Elektrostatische spankop
0102030405
Elektrostatische spankop toegepast in halfgeleiderproductieprocessen
Functies
Compatibiliteit | Aanpasbaarheid | Hoge dichtheid | Hoge structurele sterkte | Snelle levertijd | Kosteneffectief
Toepassingen
Ion-implantatie | Dunne film | Etsen | Procesontwikkeling | Apparatuurontwerp
Ontwerp en fabricage
Een 12-inch Fab-model werd geleverd om de daadwerkelijke prestaties te verifiëren, regeneratie en reparatie mogelijk te maken en de ontwikkeling en het ontwerp te controleren.
Door de ontwikkeling van procesapparatuur en procestechnologie voor halfgeleiders en geïntegreerde schakelingen zijn de traditionele elektrostatische klemmen, die gebruikmaken van organische polymeren, metaaloxiden en keramische materialen als diëlektrische materialen, niet volledig compatibel met materialen zoals siliciumwafers, saffier en siliciumcarbide. Daarom zullen elektrostatische klemmen die compatibel zijn met de eerste, tweede en derde generatie halfgeleiderwafelgrijpers geleidelijk aan worden ontwikkeld.
Elektrostatische polymeerhouder/verwarmingselement
Polymeer diëlektrisch materiaal (Polymeer) is momenteel het meest gebruikte materiaal voor elektrostatische klemmen. Het bereidingsproces ervan is ook het meest ontwikkeld. Na een polymeermodificatiebehandeling worden de elektrische, mechanische, temperatuurbestendige en halogeenbestendige eigenschappen van polymeer diëlektrisch materiaal aanzienlijk verbeterd. Het diëlektrische materiaal wordt gevormd door middel van diverse geïntegreerde bewerkingen en vervolgens gelaagd onder meervoudige vacuümbelasting, waardoor een dichte diëlektrische isolatielaag tussen de interne elektroden ontstaat.
Polymeer elektrostatische spankop
De polymeermodificatietechnologie wordt gebruikt om een hogere soortelijke weerstand en relatieve diëlektrische constante te bereiken, en een stabielere klemkracht te verkrijgen.
Diëlektrische materialen met een hoge dichtheid kunnen het risico op fijnstof verminderen en de ionenmobiliteit beperken.
De verscheidenheid aan klemobjecten kan compatibel zijn met het klemmen van wafers van verschillende materialen.
Uitstekende corrosiebestendigheid in halogeen- en plasma-atmosferen.
Uitstekende prijs-kwaliteitverhouding, korte acceptatieperiode, geschikt voor productprocesontwikkeling en verificatie van nieuwe apparatuur.
Polymeer elektrostatische spankop met verwarmingselement
Het systeem kan meerdere verwarmingstemperatuurzones (tot 20 temperatuurzones) indelen en heeft een goede verwarmingstemperatuuruniformiteit (±5%℃@150℃).
Met behulp van vacuümlamineringstechnologie worden extreem hoge dichtheden en verwarmingstemperaturen tot 200 °C bereikt.
Gelijkmatige verwarmingscurve, met een breder bereik aan temperatuurinstellingen.
Uitstekende prijs-kwaliteitverhouding, korte acceptatieperiode, geschikt voor productprocesontwikkeling en verificatie van nieuwe apparatuur.
Keramische elektrostatische spankop/verwarmingselement
Keramische coagulatietechnologie is een verbeterd sinterproces voor de ontwikkeling van elektrostatische klemmen en verwarmingselementen van aluminiumoxide/aluminiumnitridekeramiek. De kern van deze technologie is het gebruik van verschillende keramische poeders met een nanometerdiameter, die in een bepaalde verhouding worden gemengd met behulp van een unieke mengapparatuur en een specifiek mengproces. Door het sinteren van keramische elektrostatische klemmen met een hoge dichtheid, een stabiele kristalstructuur en een uniforme weerstandsverdeling worden in een sinterinstallatie een specifieke temperatuurcurve gehanteerd. De met keramische coagulatietechnologie vervaardigde statische klem heeft een hoge dichtheid, een stabiele kristalstructuur en een uniforme volumeweerstandsverdeling, waardoor de klemfunctie van de chip ook in veeleisende omgevingen zoals hoog vacuüm, plasma en halogenen optimaal blijft functioneren.
Al₂O₃ Elektrostatische spankop
De volumeweerstand wordt geregeld door middel van coagulatiekeramiektechnologie en een co-sinterproces om een langere hechtsterkte te verkrijgen.
De interne structuur van het bij hoge temperatuur gesinterde materiaal is dicht en de kristalstructuur stabiel, waardoor een groter temperatuurbereik kan worden bewaard.
Geïntegreerd co-sinteren tijdens het gieten vermindert ionenmigratie.
Langdurige werking in een plasma-halogeenvacuümatmosfeer.
AlN elektrostatische spankop
Door de samenstelling en verhouding van het betonmateriaal te controleren, kan de volumeweerstand worden gereguleerd en kan een groter temperatuurbereik worden bereikt.
De gelijkmatige temperatuurverdeling in de zones wordt gewaarborgd door de sintertechnologie en het co-bakproces van betonkeramiek.
Geïntegreerd co-sinteren tijdens het spuitgieten om de productkwaliteit te maximaliseren.
Langdurige werking in een plasma-halogeenvacuümatmosfeer.
Keramische elektrostatische spankop met verwarmingselement
Het systeem kan meerdere verwarmingstemperatuurzones creëren en heeft een goede temperatuuruniformiteit (±7,5%℃@350℃).
De vacuümlamineringstechniek maakt gebruik van sintertechnologie om een extreem hoge dichtheid en verwarmingstemperaturen tot 550℃ te bereiken.
Geïntegreerd co-sinteren tijdens het spuitgieten om de productkwaliteit te maximaliseren.
Langdurige werking in een plasma-halogeenvacuümatmosfeer.
Complexe elektrostatische spankop/verwarmingselement
Het is compatibel met silicium, galliumarsenide, siliciumcarbide en saffier voor waferklemmen en kan de kosten voor draadwisseling voor fabrikanten en eindgebruikers verlagen. Gebaseerd op betonkeramiektechnologie en polymeermodificatietechnologie, kan het gebruik van geïntegreerde vacuümlaminering en warmtehechtingstechnologie de interne thermische weerstand van de elektrostatische zuiger verlagen, een uniforme interne temperatuur bereiken en een dichte diëlektrische isolatielaag vormen om de weerstand tegen ionenmigratie te verbeteren.
Elektrostatische spankop van het complexe type
Door het gebruik van betonkeramiek en polymeermodificatietechnologie ontstaat een dichtere structuur met een lagere gasafgifte.
Nauwkeurigere controle van de dikte van de diëlektrische laag en de elektrodebank.
De verscheidenheid aan klemobjecten kan compatibel zijn met het klemmen van verschillende wafers.
De soortelijke weerstand van het lichaam kan nauwkeurig worden geregeld om een sterker elektrostatisch vasthoudvermogen te verkrijgen.
Uitstekende prijs-kwaliteitverhouding, korte acceptatieperiode, geschikt voor productprocesontwikkeling en verificatie van nieuwe apparatuur.
Complexe elektrostatische spankop met verwarmingselement
Het systeem kan meerdere verwarmingstemperatuurzones creëren en heeft een goede verwarmingstemperatuuruniformiteit (±3,5%℃@150℃).
Met behulp van vacuümlamineringstechnologie worden extreem hoge dichtheden en verwarmingstemperaturen tot 200 °C bereikt.
Gelijkmatige verwarmingscurve, met een breder bereik aan temperatuurinstellingen.
Uitstekende prijs-kwaliteitverhouding, korte acceptatieperiode, geschikt voor productprocesontwikkeling en verificatie van nieuwe apparatuur.