Kärnprodukter

Wafer pin chuck (kallas även konvex chuck), är industriell chuck som vanligtvis används i halvledarindustrin, med hög temperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, slitstyrka och andra egenskaper. Den är vanligtvis gjord av kiselkarbid eller aluminiumoxidkeramiskt material med en upphöjd punktliknande struktur på ytan för att ge bättre adsorption och stabilitet.

Konvex chuck används ofta i halvledarproduktionsutrustning för att absorbera, fixera, överföra och hantera kiselskivor, wafers och olika arbetsstycken och material.

Ringspårchuck (spårchuck) är en allmänt använd industriell chuck inom halvledarindustrin, med hög temperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, slitstyrka och andra egenskaper. Vanligtvis gjord av kiselkarbid eller aluminiumoxidkeramiska material.

Det används ofta i halvledarproduktionsutrustning för att absorbera, fixera, överföra och hantera kiselskivor, wafers och olika arbetsstycken och material.

Mikroporös keramisk vakuumchuck kallas också nano mikroporös vakuumchuck, vilket innebär att en enhetlig fast eller vakuumkropp produceras genom en speciell nanopulvertillverkningsprocess, och ett stort antal anslutna eller slutna keramiska material genereras inuti materialet genom högtemperatursintring . Med sin speciella struktur har den fördelarna med hög temperaturbeständighet, slitstyrka, kemisk korrosionsbeständighet, hög mekanisk hållfasthet, enkel regenerering och utmärkt värmechockbeständighet, som kan användas för högtemperaturfiltreringsmaterial, katalysatorbärare, porösa bränsleelektroder celler, känsliga komponenter, separationsmembran, biokeramik, etc., presenterar de unika tillämpningsfördelarna inom kemisk industri, miljöskydd, energi, elektronik, biokemi.

Den keramiska ändeffektorn med hög funktionell, hög temperatur hållbarhet, hög slitstyrka används under lång tid i en hög temperatur miljö utan att orsaka skada, och slitaget på materialet som ska flyttas reduceras också till ett minimum, vilket effektivt kontrollerar diffusionen av orena ämnen till den rörda kroppen, och ytan kan även bearbetas enligt kundkrav med speciella dimensioner och höga funktionella egenskaper.

Keramisk ändeffektor för chipskivdrift av halvledarutrustning, precisionskeramiska delar har god strukturell styrka, hög temperaturbeständighet, högtrycksbeständighet, bra precision, bra parallellitet, tät och enhetlig organisation, hög hållfasthet. Den har använts av halvledarfabriker i många år. Fountyl har en grupp utmärkta ingenjörer med unika och utmärkta färdigheter i keramiska utomjordiska bearbetningsprojekt. främmande bearbetningsteknik är vårt företags styrka.

Kiselkarbid keramisk luftflytande rörelseplattform, kiselkarbid ultra-precision mobil plattform, kiselkarbid styrskena, kiselkarbid glidskena, kiselkarbid vakuumsug, kiselkarbid spegel, kiselkarbid balk, kiselkarbid arbetsstycke bord kisel karbid precisionsbord och en serie av kiselkarbid precision strukturella delar för litografimaskin, är en av kärnkomponenterna i litografimaskinen. Dess huvudsakliga funktion är att bära wafern för att göra höghastighets ultraprecisionsrörelse enligt den specificerade rörelsebanan och utföra en serie åtgärder som krävs för exponering, inklusive upp och ner, justering, waferprofilmätning och exponering, vilket kräver en rörelsenoggrannhet på 2nm vid höghastighetsrörelse.

Precisionskeramisk kolv är sammansatt av två delar av kolvhylsan och kolvstången. Det bildas av importerat råpulver med hög renhet genom statisk pressning, sintrat med 1700 graders temperatur och sedan precisionsbearbetning. Rimlig kontroll av kolvhylsan och kolvstången med spel är mycket hög precision, cylindricitet och avsmalning är mikronnivå.