Hem
Material
Kiselkarbid används för korrosionsbeständiga delar, tätningsdelar, högtemperaturbeständiga delar, styrskenor och fyrkantsbalkar
Kiselkarbidkeramik har utmärkta mekaniska egenskaper vid normal temperatur, såsom hög hållfasthet, hög hårdhet, hög elasticitetsmodul, utmärkt högtemperaturstabilitet, såsom hög värmeledningsförmåga, låg värmeutvidgningskoefficient och god specifik styvhet och optiska bearbetningsegenskaper, särskilt lämpliga för framställning av fotolitografimaskiner och annan integrerad kretsutrustning för precisionskeramiska strukturdelar. Såsom används i fotolitografimaskinen precision rörligt arbetsstycke bord, skelett, sugkopp, vattenkyld platta och precisionsmätning spegel, galler och andra keramiska strukturella delar, Fountyl nytt material efter år av teknisk forskning, lösa den stora storleken, tunn vägg, ihåliga och andra komplexa strukturer av kiselkarbid strukturdelar precisionsbearbetning och förberedelse problem, bryta igenom den tekniska flaskhalsen av denna typ av precision kiselkarbid strukturella delar beredningsteknik. Det har i hög grad främjat lokaliseringen av viktiga strukturella delar som används i utrustning för tillverkning av integrerade kretsar.
● Kiselkarbidkeramik inkluderar huvudsakligen trycklös sintring av kiselkarbid (SSiC), reaktionssintrad kiselkarbid (RBSC), kemisk ångavsättning kiselkarbid (CVD-SiC).
● Kiselkarbid har en mängd utmärkta egenskaper: superhård, slitstyrka, hög värmeledningsförmåga och mekanisk styrka, låg värmeutvidgningskoefficient, utmärkt värmestabilitet, låg densitet, hög specifik styvhet, icke-magnetisk.
● För närvarande används kiselkarbidkeramik inom olika industrier såsom flyg-, rymd- och kärnkraftsindustrin, såsom keramiska delar av avancerad utrustning för kiselkarbidkeramiska reflektorer och IC-integrerade kretstillverkning, värmeväxlare och skottsäkra material under extrema förhållanden.
Funktioner hos precisionskeramiska strukturdelar för utrustning för tillverkning av integrerade kretsar:
① Mycket lätt: För att minska rörelsetrögheten, minska motorbelastningen, förbättra rörelseeffektiviteten, positioneringsnoggrannheten och stabiliteten, använder strukturdelarna i allmänhet lättviktsstrukturdesign, lättviktsgraden är 60-80%, upp till 90%;
② Hög form-positionsnoggrannhet: För att uppnå högprecisionsrörelse och positionering krävs att strukturdelarna har extremt hög form- och positionsnoggrannhet, planheten, parallelliteten och vinkelrätheten måste vara mindre än 1μm, och formen och positionsnoggrannheten måste vara mindre än 5 μm.
③ Hög dimensionell stabilitet: För att uppnå högprecisionsrörelse och positionering krävs att strukturdelarna har extremt hög dimensionell stabilitet, inte att producera töjning, och hög värmeledningsförmåga, låg värmeutvidgningskoefficient, inte lätt att producera stor dimensionell deformation ;
④ Ren och föroreningsfri. De strukturella delarna måste ha extremt låg friktionskoefficient, liten kinetisk energiförlust under rörelse och ingen förorening av slippartiklar. Kiselkarbidmaterial har en mycket hög elasticitetsmodul, värmeledningsförmåga och låg värmeutvidgningskoefficient, är inte lätt att producera böjspänningsdeformation och termisk spänning, och har utmärkt polerbarhet, kan bearbetas till utmärkt spegel; Därför har det stora fördelar att använda kiselkarbid som precisionsstrukturmaterial för nyckelutrustningen för integrerade kretsar som fotolitografimaskin, kiselkarbid har fördelarna med god kemisk stabilitet, hög mekanisk hållfasthet, hög värmeledningsförmåga och låg värmeutvidgningskoefficient, och kan appliceras i hög temperatur, högt tryck, korrosion och strålning i extrema miljöer.
Kiselkarbid har fördelarna med god kemisk stabilitet, hög mekanisk hållfasthet, hög värmeledningsförmåga och låg värmeutvidgningskoefficient, och kan appliceras i hög temperatur, högt tryck, korrosion och strålning i extrema miljöer.
Den integrerade kretsens nyckelutrustning kräver att komponentmaterialen har egenskaperna lätt vikt, hög hållfasthet, hög värmeledningsförmåga och låg värmeutvidgningskoefficient, och är täta och enhetliga utan defekter. Komponenter måste ha extremt hög dimensionsnoggrannhet och dimensionsstabilitet för att säkerställa ultraprecisionsrörelse och kontroll av utrustningen. Kiselkarbidkeramik har en hög elasticitetsmodul och specifik styvhet, inte lätt att deformera, och har en hög värmeledningsförmåga och låg värmeutvidgningskoefficient, hög värmestabilitet, så kiselkarbidkeramik är ett utmärkt strukturmaterial, för närvarande i tillverkningen av integrerade kretsar av nyckelutrustning för att få ett brett utbud av applikationer, såsom litografimaskin med arbetsbord av kiselkarbid, styrskena, reflektor, keramisk chuck och keramisk ändeffektor.
Fountyl kan möta fotolitografimaskinen som representant för den integrerade kretsen som tillverkar nyckelutrustning med stor storlek, ihålig tunn vägg, komplex struktur, precisionsteknik för kiselkarbidstrukturdelar, såsom: kiselkarbid vakuumchuck, styrskena, reflektor, arbetsbord och en serie precisionsstrukturdelar av kiselkarbid för fotolitografimaskiner.
| Egenskaper | Fountyl | ||
| Densitet (g/cm3) | 2,98-3,02 | ||
| Youngs modul (GPa) | 368 | ||
| Böjhållfasthet (MPa) | 334 | ||
| Weibull | 8.35 | ||
| CTE（×10-6/℃） | 100 ℃ | 2,8×10-6 | |
| 400 ℃ | 3,6×10-6 | ||
| 800 ℃ | 4,2×10-6 | ||
| 1000 ℃ | 4,6×10-6 | ||
| Värmeledningsförmåga (W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| Poissons förhållande | 0,187 | ||
| Skjuvmodul (GPa) | 155 | ||