Mikroporózus kerámia vákuum tokmány
A kerámia vákuumtokmány jellemzői
Erős permeabilitás: egyenletes lég- és vízáteresztő képesség, hogy biztosítsa a szilíciumlapka egyenletes erejét és szoros adszorpcióját az őrlési folyamatban csúszás nélkül.
Sűrű és egységes szerkezet: Sűrű és egyenletes szerkezetű mikroporózus kerámia anyag, amely nem könnyen felszívja a szilíciumport, és a tokmány könnyen tisztítható.
Nagy szilárdság: nincs deformálódás a köszörülés során, hogy a szilícium lapka minden pontján egyenletesen feszültség legyen köszörüléskor, és nem könnyű előfordulni az éles összeomlás, a törmelék jelensége.
Hosszú élettartam: jó a felületi formatartás, hosszú a kötözési ciklus és kicsi a kötszer mennyisége, így hosszú élettartamú.
Könnyű öltözködés: nem lesz repedés, töredezettség, cséplési jelenség az öltözködés során.
Könnyű: A pórusok belső szerkezete miatt a fajsúly együtthatója 1,6-2,8.
Magas szigetelés: szigetelőanyag, kiküszöböli a statikus elektromosságot.
Pontosság ellenőrzése
kategória | Alapanyag | Adszorpciós felületi anyag | Méret | Laposság | párhuzamosság mélysége |
Porózus tokmány | Alumínium ötvözet | Porózus SIC | ≤12μm | ≤15 μm | ≤20 μm |
Rozsdamentes acél | ≤10μm | ≤15 μm | |||
Alumínium-oxid | ≤5μm | ≤8μm | |||
Szilícium-karbid | ≤3 μm | ≤8μm | |||
A porózus kerámia tokmány a specifikációk és méretek teljes választékával rendelkezik, amelyek használhatók a 3 hüvelykes, 4 hüvelykes, 5 hüvelykes, 6 hüvelykes, 8 hüvelykes és 12 hüvelykes vonalakban, és testreszabható a szükséges specifikációk és méretek szerint. | |||||
A jelenlegi tok maximális mérete:1600*1600m, vastagsága 50mm; |
Porózus kerámia anyag jellemzői:
Főbb összetevők: timföld Szín: fekete, vasszürke
Alumínium-oxid tartalom: 92% Nedvességtartalom: 0%
Rekesz: 2-30um Porozitás: 35-40%
Hajlítószilárdság: 6kgf/cm2 (Mpa) Térfogatarány: 2,28g/cm3
Kerámia tokmány típus
A használat szerint a kerámia tokmány a következőkre oszlik:
Hígítógép a következőkkel felszerelt: csiszolókorongos tokmány, szilícium ostya, zafír hordozó és egyéb hígítás;
A vágógép a következőkkel van felszerelve: tokmány, szilícium ostya, félvezető keverék ostya és egyéb vágás;
Tisztítógép a következőkkel felszerelt: tisztító tokmány;
A fóliaeltávolító gép fel van szerelve: fóliaeltávolító tokmány;
Lamináló gép felszereltsége: lamináló tokmány;
Nyomdagép felszerelve: nyomda tokmány.
Minőségbiztosítás
A Fountyl sok éves műszaki tapasztalattal rendelkezik a mérnöki kerámia precíziós és ultraprecíziós feldolgozás és gyártás, valamint számos fizikai és kémiai elemző műszer és geometriai mérőműszer területén, hogy biztosítsa a gyártás stabilitását és a kerámia tokmány termékeinek konzisztenciáját.
Termék alkalmazása
A porózus tokmány (adszorpciós munkaasztal) a félvezető gyártási szakaszában használt alkatrész, amelyet írógépre vagy ellenőrző eszközre szerelnek fel. Ez egy olyan termék, amely a munkapad felületének porózus szerkezetét és negatív nyomását felhasználva tartja a vékony szilícium ostyát. A írógép körülbelül 20 μm széles szilícium ostyát vág, így az ostya adszorpciós felületének síkossága és párhuzamossága nagyon magas. Jellemzőik szerint a különböző pórusszerkezetek eltérő alkalmazási körrel rendelkeznek, mint például a nagy fajlagos felületű és kis pórusméretű mikropórusos kerámiák, amelyeket általában bakteriális szűrésben és mikrobiális rögzítési területeken használnak; A fajlagos átmérő-eloszlású mezopórusos kerámiákat gyakran használják elválasztó, adszorpciós katalízis mezőkben. A makropórusos kerámiák általában nagy tartalmú és nagy méretű anyagok durva szűrésére alkalmasak.