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Elektrostatisches Spannfutter mit Kompatibilität, hoher Dichte, hoher Strukturfestigkeit und kundenspezifischer Anpassung
Merkmale
Kompatibilität | Anpassung | Hohe Dichte | Hohe strukturelle Festigkeit | Schnelle Lieferzeit | Kosteneffizient
Anwendungen
Lon-Implantation | Dünnschicht | Ätzung | Prozessentwicklung | Gerätedesign
Design und Herstellung
12-Zoll-Fab geliefert, um die tatsächliche Leistung zu überprüfen, Regeneration und Reparatur durchzuführen und die Entwicklung und das Design zu überprüfen.
Mit der Entwicklung der Prozessausrüstung und der Prozesstechnologie von Halbleitern und integrierten Schaltkreisen sind die herkömmlichen elektrostatischen Spannfutter, die organische Polymermaterialien, Metalloxide und Keramikmaterialien als Dielektrika verwenden, nicht vollständig mit Materialien wie Siliziumwafern, Saphir und Siliziumkarbid kompatibel. Daher werden nach und nach elektrostatische Spannfutter entwickelt, die mit den Halbleiter-Wafer-Greifern der ersten, zweiten und dritten Generation kompatibel sind.
Elektrostatisches Spannfutter/Heizelement aus Polymer
Das dielektrische Polymermaterial (Polymer) ist derzeit das am weitesten verbreitete Material für elektrostatische Spannfutter. Sein Herstellungsprozess ist auch das ausgereifteste dielektrische Polymermaterial. Nach der Polymermodifikationsbehandlung werden die elektrischen, mechanischen, Temperaturbeständigkeits- und Halogenbeständigkeitseigenschaften erheblich verbessert. Das dielektrische Material wird durch andere integrierte Vorgänge strukturiert und dann durch mehrstufige Vakuum-Hochbelastung geschichtet, und zwischen den Innenelektroden wird eine dichte dielektrische Isolationsschicht gebildet.
Elektrostatisches Spannfutter aus Polymer
Die Polymermodifikationstechnologie wird verwendet, um einen höheren Massenwiderstand und eine höhere relative Dielektrizitätskonstante zu erreichen und eine stabilere Klemmkraft zu erhalten.
Dielektrische Materialien mit hoher Dichte können das Risiko von Partikeln verringern und die Ionenmobilität verringern.
Die Vielfalt der Spannobjekte kann mit dem Spannen von Wafern aus unterschiedlichen Materialien kompatibel sein.
Hervorragende Korrosionsbeständigkeit in Halogen- und Plasmaatmosphären.
Hohe Kostenleistung, kurze Abnahmefrist, geeignet für die Entwicklung von Produktprozessen und die Überprüfung der Entwicklung neuer Geräte.
Elektrostatisches Spannfutter aus Polymer mit Heizung
Es kann die Anordnung mehrerer Heiztemperaturzonen (bis zu 20 Temperaturzonen) realisieren und weist eine gute Gleichmäßigkeit der Heiztemperatur auf (±5 %℃@150℃).
Durch die Vakuumlaminiertechnik werden eine extrem hohe Dichte und Heiztemperaturen bis zu 200 °C erreicht.
Einheitliche Heizkurve mit einem größeren Bereich an Temperaturkurveneinstellungen.
Hohe Kostenleistung, kurze Abnahmefrist, geeignet für die Entwicklung von Produktprozessen und die Überprüfung der Entwicklung neuer Geräte.
Elektrostatische Spannvorrichtung/Heizung aus Keramik
Die Keramikkoagulationstechnologie ist ein verbesserter Sinterprozess bei der Entwicklung von elektrostatischen Spannvorrichtungen und Heizgeräten aus Aluminiumoxid/Aluminiumnitrid-Keramik. Sein Kern besteht darin, eine Vielzahl von Keramikpulvern mit Nanometerdurchmesser zu verwenden, die in einem bestimmten Verhältnis durch eine einzigartige Mischausrüstung und einen einzigartigen Mischprozess gemischt werden. Elektrostatische Keramikhalter mit hoher Dichte, stabiler Kristallstruktur und gleichmäßiger Widerstandsverteilung wurden mit einer bestimmten Sintertemperaturkurve in Sintergeräten gesintert. Das durch Keramikkoagulationstechnologie hergestellte statische Spannfutter weist eine hohe Dichte, eine stabile Kristallstruktur und eine gleichmäßige Volumenwiderstandsverteilung auf und kann die normale Spannfunktion des Chips in der rauen Umgebung unter Hochvakuum, Plasma und Halogen realisieren.
Elektrostatisches Al₂O₃-Spannfutter
Der Volumenwiderstand wird durch die Koagulationskeramiktechnologie und den Co-Firing-Prozess gesteuert, um eine längere Haltekraft zu erzielen.
Die innere Struktur des Hochtemperatursinterns ist dicht und die Kristallstruktur stabil, und die Haltekapazität eines größeren Temperaturintervalls kann erhalten werden.
Integriertes Co-Firing-Formen reduziert die Ionenmigration.
Dauerhafter Betrieb in Plasma-Halogen-Vakuumatmosphäre.
Elektrostatisches AlN-Spannfutter
Durch die Steuerung der Zusammensetzung und des Anteils des Betonmaterials kann der spezifische Volumenwiderstand gesteuert und die Haltekapazität in einem größeren Temperaturintervall erreicht werden.
Die gleichmäßige Temperaturzonenverteilung wird durch die Sintertechnologie und den Co-Firing-Prozess der Betonkeramik gewährleistet.
Integriertes Co-Firing-Formen zur Maximierung der Produktqualität.
Dauerhafter Betrieb in Plasma-Halogen-Vakuumatmosphäre.
Elektrostatisches Spannfutter aus Keramik mit Heizung
Es kann die Anordnung mehrerer Heiztemperaturzonen realisieren und weist eine gute Gleichmäßigkeit der Heiztemperatur auf (±7,5 %℃@350℃).
Mithilfe der Vakuum-Laminier-Sinter-Technologie werden extrem hohe Verdichtungs- und Heiztemperaturen von bis zu 550 °C erreicht.
Integriertes Co-Firing-Formen zur Maximierung der Produktqualität.
Dauerhafter Betrieb in Plasma-Halogen-Vakuumatmosphäre.
Elektrostatische Spannvorrichtung/Heizung vom komplexen Typ
Kann mit Silizium, Galliumarsenid, Siliziumkarbid, Saphir oder Waferklemmung kompatibel sein und kann die Kosten für den Drahtwechsel bei Geräteherstellern und Endbenutzern senken. Basierend auf der Betonkeramiktechnologie und der Polymermodifikationstechnologie kann durch den Einsatz integrierter Vakuumlaminierungs- und Heißklebetechnologie der interne Wärmewiderstand des elektrostatischen Saugers verringert, eine gleichmäßige Innentemperatur erreicht und eine dichte dielektrische Isolationsschicht gebildet werden, um die Widerstandsleistung gegen Ionenmigration zu verbessern.
Komplexes elektrostatisches Spannfutter
Der Einsatz von Betonkeramik- und Polymermodifikationstechnologie führt zu einer dichteren Struktur und einer geringeren Gasfreisetzung.
Genauere Kontrolle der Dicke der dielektrischen Schicht und der Elektrodenbank.
Die Vielfalt der Spannobjekte kann mit dem Spannen unterschiedlicher Wafer kompatibel sein.
Der spezifische Widerstand des Körpers kann genau gesteuert werden, um eine stärkere elektrostatische Haltekapazität zu erreichen.
Hohe Kostenleistung, kurze Abnahmefrist, geeignet für die Entwicklung von Produktprozessen und die Überprüfung der Entwicklung neuer Geräte.
Komplexes elektrostatisches Spannfutter mit Heizung
Es kann die Anordnung mehrerer Heiztemperaturzonen realisieren und weist eine gute Gleichmäßigkeit der Heiztemperatur auf (±3,5 %℃@150℃).
Durch die Vakuumlaminiertechnik werden eine extrem hohe Dichte und Heiztemperaturen bis zu 200 °C erreicht.
Einheitliche Heizkurve mit einem größeren Bereich an Temperaturkurveneinstellungen.
Hohe Kostenleistung, kurze Abnahmefrist, geeignet für die Entwicklung von Produktprozessen und die Überprüfung der Entwicklung neuer Geräte.