Kerneprodukter

Wafer pin chuck (også kaldet konveks chuck), er industriel chuck, der almindeligvis anvendes i halvlederindustrien, med høj temperaturbestandighed, korrosionsbestandighed, slidstyrke og andre egenskaber. Det er normalt lavet af siliciumcarbid eller aluminiumoxid keramisk materiale med en hævet punktlignende struktur på overfladen for at give bedre adsorption og stabilitet.

Konvekse patroner er meget udbredt i halvlederproduktionsudstyr til at absorbere, fiksere, overføre og håndtere siliciumwafers, wafers og forskellige emner og materialer.

Ringrillepatron (rillepatron) er en almindeligt anvendt industriel borepatron i halvlederindustrien med høj temperaturbestandighed, korrosionsbestandighed, slidstyrke og andre egenskaber. Normalt lavet af siliciumcarbid eller aluminiumoxid keramiske materialer.

Det er meget udbredt i halvlederproduktionsudstyr til at absorbere, fiksere, overføre og håndtere siliciumwafers, wafers og forskellige emner og materialer.

Mikroporøs keramisk vakuumpatron kaldes også nano mikroporøs vakuumpatron, hvilket betyder, at et ensartet fast eller vakuumlegeme fremstilles gennem en speciel nanopulverfremstillingsproces, og et stort antal tilsluttede eller lukkede keramiske materialer genereres inde i materialet ved højtemperatursintring . Med sin specielle struktur har den fordelene ved høj temperaturbestandighed, slidstyrke, kemisk korrosionsbestandighed, høj mekanisk styrke, nem regenerering og fremragende termisk stødmodstand, som kan bruges til højtemperaturfiltreringsmaterialer, katalysatorbærere, porøse elektroder af brændstof celler, følsomme komponenter, separationsmembraner, biokeramik osv., præsenterer de unikke anvendelsesfordele inden for kemisk industri, miljøbeskyttelse, energi, elektronik, biokemi.

Den keramiske endeeffektor med høj funktionel, høj temperatur holdbarhed, høj slidstyrke bruges i lang tid i et højtemperaturmiljø uden at forårsage skade, og sliddet på materialet, der skal flyttes, er også reduceret til et minimum, hvilket effektivt kontrollerer diffusionen af urene stoffer til den bevægede krop, og overfladen kan også bearbejdes efter kundekrav med specielle dimensioner og høje funktionelle egenskaber.

Keramisk endeeffektor til chipdiskdrev af halvlederudstyr, præcisionskeramiske dele har god strukturel styrke, høj temperaturbestandighed, højtryksmodstand, god præcision, god parallelitet, tæt og ensartet organisation, høj styrke. Det har været brugt af halvlederproduktionsfabrikken i mange år. Fountyl har en gruppe af fremragende ingeniører med unikke og fremragende færdigheder inden for keramiske fremmedbehandlingsprojekter. fremmede forarbejdning teknologi er vores virksomheds styrke.

Siliciumcarbid keramisk luft flydende bevægelsesplatform, siliciumcarbid ultra-præcision mobil platform, silicium carbid styreskinne, silicium carbid glideskinne, silicium carbid vakuum suger, silicium carbid spejl, silicium carbid bjælke, silicium carbid emne bord og en serie af præcision silicium carbide strukturelle dele til litografimaskine, er en af ​​kernekomponenterne i litografimaskinen. Dens hovedfunktion er at bære waferen til at udføre højhastigheds ultra-præcisionsbevægelse i henhold til den specificerede bevægelsesbane og fuldføre en række handlinger, der kræves for eksponering, herunder op og ned, justering, waferprofilmåling og eksponering, hvilket kræver en bevægelsesnøjagtighed på 2nm i tilfælde af højhastighedsbevægelse.

Præcisions keramisk stempel er sammensat af to dele af stempelbøsningen og stempelstangen. Det er dannet af importeret råpulver med høj renhed ved statisk presning, sintret ved 1700 graders temperatur og derefter præcisionsbearbejdning. Rimelig kontrol af stempelmuffen og stempelstangen med spillerum er meget høj præcision, cylindricitet og tilspidsning er mikron niveau.