Heim
Aðalvara
Microporous Keramik Vacuum Chuck
Keramik tómarúm chuck lögun
Sterk gegndræpi: einsleitt loftgegndræpi og vatnsgegndræpi, til að tryggja einsleitan kraft og þétt aðsog kísilskífunnar í malaferlinu án renna.
Þétt og einsleitt uppbygging: Samþykkt örgljúpt keramikefni með þéttri og samræmdri uppbyggingu, sem er ekki auðvelt að gleypa kísilryk og auðvelt er að þrífa chuckið.
Hár styrkur: engin aflögun meðan á mala stendur, til að tryggja að kísilskúffan sé jafnt álag á hverjum stað við mala, og það er ekki auðvelt að koma fram fyrirbæri brúnhruns, rusl.
Langt líf: yfirborðslögun varðveisla er góð, klæðningarferlið er langt og klæðningarmagnið er lítið, þannig að það hefur mikla líftíma.
Auðvelt að klæða sig: það verður engin sprunga, sundrun, þresking fyrirbæri þegar klæða sig.
Léttur: Vegna innri uppbyggingu svitahola er eðlisþyngdarstuðullinn 1,6-2,8.
Mikil einangrun: einangrunarefni, útrýma stöðurafmagni.
Nákvæmnisstýring
| flokki | Grunnefni | Aðsogsyfirborðsefni | Stærð | Flatleiki | dýpt samhliða |
| Porous chuck | Álblendi | Porous SIC | ≤12μm | ≤15μm | ≤20μm |
| Ryðfrítt stál | ≤10μm | ≤15μm | |||
| Súrál | ≤5μm | ≤8μm | |||
| Kísilkarbíð | ≤3μm | ≤8μm | |||
| Porous keramik chuck hefur alhliða forskriftir og stærðir, sem hægt er að nota í 3 tommu línu, 4 tommu línu, 5 tommu línu, 6 tommu línu, 8 tommu línu og 12 tommu línu, og hægt að aðlaga í samræmi við forskriftir og stærðir sem þú þarft. | |||||
| Hámarksstærð núverandi hulsturs er: 1600 * 1600m, þykkt er 50 mm; | |||||
Eiginleikar porous keramik efnis:
Helstu innihaldsefni: súrál Litur: svartur, járngrár
Súrálsinnihald: 92% Rakainnihald: 0%
Ljósop: 2~30um Grop: 35~40%
Beygjustyrkur :6kgf/cm2 (Mpa) Rúmmálshlutfall: 2,28g/cm3
Keramik chuck gerð
Samkvæmt notkuninni er Keramik chuck skipt í:
Þynningarvél búin með: slípiefnisskífu, kísilskúffu, safírundirlagi og annarri þynningu;
Skurðarvélin er búin með: rista chuck, sílikon oblátu, hálfleiðara samsett obláta og önnur klippa;
Þrifavél búin: hreinsistöð;
Vél til að fjarlægja filmu er búin með: filmu fjarlægja chuck;
Lagskipt vél búin með: lagskiptum chuck;
Prentvél búin: prenthleðslu.
Gæðatrygging
Fountyl hefur margra ára tæknilega reynslu af verkfræði keramik nákvæmni og ofurnákvæmni vinnslu og framleiðslu, margs konar eðlis- og efnagreiningartækjum og rúmfræðilegum mælitækjum, til að tryggja stöðugleika framleiðslu og samkvæmni vöru fyrir keramik chuck.
Vöruumsókn
Porous chuck (aðsogsvinnuborð) er hluti sem notaður er á hálfleiðaraframleiðslustigi og settur saman á ritvél eða skoðunarbúnað. Það er vara sem getur notað gljúpa uppbyggingu og neikvæðan þrýsting á yfirborði vinnubekksins til að halda þunnu sílikonskífunni flatri. Ritvélin sker kísilskífuna með breiddina um það bil 20μm, þannig að krafan um flatleika og samsíða aðsogsyfirborðs skífunnar er mjög mikil. Samkvæmt eiginleikum þeirra hafa mismunandi svitaholabyggingar mismunandi notkunarsvið, svo sem örporous keramik með stórt sérstakt yfirborð og litla svitaholastærð, venjulega notað í bakteríusíun og örverufestingarsviðum; Mesoporous keramik með sérstakri þvermálsdreifingu er oft notað í aðskilnaðar-, aðsogshvatasviðum. Macroporous keramik er venjulega hentugur fyrir grófa síun á efnum með mikið innihald og stóra stærð.