Elektrostatischer Spanner
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Elektrostatische Spannvorrichtungen, die in Halbleiterfertigungsprozessen eingesetzt werden
Merkmale
Kompatibilität | Anpassungsmöglichkeiten | Hohe Dichte | Hohe Festigkeit | Schnelle Lieferung | Kostengünstig
Anwendungen
Ion-Implantation | Dünnschicht | Ätzen | Prozessentwicklung | Anlagendesign
Konstruktion und Fertigung
12-Zoll-Fabrik geliefert, um die tatsächliche Leistung zu überprüfen, Regeneration und Reparatur durchzuführen und die Entwicklung und das Design zu verifizieren.
Mit der Weiterentwicklung von Anlagen und Technologien in der Halbleiter- und integrierten Schaltungstechnik sind herkömmliche elektrostatische Spannfutter, die organische Polymere, Metalloxide und Keramik als Dielektrika verwenden, nicht vollständig mit Materialien wie Siliziumwafern, Saphir und Siliziumkarbid kompatibel. Daher werden sich schrittweise elektrostatische Spannfutter entwickeln, die mit Wafergreifern der ersten, zweiten und dritten Generation kompatibel sind.
Elektrostatische Polymer-Spannvorrichtung / Heizelement
Polymerdielektrisches Material (Polymer) ist derzeit das am weitesten verbreitete Material für elektrostatische Spannvorrichtungen. Sein Herstellungsverfahren ist ebenfalls sehr ausgereift. Durch Polymermodifizierung werden die elektrischen, mechanischen, thermischen und halogenbeständigen Eigenschaften des dielektrischen Materials deutlich verbessert. Das dielektrische Material wird durch weitere integrierte Verfahren strukturiert und anschließend durch mehrstufiges Vakuumpressen geschichtet. Dadurch entsteht eine dichte dielektrische Isolierschicht zwischen den inneren Elektroden.
Elektrostatischer Polymer-Spannfutter
Die Polymermodifizierungstechnologie wird eingesetzt, um einen höheren spezifischen Widerstand und eine höhere relative Dielektrizitätskonstante zu erzielen und eine stabilere Klemmkraft zu erreichen.
Hochdichte dielektrische Materialien können das Risiko von Feinstaub verringern und die Ionenmobilität reduzieren.
Die Vielfalt der Klemmobjekte ermöglicht die Klemmung von Wafern aus unterschiedlichen Materialien.
Ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit in Halogen- und Plasmaatmosphären.
Hohes Kosten-Nutzen-Verhältnis, kurze Akzeptanzphase, geeignet für die Produktentwicklung und Prozessentwicklung sowie die Verifizierung neuer Anlagen.
Elektrostatischer Polymer-Spannfutter mit Heizung
Es ermöglicht die Einrichtung mehrerer Heiztemperaturzonen (bis zu 20 Temperaturzonen) und weist eine gute Heiztemperaturgleichmäßigkeit auf (±5%℃@150℃).
Mithilfe der Vakuumlaminiertechnologie lassen sich extrem hohe Dichten und Heiztemperaturen von bis zu 200 °C erzielen.
Gleichmäßige Erwärmungskurve mit einem größeren Bereich an Temperaturkurveneinstellungen.
Hohes Kosten-Nutzen-Verhältnis, kurze Akzeptanzphase, geeignet für die Produktentwicklung und Prozessentwicklung sowie die Verifizierung neuer Anlagen.
Keramisches elektrostatisches Spannfutter/Heizelement
Die keramische Koagulationstechnologie ist ein verbessertes Sinterverfahren zur Herstellung von elektrostatischen Spannfuttern und Heizelementen aus Aluminiumoxid/Aluminiumnitrid. Kernstück ist die Verwendung verschiedener Keramikpulver mit Nanometerdurchmesser, die in einem speziellen Mischverfahren und -prozess in einem bestimmten Verhältnis vermischt werden. Die elektrostatischen Spannfutter zeichnen sich durch hohe Dichte, stabile Kristallstruktur und gleichmäßige Widerstandsverteilung aus und gewährleisten die zuverlässige Fixierung des Chips auch unter anspruchsvollen Bedingungen wie Hochvakuum, Plasma und Halogen.
Al₂O₃ Elektrostatische Spannvorrichtung
Durch die Koagulationskeramiktechnologie und den gemeinsamen Brennprozess wird der spezifische Volumenwiderstand so gesteuert, dass eine längere Haltekraft erzielt wird.
Die innere Struktur beim Hochtemperatursintern ist dicht und die Kristallstruktur stabil, wodurch eine Haltefähigkeit über einen größeren Temperaturbereich erreicht werden kann.
Das integrierte Mitbrandverfahren reduziert die Ionenmigration.
Dauerhafter Betrieb in Plasma-Halogen-Vakuumatmosphäre.
AlN-Elektrostatikfutter
Durch die Kontrolle der Zusammensetzung und des Anteils des Betonmaterials kann der spezifische Volumenwiderstand gesteuert und die Haltefähigkeit in einem größeren Temperaturintervall erreicht werden.
Die gleichmäßige Temperaturzonenverteilung wird durch die Sintertechnologie und den gemeinsamen Brennprozess der Betonkeramik gewährleistet.
Integriertes Mitbrand-Formverfahren zur Maximierung der Produktqualität.
Dauerhafter Betrieb in Plasma-Halogen-Vakuumatmosphäre.
Elektrostatischer Keramikspanner mit Heizung
Es ermöglicht die Einrichtung mehrerer Heiztemperaturzonen und weist eine gute Heiztemperaturgleichmäßigkeit auf (±7,5%℃@350℃).
Mithilfe der Vakuum-Laminier-Sintertechnologie werden extrem hohe Verdichtungsgrade und Heiztemperaturen von bis zu 550℃ erreicht.
Integriertes Mitbrand-Formverfahren zur Maximierung der Produktqualität.
Dauerhafter Betrieb in Plasma-Halogen-Vakuumatmosphäre.
Komplexer elektrostatischer Spannfutter/Heizkörper
Es ist kompatibel mit Silizium, Galliumarsenid, Siliziumkarbid und Saphir für die Waferklemmung und reduziert die Kosten für den Kabelwechsel bei Geräteherstellern und Endanwendern. Basierend auf Betonkeramik- und Polymermodifizierungstechnologie ermöglicht der Einsatz integrierter Vakuumlaminierungs- und Heißbondierungstechnologie die Verringerung des internen Wärmewiderstands der elektrostatischen Saugvorrichtung, die Erzielung einer gleichmäßigen Innentemperaturverteilung und die Bildung einer dichten dielektrischen Isolierschicht zur Verbesserung der Ionenmigrationsbeständigkeit.
Komplexer elektrostatischer Spannfutter
Durch den Einsatz von Betonkeramik und Polymermodifizierungstechnologie ergibt sich eine höhere Dichte der Struktur und eine geringere Gasfreisetzung.
Strengere Kontrolle der Dicke der dielektrischen Schicht und der Elektrodenbank.
Die Vielfalt der Klemmobjekte ermöglicht die Klemmung verschiedener Wafer.
Durch die präzise Steuerung des spezifischen Widerstands des Körpers lässt sich eine stärkere elektrostatische Haltekraft erzielen.
Hohes Kosten-Nutzen-Verhältnis, kurze Akzeptanzphase, geeignet für die Produktentwicklung und Prozessentwicklung sowie die Verifizierung neuer Anlagen.
Komplexer elektrostatischer Spannfutter mit Heizung
Es ermöglicht die Einrichtung mehrerer Heiztemperaturzonen und weist eine gute Heiztemperaturgleichmäßigkeit auf (±3,5%℃@150℃).
Mithilfe der Vakuumlaminiertechnologie lassen sich extrem hohe Dichten und Heiztemperaturen von bis zu 200 °C erzielen.
Gleichmäßige Erwärmungskurve mit einem größeren Bereich an Temperaturkurveneinstellungen.
Hohes Kosten-Nutzen-Verhältnis, kurze Akzeptanzphase, geeignet für die Produktentwicklung und Prozessentwicklung sowie die Verifizierung neuer Anlagen.