Chuck Fholúis Ceirmeach Microporous
Gnéithe chuck bhfolús ceirmeacha
Tréscaoilteacht láidir: tréscaoilteacht aeir aonfhoirmeach agus tréscaoilteacht uisce, chun fórsa aonfhoirmeach agus asaithe go docht an wafer sileacain sa phróiseas meilt gan sleamhnán a chinntiú.
Struchtúr dlúth agus aonfhoirmeach: Glacadh le hábhar ceirmeach micrea-scagach leis an struchtúr dlúth agus aonfhoirmeach, nach bhfuil sé éasca le deannach sileacain a adsorb, agus is furasta an chuck a ghlanadh.
Ard-neart: gan aon dífhoirmiúchán le linn meilt, chun a chinntiú go bhfuil an wafer sileacain béim go cothrom ag gach pointe nuair a mheilt, agus nach bhfuil sé éasca a tharlaíonn feiniméin titim imeall, smionagar.
Saol fada: tá coinneáil cruth an dromchla maith, tá an timthriall feistis fada agus tá an méid feistis beag, agus mar sin tá saol ard aige.
Cóiriú éasca: ní bheidh aon scoilteadh, ilroinnt, feiniméin buailte le linn gléasta.
Meáchan Éadrom: Mar gheall ar struchtúr inmheánach na bpiocháin, is é 1.6-2.8 an comhéifeacht domhantarraingthe sonrach.
Insliú ard: ábhar inslithe, deireadh a chur le leictreachas statach.
Rialú Cruinneas
chatagóir | Bunábhar | Ábhar dromchla asaithe | Méid | Maoile | doimhneacht an chomhthreomhaireachta |
Chuck scagach | Cóimhiotal Alúmanam | SIC scagach | ≤12μm | ≤15μm | ≤20μm |
Cruach dhosmálta | ≤10μm | ≤15μm | |||
Alúmana | ≤5μm | ≤8μm | |||
Cairbíd Sileacain | ≤3μm | ≤8μm | |||
Tá raon iomlán sonraíochtaí agus méideanna ag an chuck ceirmeach scagach, is féidir a úsáid sa líne 3-orlach, líne 4-orlach, líne 5-orlach, líne 6-orlach, líne 8-orlach agus líne 12-orlach, agus is féidir a shaincheapadh de réir na sonraíochtaí agus na méideanna atá uait. | |||||
Is é uasmhéid an cháis reatha ná: 1600 * 1600m, tá tiús 50mm; |
Saintréithe ábhar ceirmeach scagach:
Príomh-chomhábhair: alúmana Dath: dubh, iarann liath
Ábhar alúmana: 92% Ábhar taise: 0%
Cró: 2~30um Porosity: 35~40%
Neart lúbthachta: 6kgf/cm2 (Mpa) Cóimheas toirte: 2.28g/cm3
Cineál chuck ceirmeacha
De réir na húsáide, roinntear chuck ceirmeach i:
Meaisín tanaithe atá feistithe le: chuck diosca scríobach, wafer sileacain, substráit sapphire agus tanúchán eile;
Tá meaisín gearrtha feistithe le: chuck scribing, wafer sileacain, wafer cumaisc leathsheoltóra agus gearradh eile;
Meaisín glantacháin atá feistithe le: chuck glantacháin;
Tá meaisín a bhaint scannán feistithe le: scannán a bhaint chuck;
Meaisín lannú atá feistithe le: chuck lannú;
Meaisín priontála atá feistithe le: chuck priontála.
Dearbhú cáilíochta
Tá blianta fada de thaithí theicniúil ag Fountyl ar chruinneas ceirmeach innealtóireachta agus ar phróiseáil agus déantúsaíocht ultra-cruinneas, ar éagsúlacht na n-ionstraimí anailíse fisiceacha agus ceimiceacha agus ionstraimí tomhais geoiméadracha, chun cobhsaíocht táirgeachta agus comhsheasmhacht an táirge le haghaidh chuck ceirmeach a chinntiú.
Feidhmchlár Táirge
Is comhpháirt é chuck porous (tábla oibre asaithe) a úsáidtear sa chéim déantúsaíochta leathsheoltóra agus a chuirtear le chéile ar mheaisín scríbhneoireachta nó feiste iniúchta. Is táirge é atá in ann struchtúr scagach agus brú diúltach dhromchla an bhinse oibre a úsáid chun an sliseog tanaí sileacain a choinneáil cothrom. Gearrann an meaisín scríobtha an wafer sileacain leis an leithead thart ar 20μm, agus mar sin tá an ceanglas maidir le Maoile agus comhthreomharacht an dromchla asaithe wafer an-ard. De réir a dtréithe faoi seach, tá raonta éagsúla iarratais ag struchtúir pore éagsúla, mar shampla criadóireacht microporous le achar dromchla sonrach mór agus méid pore beag, a úsáidtear de ghnáth i réimsí scagacháin baictéarach agus fosaithe miocróbach; Is minic a úsáidtear criadóireacht mesoporous lena dáileadh trastomhais ar leith i réimsí catalaithe scaradh, asaithe. De ghnáth tá criadóireacht macroporous oiriúnach le haghaidh scagachán garbh substaintí a bhfuil cion mór agus méid mór acu.