Luftschwebender Tisch
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Keramische Luftschwimmplattform mit berührungsloser Handhabung
Die traditionelle Luftschwimmplattform verwendet im Allgemeinen die Drosseltechnik mit kleinen Löchern, Torus-Drosselung oder Schlitz-Drosselung. Diese zeichnet sich durch eine einfache Verarbeitungstechnik aus, neigt aber bei Änderungen des Luftdrucks zur Entstehung von Pfeifgeräuschen, die schrill sind, und die Tragfähigkeit schwankt. Daher ist sie nicht für eine ruhige und stabile Arbeitsumgebung mit konstantem Druck geeignet.
Die Bearbeitung herkömmlicher TFT-LCD-Glassubstrate erfolgt mittels Roboterarmen und fahrerlosen Transportsystemen (AGVs). Dabei kommt es zum Kontakt des Glassubstrats mit der Lastverschiebeplattform (oder -rolle). Durch Berührung und Reibung entstehen Beschädigungen und Defekte wie fehlende Ecken, Risse, Verschmutzungen und statische Aufladung auf der Oberfläche des Glassubstrats. Dies beeinträchtigt die Produktionsausbeute und Produktqualität. Neben der Lastübertragung mittels rotierender Rollen bestehen weiterhin technische Herausforderungen. Diese Probleme haben erhebliche Auswirkungen auf die Produktionseffizienz großformatiger Glassubstrate und erfordern dringend Verbesserungen. Eine berührungslose, luftgestützte Plattformtechnologie, die die Probleme der herkömmlichen Lastverschiebetechnologie ersetzen kann, stellt eine effektive Lösung dar. Vorteile des Luftschwimmsystems:
1. Reibungsfrei.
2. Null Verschleiß.
3. Geradlinige Bewegung und Drehbewegung sind anwendbar.
4. Geräuschloser und reibungsloser Betrieb.
5. Höhere Dämpfung.
6. Öl entfernen.
Die Struktur der Luftplattform besteht aus nanoporöser Keramik, die in den Sockel eingebettet ist und eine Vakuumkammer bildet. Saubere, wasser- und ölfreie Druckluft wird über eine Gasleitung in den Luftspalt zwischen der Lagerfläche und der Luftführungsschiene geleitet. Das Gas strömt im Luftspalt und versetzt die Lagerfläche in eine schwebende Position auf der Führungsschiene. Das Gas dient dabei als Schmiermittel und ermöglicht so die reibungslose Bewegung oder den Transport von Objekten.
Die Konstruktion für ein gewöhnliches Luftschwimmloch:
a) Drosselstruktur der Öffnung
b) Poröse Struktur
Die größte individuell anpassbare Größe: Länge 1600 mm, Breite 1000 mm
Berührungslose Förder- und Lastumschlagsanlagen dienen hauptsächlich der Behebung der Probleme, die bei der Handhabung von Glassubstraten mit zunehmender Größe durch herkömmliche Verfahren entstehen. Da beim Fördern und Umschlagen kein direkter Kontakt zum Werkstück besteht, werden Ablagerungen von Verunreinigungen, Spannungen, statische Aufladung und Beschädigungen des Glassubstrats vermieden. Poröse Materialien reduzieren zudem den Gasdurchfluss deutlich, sorgen für einen gleichmäßigen Luftdruck und eine gute Verteilung des Luftpolsters und gewährleisten die für den Betrieb erforderliche Schwebehöhe.