Пористый керамический патрон
Пористый керамический патрон
Пористые керамические элементы патрона
Высокая проницаемость: равномерная воздухо- и водопроницаемость, обеспечивающая равномерное усилие и плотное прилегание кремниевой пластины в процессе шлифовки без скольжения.
Плотная и однородная структура: Использование микропористого керамического материала с плотной и однородной структурой, который не склонен к адсорбции кремниевой пыли, облегчает очистку патрона.
Высокая прочность: отсутствие деформации во время шлифовки, что обеспечивает равномерное распределение напряжения по кремниевой пластине в каждой точке шлифовки и исключает вероятность разрушения краев и образования шлаков.
Длительный срок службы: хорошо сохраняет форму поверхности, длительный цикл перевязки и небольшое количество перевязочных материалов, поэтому обладает высокой износостойкостью.
Облегчение процесса заправки: при заправке не будет растрескивания, расслоения или обмолота.
Лёгкий вес: Благодаря внутренней структуре пор, коэффициент удельной плотности составляет 1,6-2,8.
Высокая теплоизоляция: изоляционный материал, устраняющий статическое электричество.
Контроль точности
| категория | Базовый материал | Адсорбционный поверхностный материал | Размер | Плоскость | глубина параллелизма |
| Пористый керамический патрон | Алюминиевый сплав | Пористый SIC | ≤12 мкм | ≤15 мкм | ≤20 мкм |
| Нержавеющая сталь | ≤10 мкм | ≤15 мкм | |||
| Оксид алюминия | ≤5 мкм | ≤8 мкм | |||
| Карбид кремния | ≤3 мкм | ≤8 мкм | |||
| Пористый керамический патрон имеет полный диапазон технических характеристик и размеров, которые могут использоваться в линиях диаметром 3, 4, 5, 6, 8 и 12 дюймов, а также могут быть изготовлены на заказ в соответствии с необходимыми вам характеристиками и размерами. | |||||
| Максимальный размер текущего корпуса составляет 1600*1600 мм, толщина — 50 мм; | |||||
Характеристики пористого керамического материала:
Основные ингредиенты: оксид алюминия. Цвет: черный, железисто-серый.
Содержание оксида алюминия: 92% Содержание влаги: 0%
Апертура: 2–30 мкм. Пористость: 35–40%.
Предел прочности на изгиб: 6 кгс/см² (МПа). Объемное соотношение: 2,28 г/см³.
Пористый карбид кремния, патронный тип
В зависимости от назначения патроны делятся на следующие категории:
Станок для истончения, оснащенный: истончающим патроном, кремниевой пластиной, сапфировой подложкой и другими элементами для истончения;
Дисковая пила оснащена: дисковым патроном, приспособлениями для резки кремниевых пластин, полупроводниковых композитных пластин и других материалов;
Очистительная машина, оснащенная: очистным патроном;
Машина для удаления пленки оснащена: зажимным устройством для удаления пленки;
Ламинатор, оснащенный: ламинирующим патроном;
Печатная машина, оснащенная печатным зажимом.
Гарантия качества
Компания Fountyl обладает многолетним техническим опытом в области прецизионной и сверхточной обработки и производства керамических изделий, а также располагает разнообразным оборудованием для физико-химического анализа и геометрических измерений, что обеспечивает стабильность производства и однородность продукции для пористых керамических зажимных устройств.
Применение продукта
Пористая керамическая заготовка — это компонент, используемый на этапе производства полупроводников и устанавливаемый на разметочный станок или контрольное устройство. Это изделие, которое использует пористую структуру и отрицательное давление поверхности рабочего стола для поддержания плоскостности тонкой кремниевой пластины. Разметочный станок обрабатывает кремниевую пластину шириной около 20 мкм, поэтому требования к плоскостности и параллельности адсорбционной поверхности пластины очень высоки. В зависимости от своих характеристик, различные пористые структуры имеют разные области применения, например, микропористая керамика с большой удельной поверхностью и малым размером пор обычно используется в области бактериальной фильтрации и фиксации микроорганизмов; мезопористая керамика с ее специфическим распределением диаметров часто используется в областях разделения, адсорбционного катализа. Макропористая керамика обычно подходит для грубой фильтрации веществ с большим содержанием и большим размером частиц.