Heim
Aðalvara
Wafer pin chuck notað fyrir hálfleiðara útsetningarbúnað og obláta skoðunarbúnað
Eiginleikar
Háhitaþol:Kísilkarbíð og súrál keramik efni hafa framúrskarandi háhita árangur, hægt að nota í háhita umhverfi í langan tíma, ekki auðvelt að aflögun eða brot.
Tæringarþol:þolir margs konar efnatæringu, hentugur til að meðhöndla ætandi vökva eða lofttegundir í vinnuumhverfi.
Slitþol:hár hörku, með góða slitþol, hægt að nota í langan tíma án bilunar.
Sterkt aðsog:kúpt punktbyggingin minnkar snertiflöt sogskálarinnar og eykur þar með aðsogskraftinn á hverja flatarmálseiningu og getur aðsogað vinnustykkið betur.
Hár stöðugleiki:Vegna eiginleika efnisins hefur oblátapinna chuckið mikla stöðugleika og getur unnið stöðugt í langan tíma.
Draga úr mengun:Keramik oblátu chucks eru að þróast frá grópum til pinna til að minnka snertiflöt, draga úr mengun og bæta leiðréttingu á vindi.
Ferlisstýring
Mikil nákvæmni: 12 tommur þvermál, flatleiki er stjórnað innan 5 μm; Ef þú þarft meiri nákvæmni, vinsamlegast sendu okkur tölvupóst.
Lögun stjórna: Stilltu lögun chuck í samræmi við obláta lögun (ójafnvægisstýring).
Gleypandi svörun: Sérsniðin hönnun í samræmi við forskriftir.
þjónusta okkar
Íhuga skal val á oblátu pinna chuck í samræmi við marga þætti eins og nauðsynlega þvermál sogskálanna, fjölda kúptra punkta og lögun chuck, og velja viðeigandi val í samræmi við stærð, þyngd aðsogsins hlut og kröfur vinnuumhverfisins.
Við tókum upp nákvæma flata vinnslutækni, innleiðum skapandi hönnun fyrir sérsniðna og útvegum bestu obláturpinnaklefann til að uppfylla strangar kröfur viðskiptavina.
Hægt er að stilla flata lögun pinnaklefans frjálslega í samræmi við lögun oblátunnar og aðsogssvæðið eða pinnamynstrið er hægt að aðlaga til að bæta aðsogsviðbrögðin.
Efni: Áloxíð keramik eða kísilkarbíð er hægt að velja og DLC og Teflon er hægt að húða á yfirborðinu.
Verið er að þróa mikla nákvæmni SiC/SSiC oblátupinna fyrir útsetningu fyrir oblátur, skoðun, flutningsferli sem eru mjög sveigjanleg, mjög flöt og afar ónæm fyrir erfiðu vinnuumhverfi.
Nákvæmni prófunargögn
Umsókn
Festing obláturs á útsetningarbúnaði fyrir hálfleiðara; Festing obláta skoðunarbúnaðar fyrir oblátur.