Thuis
Producten
0102030405
Poreus luchtdrijvend platform met de belastingoverdrachtstechnologie van contactloze modus voor de halfgeleiderindustrie
Het traditionele luchtzwevende platform maakt over het algemeen gebruik van kleine gaten-, torus- of spleet-throttling-technologie, die wordt gekenmerkt door eenvoudige verwerkingstechnologie, maar wanneer de toevoerluchtdruk verandert, is het gemakkelijk om een fluitend fenomeen te produceren, het geluid is scherp en het lager de capaciteit fluctueert ook, wat niet geschikt is voor een stille en stabiele werkomgeving onder druk.
Traditionele TFT-LCD-glassubstraten worden uitgevoerd door robotarmen (Robots) en AGV-systemen (Automated Guided Vehicle). Glassubstraat in het productieproces. Het is een contactbediening met het lastverplaatsingsplatform (of de rol). Wanneer het glazen substraat in contact komt met het lastverplaatsende platform of de rol, veroorzaken aanraking en wrijving deze schade of defecten, problemen zoals ontbrekende hoeken, scheuren, schade, vervuiling en statische elektriciteit op het oppervlak van het glazen substraat, en beïnvloeden vervolgens de productie opbrengst en productkwaliteit moeten, naast het gebruik van rolrotatie-overdrachtsbelasting, nog steeds technische problemen overwinnen. Deze problemen hebben een diepgaande invloed op de productie-efficiëntie van glazen substraten van groot formaat en moeten dringend worden verbeterd. Als de contactloze, luchtdrijvende platformtechnologie de problemen kan vervangen die voortkomen uit de traditionele technologie voor het verplaatsen van contactlasten, zal dit een effectieve oplossing zijn. Voordelen van luchtdrijvend systeem:
1. Geen wrijving.
2. Geen slijtage.
3. Rechte beweging en rotatiebeweging zijn van toepassing.
4. Stille en soepele werking.
5. Hogere demping.
6. Verwijder olie.
De structuur van het luchtdrijvende platform bestaat uit nanoporeuze keramiek ingebed in de basis om een vacuümkamer te vormen. schone perslucht met watervrij en olievrij wordt via de gasleiding in de luchtmodusopening tussen het lageroppervlak en de zwevende luchtgeleidingsrail ingevoerd. Het gas stroomt in de luchtmodusopening om het lageroppervlak op de luchtzwevende geleidingsrail te laten drijven. Het gas werkt als smeermiddel om voorwerpen zonder wrijving te verplaatsen of te transporteren.
De constructie voor een gemeenschappelijk luchtdrijvend gat:
a) Openingssmoorstructuur
b) Poreuze structuur
De grootste aangepaste maat: lengte 1600 mm, breedte 1000 mm
Contactloze transport- en lastverplaatsingsapparatuur is voornamelijk bedoeld om de problemen te verbeteren die worden veroorzaakt door traditionele handlingtechnologie nadat het glassubstraat groter wordt, omdat het transport- en lastverplaatsingsproces niet direct in contact staat met het bedieningsobject, zodat het kan voorkomen van de aanhechting van verontreinigende stoffen, stress, statische elektriciteit en schade aan het glassubstraat. Poreus materiaal daarentegen vermindert de gasstroom aanzienlijk, zorgt voor een uniforme luchtdruk en een goede verdeling van het luchtkussen, en zorgt voor voldoende zweefhoogte die nodig is voor gebruik.