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Mandrino sottovuoto in ceramica microporosa
Caratteristiche del mandrino a vuoto in ceramica
Forte permeabilità: permeabilità all'aria uniforme e permeabilità all'acqua, per garantire la forza uniforme e l'adsorbimento stretto del wafer di silicio nel processo di macinazione senza scivolo.
Struttura densa e uniforme: adozione di materiale ceramico microporoso con struttura densa e uniforme, che non assorbe facilmente la polvere di silicio e il mandrino è facile da pulire.
Elevata resistenza: nessuna deformazione durante la macinazione, per garantire che il wafer di silicio sia sollecitato uniformemente in ogni punto durante la macinazione e non è facile che si verifichino fenomeni di collasso dei bordi e detriti.
Lunga durata: il mantenimento della forma della superficie è buono, il ciclo di medicazione è lungo e la quantità di medicazione è ridotta, quindi ha una durata elevata.
Facile vestizione: durante la vestizione non si verificheranno fenomeni di fessurazione, frammentazione, trebbiatura.
Leggero: a causa della struttura interna dei pori, il coefficiente di gravità specifica è 1,6-2,8.
Elevato isolamento: materiale isolante, elimina l'elettricità statica.
Controllo della precisione
| categoria | Materiale di base | Materiale della superficie di assorbimento | Misurare | Planarità | profondità del parallelismo |
| Mandrino poroso | Lega di alluminio | SIC poroso | ≤12μm | ≤15μm | ≤20μm |
| Acciaio inossidabile | ≤10μm | ≤15μm | |||
| Allumina | ≤5μm | ≤8μm | |||
| Carburo di silicio | ≤3μm | ≤8μm | |||
| Il mandrino in ceramica porosa ha una gamma completa di specifiche e dimensioni, che possono essere utilizzati nella linea da 3 pollici, nella linea da 4 pollici, nella linea da 5 pollici, nella linea da 6 pollici, nella linea da 8 pollici e nella linea da 12 pollici e può essere personalizzato in base alle specifiche e alle dimensioni necessarie. | |||||
| La dimensione massima del caso attuale è: 1600*1600 m, lo spessore è 50 mm; | |||||
Caratteristiche del materiale ceramico poroso:
Ingredienti principali: allumina Colore: nero, grigio ferro
Contenuto di allumina: 92% Contenuto di umidità: 0%
Apertura: 2~30um Porosità: 35~40%
Resistenza alla flessione: 6 kgf/cm2 (Mpa) Rapporto volumetrico: 2,28 g/cm3
Tipo di mandrino in ceramica
In base all'utilizzo, i mandrini in ceramica si dividono in:
Macchina per assottigliare dotata di: mandrino per dischi abrasivi, wafer di silicio, substrato in zaffiro e altri assottigliatori;
La macchina da taglio è dotata di: mandrino di incisione, wafer di silicio, wafer composto di semiconduttori e altri tagli;
Macchina per la pulizia dotata di: mandrino di pulizia;
La macchina per la rimozione della pellicola è dotata di: mandrino per la rimozione della pellicola;
Macchina laminatrice dotata di: mandrino di laminazione;
Macchina da stampa dotata di: mandrino da stampa.
Garanzia di qualità
Fountyl vanta molti anni di esperienza tecnica nell'ingegneria della precisione ceramica e nella lavorazione e produzione ultraprecisa, una varietà di strumenti di analisi fisica e chimica e strumenti di misurazione geometrica, per garantire la stabilità della produzione e la consistenza del prodotto per il mandrino in ceramica.
Applicazione del prodotto
Il mandrino poroso (piano di lavoro ad adsorbimento) è un componente utilizzato nella fase di produzione dei semiconduttori e assemblato su una macchina per tracciare o su un dispositivo di ispezione. È un prodotto che può sfruttare la struttura porosa e la pressione negativa della superficie del banco di lavoro per mantenere piatto il sottile wafer di silicio. La macchina per tracciare taglia il wafer di silicio con una larghezza di circa 20μm, quindi i requisiti di planarità e parallelismo della superficie di adsorbimento del wafer sono molto elevati. A seconda delle rispettive caratteristiche, diverse strutture dei pori hanno diversi campi di applicazione, come le ceramiche microporose con ampia area superficiale specifica e piccola dimensione dei pori, solitamente utilizzate nei campi di filtrazione batterica e fissazione microbica; Le ceramiche mesoporose con la loro specifica distribuzione del diametro sono spesso utilizzate nei campi di catalisi di separazione e adsorbimento. Le ceramiche macroporose sono generalmente adatte per la filtrazione grossolana di sostanze con un grande contenuto e grandi dimensioni.