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Produit principal
0102030405
Mandrin à vide en céramique microporeuse
Caractéristiques du mandrin à vide en céramique
Forte perméabilité : perméabilité à l'air et perméabilité à l'eau uniformes, pour garantir une force uniforme et une adsorption étroite de la plaquette de silicium dans le processus de broyage sans glissement.
Structure Dense et uniforme : Adoption d'un matériau céramique microporeux avec une structure dense et uniforme, qui n'absorbe pas facilement la poussière de silicium, et le mandrin est facile à nettoyer.
Haute résistance : aucune déformation pendant le meulage, pour garantir que la plaquette de silicium est uniformément sollicitée à chaque point lors du meulage, et il n'est pas facile de provoquer des phénomènes d'effondrement des bords, de débris.
Longue durée de vie : la rétention de forme de la surface est bonne, le cycle de dressage est long et la quantité de dressage est faible, ce qui lui confère une durée de vie élevée.
Habillage facile : il n'y aura pas de phénomènes de fissuration, de fragmentation, de battage lors de l'habillage.
Léger : en raison de la structure interne des pores, le coefficient de gravité spécifique est de 1,6 à 2,8.
Haute isolation : matériau isolant, élimine l'électricité statique.
Contrôle de précision
| catégorie | Matériel de base | Matériau de surface adsorbant | Taille | Platitude | profondeur du parallélisme |
| Mandrin poreux | Alliage d'aluminium | SIC poreux | ≤12μm | ≤15μm | ≤20μm |
| Acier inoxydable | ≤10μm | ≤15μm | |||
| Alumine | ≤5μm | ≤8μm | |||
| Carbure de silicium | ≤3μm | ≤8μm | |||
| Le mandrin en céramique poreuse a une gamme complète de spécifications et de tailles, qui peuvent être utilisés dans la ligne de 3 pouces, la ligne de 4 pouces, la ligne de 5 pouces, la ligne de 6 pouces, la ligne de 8 pouces et la ligne de 12 pouces, et peut être personnalisé selon les spécifications et les tailles dont vous avez besoin. | |||||
| La taille maximale du boîtier actuel est : 1600*1600 m, l’épaisseur est de 50 mm ; | |||||
Caractéristiques du matériau céramique poreux :
Ingrédients principaux : alumine Couleur : noir, gris fer
Teneur en alumine : 92 % Teneur en humidité : 0 %
Ouverture : 2~30um Porosité : 35~40%
Résistance à la flexion : 6kgf/cm2 (Mpa) Rapport volumétrique : 2,28 g/cm3
Type de mandrin en céramique
Selon l'usage, les mandrins en céramique sont divisés en :
Machine à éclaircir équipée de : mandrin à disque abrasif, plaquette de silicium, substrat en saphir et autres amincissements ;
La machine de découpe est équipée de : mandrin de traçage, plaquette de silicium, plaquette composée de semi-conducteurs et autres découpes ;
Machine de nettoyage équipée de : mandrin de nettoyage ;
La machine à retirer le film est équipée de : un mandrin de retrait du film ;
Machine à plastifier équipée de : mandrin à plastifier ;
Machine d'impression équipée de : mandrin d'impression.
Assurance qualité
Fountyl possède de nombreuses années d'expérience technique dans l'ingénierie de précision en céramique et dans le traitement et la fabrication d'ultra-précision, une variété d'instruments d'analyse physique et chimique et d'instruments de mesure géométrique, pour assurer la stabilité de la production et la cohérence du produit pour mandrin en céramique.
Application du produit
Le mandrin poreux (table de travail par adsorption) est un composant utilisé au stade de la fabrication des semi-conducteurs et assemblé sur une machine à tracer ou un dispositif d'inspection. C'est un produit qui peut utiliser la structure poreuse et la pression négative de la surface de l'établi pour maintenir la fine plaquette de silicium plate. La machine à tracer coupe la tranche de silicium avec une largeur d'environ 20 μm, de sorte que les exigences en matière de planéité et de parallélisme de la surface d'adsorption de la tranche sont très élevées. Selon leurs caractéristiques respectives, différentes structures de pores ont des domaines d'application différents, tels que les céramiques microporeuses avec une grande surface spécifique et une petite taille de pores, généralement utilisées dans les domaines de la filtration bactérienne et de la fixation microbienne ; Les céramiques mésoporeuses, avec leur distribution spécifique de diamètres, sont souvent utilisées dans les domaines de la catalyse de séparation et d'adsorption. Les céramiques macroporeuses conviennent généralement à la filtration grossière de substances à forte teneur et de grande taille.