humedad: 0%
Apertura: 2~30um Porosidad: 35~40%
Resistencia a la flexión: 6 kgf/cm2 (Mpa) Relación de volumen: 2,28 g/cm3
Tipo de mandril de cerámica
Según el uso, los mandriles de cerámica se dividen en:
Máquina adelgazadora equipada con: plato de disco abrasivo, oblea de silicio, sustrato de zafiro y otros adelgazadores;
La máquina cortadora está equipada con: mandril trazador, oblea de silicio, oblea de compuesto semiconductor y otros tipos de corte;
Máquina de limpieza equipada con: mandril de limpieza;
La máquina quitapelículas está equipada con: mandril quitapelículas;
Máquina laminadora equipada con: mandril laminador;
Máquina de impresión equipada con: mandril de impresión.
Seguro de calidad
Fountyl tiene muchos años de experiencia técnica en ingeniería de precisión cerámica y procesamiento y fabricación de ultraprecisión, una variedad de instrumentos de análisis físico y químico e instrumentos de medición geométrica, para garantizar la estabilidad de la producción y la consistencia del producto para mandril de cerámica.
Aplicación del producto
El mandril poroso (mesa de trabajo de adsorción) es un componente que se utiliza en la etapa de fabricación de semiconductores y se ensambla en una máquina de trazado o dispositivo de inspección. Es un producto que puede utilizar la estructura porosa y la presión negativa de la superficie del banco de trabajo para mantener plana la delgada oblea de silicio. La máquina de trazado corta la oblea de silicio con un ancho de aproximadamente 20 μm, por lo que los requisitos de planitud y paralelismo de la superficie de adsorción de la oblea son muy altos. Según sus respectivas características, diferentes estructuras de poros tienen diferentes rangos de aplicación, como cerámicas microporosas con gran superficie específica y tamaño de poro pequeño, generalmente utilizadas en campos de filtración bacteriana y fijación microbiana; Las cerámicas mesoporosas con su distribución de diámetro específica se utilizan a menudo en campos de catálisis de separación y adsorción. Las cerámicas macroporosas suelen ser adecuadas para la filtración rugosa de sustancias con gran contenido y gran tamaño.