Дом
Материалы
Карбид кремния используется для изготовления коррозионностойких деталей, деталей уплотнений, деталей, устойчивых к высоким температурам, направляющих и квадратных балок.
Керамика из карбида кремния обладает превосходными механическими свойствами при нормальной температуре, такими как высокая прочность, высокая твердость, высокий модуль упругости, отличная стабильность при высоких температурах, такая как высокая теплопроводность, низкий коэффициент теплового расширения, а также хорошая удельная жесткость и свойства оптической обработки, особенно подходят для подготовки фотолитографических машин и другого интегрального оборудования для прецизионных керамических конструкционных деталей. Такие, как используемые в фотолитографической машине прецизионный движущийся стол заготовки, скелет, присоска, пластина с водяным охлаждением и прецизионное измерительное зеркало, решетка и другие керамические конструкционные детали, новый материал Fountyl после многих лет технических исследований решает проблему большого размера, тонких стенок, полая и другая сложная структура конструкционных деталей из карбида кремния, проблемы прецизионной обработки и подготовки, преодолевая технические узкие места в технологии подготовки прецизионных конструкционных деталей из карбида кремния. Это в значительной степени способствовало локализации ключевых структурных частей, используемых в оборудовании для производства интегральных схем.
● Керамика из карбида кремния в основном включает карбид кремния, спекаемый без давления (SSiC), карбид кремния, спеченный в результате реакции (RBSC), карбид кремния, полученный методом химического осаждения из паровой фазы (CVD-SiC).
● Карбид кремния обладает множеством отличных свойств: сверхтвердость, износостойкость, высокая теплопроводность и механическая прочность, низкий коэффициент теплового расширения, отличная термическая стабильность, низкая плотность, высокая удельная жесткость, немагнитность.
● В настоящее время керамика из карбида кремния применяется в различных отраслях промышленности, таких как авиационная, аэрокосмическая и атомная промышленность, например, в качестве керамических деталей высокотехнологичного оборудования для производства керамических отражателей из карбида кремния и интегральных схем интегральных схем, теплообменников и пуленепробиваемых материалов в экстремальных условиях.
Особенности прецизионных керамических конструкционных деталей для оборудования для производства интегральных схем:
① Очень легкий: чтобы уменьшить инерцию движения, уменьшить нагрузку на двигатель, повысить эффективность движения, точность позиционирования и стабильность, в конструктивных деталях обычно используется легкая конструкция, коэффициент легкости составляет 60-80%, до 90%;
② Высокая точность формы и положения: для достижения высокоточного перемещения и позиционирования детали конструкции должны иметь чрезвычайно высокую точность формы и положения, плоскостность, параллельность и перпендикулярность должны быть менее 1 мкм, а форма и точность позиционирования должна быть менее 5 мкм.
③ Высокая стабильность размеров: для достижения высокоточного перемещения и позиционирования детали конструкции должны иметь чрезвычайно высокую стабильность размеров, не создавать деформаций, а также высокую теплопроводность, низкий коэффициент теплового расширения, не легко вызывать большую размерную деформацию. ;
④ Чистый и экологически чистый. Детали конструкции должны иметь чрезвычайно низкий коэффициент трения, малые потери кинетической энергии при движении и отсутствие загрязнения шлифовальными частицами. Карбид кремния имеет очень высокий модуль упругости, теплопроводность и низкий коэффициент теплового расширения, его нелегко вызвать при изгибе и термической деформации, он обладает отличной полируемостью, может быть подвергнут механической обработке до получения превосходного зеркала; Таким образом, использование карбида кремния в качестве прецизионного конструкционного материала для ключевого оборудования интегральных схем, такого как фотолитографическая машина, имеет большие преимущества. Карбид кремния обладает преимуществами хорошей химической стабильности, высокой механической прочности, высокой теплопроводности и низкого коэффициента теплового расширения. и может применяться при высокой температуре, высоком давлении, коррозии и радиации в экстремальных условиях.
Карбид кремния обладает преимуществами хорошей химической стабильности, высокой механической прочности, высокой теплопроводности и низкого коэффициента теплового расширения и может применяться при высоких температурах, высоком давлении, коррозии и радиации в экстремальных условиях.
Ключевое оборудование интегральной схемы требует, чтобы материалы компонентов имели легкий вес, высокую прочность, высокую теплопроводность и низкий коэффициент теплового расширения, а также были плотными и однородными без дефектов. Компоненты должны иметь чрезвычайно высокую точность размеров и стабильность размеров, чтобы обеспечить сверхточное перемещение и управление оборудованием. Керамика из карбида кремния имеет высокий модуль упругости и удельную жесткость, ее нелегко деформировать, она имеет высокую теплопроводность и низкий коэффициент теплового расширения, высокую термическую стабильность, поэтому керамика из карбида кремния является отличным конструкционным материалом, который в настоящее время используется в производстве интегральных схем. Ключевое оборудование для широкого спектра применений, такое как литографическая машина с рабочим столом из карбида кремния, направляющей, отражателем, керамическим патроном и керамическим концевым эффектором.
Компания Fountyl может рассматривать фотолитографическую машину как представитель ключевого оборудования для производства интегральных схем с большими размерами, полыми тонкими стенками, сложной структурой, прецизионными технологиями подготовки конструкционных деталей из карбида кремния, такими как: вакуумный патрон из карбида кремния, направляющая, отражатель, рабочий стол. и серия прецизионных конструкционных деталей из карбида кремния для фотолитографической машины.
| Характеристики | Фонтиль | ||
| Плотность (г/см3) | 2.98-3.02 | ||
| Модуль Юнга (ГПа) | 368 | ||
| Прочность на изгиб (МПа) | 334 | ||
| Вейбулл | 8.35 | ||
| КТР (×10-6/℃) | 100℃ | 2,8×10-6 | |
| 400℃ | 3,6×10-6 | ||
| 800℃ | 4,2×10-6 | ||
| 1000℃ | 4,6×10-6 | ||
| Теплопроводность (Вт/м·К) (20 ºC) | 160-180 | ||
| коэффициент Пуассона | 0,187 | ||
| Модуль сдвига (ГПа) | 155 | ||