Thús
Haadprodukt
0102030405
Microporous keramyske vacuum Chuck
Keramyske fakuüm chuck funksjes
Sterke permeabiliteit: unifoarme luchtpermeabiliteit en wetterpermeabiliteit, om de unifoarme krêft en strak adsorpsje fan 'e silisiumwafel te garandearjen yn it slypproses sûnder slide.
Dichte en unifoarme struktuer: Adopsje fan mikroporeus keramysk materiaal mei de dichte en unifoarme struktuer, dy't net maklik is om silisiumstof te adsorbearjen, en de chuck is maklik skjin te meitsjen.
Hege sterkte: gjin ferfoarming by it slypjen, om te soargjen dat de silisiumwafel op elk punt by it slijpen evenredich wurdt beklamme, en it is net maklik om de ferskynsels fan râneynstoarten, ôffal te foarkommen.
Lange libbensdoer: it behâld fan oerflakfoarm is goed, de dressing syklus is lang en it dressing bedrach is lyts, dus it hat in hege libben.
Maklik oanklaaien: d'r sil gjin barsten, fersnippering, ferskynsels wêze by it oanklaaien.
Lichtgewicht: Troch de ynterne struktuer fan poaren is de spesifike swiertekrêftkoëffisjint 1.6-2.8.
Hege isolaasje: isolearjend materiaal, eliminearje statyske elektrisiteit.
Accuracy Control
| kategory | Basis materiaal | Adsorpsje oerflak materiaal | Grutte | Flatens | djipte fan parallelisme |
| Poreus chuck | Aluminiumlegering | Poreus SIC | ≤12μm | ≤15 μm | ≤20 μm |
| Rustfrij stiel | ≤10μm | ≤15 μm | |||
| Alumina | ≤5 μm | ≤8μm | |||
| Silisiumkarbid | ≤3μm | ≤8μm | |||
| De poreuze keramyske chuck hat in folslein oanbod fan spesifikaasjes en maten, dy't kinne wurde brûkt yn 'e 3-inch line, 4-inch line, 5-inch line, 6-inch line, 8-inch line en 12-inch line, en kin wurde oanpast neffens de spesifikaasjes en maten dy't jo nedich hawwe. | |||||
| De maksimale grutte fan 'e hjoeddeistige saak is: 1600 * 1600m, dikte is 50mm; | |||||
Poreuze keramyske materiaal eigenskippen:
Haadyngrediïnten: alumina Kleur: swart, izergriis
Alumina ynhâld: 92% Focht ynhâld: 0%
Aperture: 2~30um Porositeit: 35~40%
Buigsterkte: 6kgf/cm2 (Mpa) Volume ratio: 2.28g/cm3
Keramyske chuck type
Neffens it gebrûk, Ceramic chuck wurde ferdield yn:
Thinning masine útrist mei: abrasive disc chuck, silisium wafer, saffier substraat en oare thinning;
Cutting masine is foarsjoen fan: scribing chuck, silisium wafer, semiconductor gearstalde wafer en oare cutting;
Cleaning masine útrist mei: cleaning chuck;
Film removing masine is foarsjoen fan: film removing chuck;
Laminearjen masine útrist mei: laminating chuck;
Printmasine útrist mei: printchuck.
Kwaliteitsfersekering
Fountyl hat in protte jierren technyske ûnderfining op engineering keramyske presyzje en ultra-precision ferwurkjen en fabrikaazje, in ferskaat oan fysike en gemyske analyze ynstruminten en geometryske mjitting ynstruminten, te garandearjen de stabiliteit fan produksje en konsistinsje fan produkt foar keramyske chuck.
Produkt Applikaasje
Poreuze chuck (adsorpsjonswurktafel) is in komponint dat brûkt wurdt yn 'e semiconductor-faze en gearstald op in skriuwmasine as ynspeksjeapparaat. It is in produkt dat de poreuze struktuer en negative druk fan it oerflak fan 'e wurkbank kin brûke om de tinne silisiumwafel flak te hâlden. De skriuwmasine snijt de silisiumwafel mei de breedte sawat 20μm, sadat de eask foar flatness en parallelisme fan it wafeladsorpsje-oerflak tige heech binne. Neffens harren respektive skaaimerken, ferskillende pore struktueren hawwe ferskillende tapassing berik, lykas microporous keramyk mei grutte spesifyk oerflak en lytse pore grutte, meastal brûkt yn baktearjele filtration en microbial fixation fjilden; Mesoporous keramyk mei harren spesifike diameter ferdieling wurde faak brûkt yn skieding, adsorption katalysis fjilden. Makroporous keramyk is meast geskikt foar rûge filtraasje fan stoffen mei in grutte ynhâld en grutte grutte.