Пористый керамический патрон
- Продукты
- Патрон из карбида кремния с пластинчатым штифтом
- Патрон с кольцевой канавкой
- Пористый керамический патрон
- Воздушный плавающий стол
- Керамическая рука
- Электростатический патрон
- Керамическая балка
- Керамический поршень
- Детали AISiC
- Керамические детали
- Кварцевые детали
- Конструкционные компоненты ПЭЭК
- Керамический направляющий
- Материалы
0102030405
Пористый керамический патрон
Характеристики пористой керамической пластины
Высокая проницаемость: равномерная воздухо- и водопроницаемость, обеспечивающая равномерное усилие и плотную адсорбцию кремниевой пластины в процессе шлифования без скольжения.
Плотная и однородная структура: использование микропористого керамического материала с плотной и однородной структурой, которая нелегко адсорбирует кремниевую пыль, а патрон легко очищается.
Высокая прочность: отсутствие деформации во время шлифования, что обеспечивает равномерную нагрузку на кремниевую пластину в каждой точке при шлифовании, а также не позволяет легко возникнуть таким явлениям, как разрушение кромок и образование мусора.
Длительный срок службы: поверхность сохраняет форму хорошо, цикл правки длительный, а объем правки невелик, поэтому срок службы долгий.
Легкость разделки: при разделке не возникает трещин, фрагментации и размельчения.
Легкость: Благодаря внутренней структуре пор коэффициент удельного веса составляет 1,6-2,8.
Высокая изоляция: изоляционный материал, устраняет статическое электричество.
Контроль точности
| категория | Основной материал | Материал адсорбционной поверхности | Размер | Плоскостность | глубина параллелизма |
| Пористый керамический патрон | Алюминиевый сплав | Пористый SIC | ≤12 мкм | ≤15мкм | ≤20 мкм |
| Нержавеющая сталь | ≤10 мкм | ≤15мкм | |||
| Глинозем | ≤5мкм | ≤8 мкм | |||
| Карбид кремния | ≤3мкм | ≤8 мкм | |||
| Пористый керамический патрон имеет полный спектр спецификаций и размеров, его можно использовать в 3-дюймовой, 4-дюймовой, 5-дюймовой, 6-дюймовой, 8-дюймовой и 12-дюймовой линиях, а также его можно настраивать в соответствии с необходимыми вам спецификациями и размерами. | |||||
| Максимальный размер текущего корпуса: 1600*1600м, толщина 50мм; | |||||
Характеристики пористого керамического материала:
Основные ингредиенты: оксид алюминия. Цвет: черный, железно-серый.
Содержание глинозема: 92% Содержание влаги: 0%
Апертура: 2~30 мкм Пористость: 35~40%
Прочность на изгиб: 6 кгс/см2 (МПа) Объемное отношение: 2,28 г/см3
Патрон из пористого карбида кремния
По назначению патроны делятся на:
Утонительный станок, оснащенный: утонительным патроном, кремниевой пластиной, сапфировой подложкой и другими утонителями;
Пила для резки кубиками оснащена: патроном для резки кубиками, кремниевой пластиной, пластиной полупроводникового соединения и другими видами резки;
Очистительная машина, оснащенная: чистящим патроном;
Машина для снятия пленки оснащена: патроном для снятия пленки;
Ламинатор, оснащенный: ламинирующим патроном;
Печатная машина оснащена: печатным патроном.
Гарантия качества
Компания Fountyl имеет многолетний технический опыт в области точной и сверхточной обработки и производства керамических изделий, а также разнообразных приборов для физического и химического анализа и геометрических измерений, что позволяет гарантировать стабильность производства и единообразие продукции для пористой керамической плиты.
Применение продукта
Пористая керамическая пластина — это компонент, используемый на этапе производства полупроводников и монтируемый на скрайбирующей машине или контрольном устройстве. Это изделие может использовать пористую структуру и отрицательное давление поверхности рабочего стола для поддержания плоской тонкой кремниевой пластины. Скрайбирующая машина режет кремниевую пластину шириной около 20 мкм, поэтому требования к плоскостности и параллельности адсорбционной поверхности пластины очень высоки. В зависимости от их соответствующих характеристик, различные структуры пор имеют различные области применения, например, микропористая керамика с большой удельной площадью поверхности и малым размером пор, обычно используемая в областях бактериальной фильтрации и фиксации микроорганизмов; мезопористая керамика с ее определенным распределением диаметров часто используется в областях разделения, адсорбционного катализа. Макропористая керамика обычно подходит для грубой фильтрации веществ с большим содержанием и большим размером.