Thuis
Producten
Elektrostatische boorkop met compatibiliteit, hoge dichtheid, hoge structurele sterkte met maatwerk
Functies
Compatibiliteit | Maatwerk | Hoge dichtheid | Hoge structurele sterkte | Snelle levertijd | Kostenefficiënt
Toepassingen
Lon-implantatie | Dunne film | Ets | Procesontwikkeling | Ontwerp van apparatuur
Ontwerp en fabricage
12 inch Fab geleverd om de daadwerkelijke prestaties te verifiëren, regeneratie en reparatie uit te voeren en de ontwikkeling en het ontwerp te verifiëren.
Met de procesapparatuur en procestechnologieontwikkeling van halfgeleiders en geïntegreerde schakelingen zijn de traditionele elektrostatische klauwplaten die organische polymeermaterialen, metaaloxiden en keramische materialen als diëlektrica gebruiken, niet volledig compatibel met materialen als siliciumwafels, saffier en siliciumcarbide. Daarom zullen zich geleidelijk elektrostatische klauwplaten ontwikkelen die compatibel zijn met de halfgeleiderwafelgrijpers van de eerste, tweede en derde generatie.
Polymeer elektrostatische boorkop / verwarming
Polymeer diëlektrisch materiaal (Polymeer) is momenteel het meest gebruikte elektrostatische spanmateriaal, het bereidingsproces is ook het meest volwassen, polymeer diëlektrisch materiaal na polymeermodificatiebehandeling, elektrische, mechanische, temperatuurbestendigheid en halogeenweerstandseigenschappen zullen aanzienlijk worden verbeterd. Het diëlektrische materiaal wordt van een patroon voorzien door andere geïntegreerde bewerkingen en vervolgens gelaagd door meertraps zware vacuümbelasting, en een dichte diëlektrische isolatielaag wordt gevormd tussen de interne elektroden.
Polymeer elektrostatische boorkop
De polymeermodificatietechnologie wordt gebruikt om een hogere bulkweerstand en relatieve diëlektrische constante te bereiken en een stabielere klemkracht te verkrijgen.
Diëlektrische materialen met een hoge dichtheid kunnen het risico op deeltjes verminderen en de ionenmobiliteit verminderen.
De diversiteit aan klemobjecten kan compatibel zijn met het klemmen van wafers van verschillende materialen.
Uitstekende corrosiebestendigheid in halogeen- en plasma-atmosferen.
Hoge kostenprestaties, korte acceptatieperiode, geschikt voor productprocesontwikkeling en verificatie van de ontwikkeling van nieuwe apparatuur.
Polymeer elektrostatische boorkop met verwarming
Het kan de lay-out van meerdere verwarmingstemperatuurzones (tot 20 temperatuurzones) realiseren en heeft een goede uniformiteit van de verwarmingstemperatuur (± 5% ℃ @ 150 ℃).
Er wordt gebruik gemaakt van vacuümlamineertechnologie om extreem hoge dichtheid en verwarmingstemperaturen tot 200 ° C te bereiken.
Uniforme stooklijn, met een groter bereik aan temperatuurcurve-instellingen.
Hoge kostenprestaties, korte acceptatieperiode, geschikt voor productprocesontwikkeling en verificatie van de ontwikkeling van nieuwe apparatuur.
Keramiek Elektrostatische boorhouder / verwarming
Keramische coagulatietechnologie is een verbeterd sinterproces bij de ontwikkeling van keramische elektrostatische klauwplaten en verwarmingselementen van aluminiumoxide/aluminiumnitride. De kern is het gebruik van een verscheidenheid aan keramische poeders met een diameter van nanometer, die in een bepaalde verhouding worden gemengd via een unieke mengapparatuur en mengproces. Keramische elektrostatische klauwplaten met hoge dichtheid, stabiele kristalstructuur en uniforme weerstandsverdeling werden gesinterd met een bepaalde sintertemperatuurcurve in sinterapparatuur. De statische klem vervaardigd door keramische coagulatietechnologie heeft een hoge dichtheid, een stabiele kristalstructuur en een uniforme volumeweerstandsverdeling, en kan de normale klemfunctie van de chip realiseren in de ruwe omgeving onder hoog vacuüm, plasma en halogeen.
Al₂O₃ Elektrostatische boorhouder
De volumeweerstand wordt gecontroleerd door keramische coagulatietechnologie en een co-bakproces om een langere houdkracht te verkrijgen.
De interne structuur van sinteren bij hoge temperatuur is dicht en de kristalstructuur is stabiel, en het houdvermogen van een groter temperatuurinterval kan worden verkregen.
Geïntegreerd meestookgieten vermindert de ionenmigratie.
Duurzame werking in plasmahalogeenvacuümatmosfeer.
AlN elektrostatische boorkop
Door de samenstelling en het aandeel van het betonmateriaal te regelen, kan de volumeweerstand worden gecontroleerd en kan het houdvermogen in een groter temperatuurinterval worden verkregen.
De uniforme verdeling van de temperatuurzones wordt verzekerd door de sintertechnologie en het meestookproces van betonkeramiek.
Geïntegreerd meestookgieten om de productkwaliteit te maximaliseren.
Duurzame werking in plasmahalogeenvacuümatmosfeer.
Keramiek Elektrostatische boorkop met verwarming
Het kan de lay-out van meerdere verwarmingstemperatuurzones realiseren en heeft een goede uniformiteit van de verwarmingstemperatuur (± 7,5% ℃ @ 350 ℃).
Vacuümlaminerende sintertechnologie wordt gebruikt om extreem hoge verdichtings- en verwarmingstemperaturen tot 550℃ te bereiken.
Geïntegreerd meestookgieten om de productkwaliteit te maximaliseren.
Duurzame werking in plasmahalogeenvacuümatmosfeer.
Complex type elektrostatische boorkop / verwarming
Kan compatibel zijn met silicium, galliumarsenide, siliciumcarbide, saffier of waferklemming, kan de draadwisselkosten van apparatuurfabrikanten en eindgebruikers verlagen. Gebaseerd op betonkeramische technologie en polymeermodificatietechnologie, kan het gebruik van geïntegreerde vacuümlaminering en hete bindingstechnologie de interne thermische weerstand van de elektrostatische zuignap verminderen, interne temperatuuruniformiteit bereiken, een dichte diëlektrische isolatielaag vormen om de weerstand tegen ionenmigratie te verbeteren.
Complex type elektrostatische boorkop
Het gebruik van betonkeramiek en polymeermodificatietechnologie heeft een hogere dichtheid en een lagere gasafgifte.
Nauwere controle van de diëlektrische laag en de dikte van de elektrodebank.
De diversiteit aan klemobjecten kan compatibel zijn met het klemmen van verschillende wafers.
De weerstand van het lichaam kan nauwkeurig worden geregeld om een sterker elektrostatisch vasthoudvermogen te verkrijgen.
Hoge kostenprestaties, korte acceptatieperiode, geschikt voor productprocesontwikkeling en verificatie van de ontwikkeling van nieuwe apparatuur.
Complex type elektrostatische boorkop met verwarming
Het kan de lay-out van meerdere verwarmingstemperatuurzones realiseren en heeft een goede uniformiteit van de verwarmingstemperatuur (± 3,5% ℃ @ 150 ℃).
Er wordt gebruik gemaakt van vacuümlamineertechnologie om extreem hoge dichtheid en verwarmingstemperaturen tot 200 ° C te bereiken.
Uniforme stooklijn, met een groter bereik aan temperatuurcurve-instellingen.
Hoge kostenprestaties, korte acceptatieperiode, geschikt voor productprocesontwikkeling en verificatie van de ontwikkeling van nieuwe apparatuur.