mandrin en céramique poreuse
mandrin en céramique poreuse
Caractéristiques du mandrin en céramique poreuse
Forte perméabilité : perméabilité uniforme à l'air et à l'eau, pour assurer une force uniforme et une adsorption ferme de la plaquette de silicium lors du processus de meulage sans glissement.
Structure dense et uniforme : L'utilisation d'un matériau céramique microporeux à structure dense et uniforme empêche l'adsorption facile de la poussière de silicium et facilite le nettoyage du mandrin.
Haute résistance : aucune déformation pendant le meulage, afin de garantir que la plaquette de silicium soit soumise à une contrainte uniforme en chaque point lors du meulage, et qu'il ne soit pas facile de constater des phénomènes d'effondrement des bords ou de débris.
Longue durée de vie : la forme de la surface est bien conservée, le cycle de pansement est long et la quantité de pansement est faible, ce qui lui confère une longue durée de vie.
Habillage facile : aucun craquement, fragmentation ou phénomène de battage ne se produira lors de l'habillage.
Léger : Grâce à la structure interne des pores, le coefficient de densité est de 1,6 à 2,8.
Isolation élevée : matériau isolant, élimine l'électricité statique.
Contrôle de précision
| catégorie | Matériau de base | matériau de surface d'adsorption | Taille | Platitude | profondeur du parallélisme |
| mandrin en céramique poreuse | Alliage d'aluminium | SiC poreux | ≤12μm | ≤15μm | ≤20μm |
| Acier inoxydable | ≤10μm | ≤15μm | |||
| Alumine | ≤5μm | ≤8μm | |||
| carbure de silicium | ≤3μm | ≤8μm | |||
| Le mandrin en céramique poreuse est disponible dans une gamme complète de spécifications et de tailles, et peut être utilisé sur les lignes de 3 pouces, 4 pouces, 5 pouces, 6 pouces, 8 pouces et 12 pouces, et peut être personnalisé selon les spécifications et les tailles dont vous avez besoin. | |||||
| La taille maximale du boîtier actuel est de : 1600*1600 mm, son épaisseur est de 50 mm ; | |||||
Caractéristiques des matériaux céramiques poreux :
Ingrédients principaux : alumine. Couleur : noir, gris fer.
Teneur en alumine : 92 % Teneur en humidité : 0 %
Ouverture : 2 à 30 µm ; Porosité : 35 à 40 %
Résistance à la flexion : 6 kgf/cm² (MPa) Rapport volumique : 2,28 g/cm³
mandrin en carbure de silicium poreux de type
Selon l'usage, les mandrins sont divisés en :
Machine d'amincissement équipée de : mandrin d'amincissement, plaquette de silicium, substrat de saphir et autres dispositifs d'amincissement ;
La scie à découper est équipée de : mandrin de découpe, plaquette de silicium, plaquette de composé semi-conducteur et autres outils de coupe ;
Machine de nettoyage équipée de : mandrin de nettoyage ;
La machine à retirer le film est équipée de : mandrin de retrait du film ;
Machine à plastifier équipée de : mandrin de plastification ;
Machine d'impression équipée de : mandrin d'impression.
Assurance qualité
Fountyl possède de nombreuses années d'expérience technique dans le traitement et la fabrication de précision et d'ultra-précision de la céramique d'ingénierie, ainsi qu'une variété d'instruments d'analyse physique et chimique et d'instruments de mesure géométrique, afin d'assurer la stabilité de la production et la constance du produit pour les mandrins en céramique poreuse.
Application du produit
Le plateau en céramique poreuse est un composant utilisé dans la fabrication des semi-conducteurs et monté sur une machine de traçage ou un dispositif d'inspection. Ce produit exploite la structure poreuse et la dépression de la surface de travail pour maintenir la surface plane d'une fine plaquette de silicium. La machine de traçage découpe la plaquette avec une épaisseur d'environ 20 µm, ce qui impose des exigences très élevées en matière de planéité et de parallélisme de la surface d'adsorption. Selon leurs caractéristiques, les différentes structures de pores ont des domaines d'application variés : les céramiques microporeuses, avec une grande surface spécifique et des pores de petite taille, sont généralement utilisées pour la filtration bactérienne et la fixation microbienne ; les céramiques mésoporeuses, avec une distribution de diamètres spécifique, sont souvent utilisées pour la séparation et la catalyse par adsorption ; les céramiques macroporeuses conviennent généralement à la filtration grossière de substances de grande taille et à forte concentration.