Mandrino in carburo di silicio con perno wafer
Mandrino in carburo di silicio per wafer (morsetto wafer, mandrino preallineatore)
Caratteristiche
Resistenza alle alte temperature: I materiali ceramici in carburo di silicio e allumina hanno eccellenti prestazioni ad alta temperatura, possono essere utilizzati in ambienti ad alta temperatura per lungo tempo e non si deformano o si fratturano facilmente.
Resistenza alla corrosione: può resistere a una varietà di corrosioni chimiche, adatto alla manipolazione di liquidi o gas corrosivi nell'ambiente di lavoro.
Resistenza all'usura: elevata durezza e buona resistenza all'usura, possono essere utilizzati a lungo senza guasti.
Forte adsorbimento: la struttura a punta convessa riduce l'area di contatto del mandrino preallineatore, aumentando così la forza di adsorbimento per unità di area e può adsorbire più saldamente il pezzo in lavorazione.
Elevata stabilità: Grazie alle caratteristiche del materiale, il mandrino in carburo di silicio con perno wafer ha un'elevata stabilità e può funzionare stabilmente per lungo tempo.
Ridurre l'inquinamento:I mandrini in carburo di silicio si stanno evolvendo dalle scanalature ai perni per ridurre l'area di contatto, ridurre l'inquinamento e migliorare la correzione della deformazione.
Controllo di processo
Alta precisione: diametro di 12 pollici, planarità controllata entro 5 μm; se hai bisogno di maggiore precisione, inviaci un'e-mail.
Controllo della forma: regolare la forma di serraggio del wafer in base alla forma del wafer (controllo della non uniformità).
Capacità di assorbimento: progettazione personalizzata in base alle specifiche.
I nostri servizi
La scelta del mandrino in carburo di silicio con perno wafer deve essere considerata in base a molteplici fattori, quali il diametro richiesto del mandrino, il numero di punti convessi e la forma del mandrino, e si deve effettuare una scelta adeguata in base alle dimensioni, al peso dell'oggetto di adsorbimento e ai requisiti dell'ambiente di lavoro.
Abbiamo adottato una tecnologia di lavorazione piana di precisione, implementato un design creativo personalizzato e fornito il miglior mandrino preallineatore per soddisfare i severi requisiti dei clienti.
La forma piatta del mandrino in carburo di silicio può essere regolata liberamente in base alla forma del wafer, mentre l'area di adsorbimento o il modello dei perni possono essere personalizzati per migliorare la reattività all'adsorbimento.
Materiale: è possibile scegliere tra ceramica di ossido di alluminio o carburo di silicio, mentre la superficie può essere rivestita con DLC e Teflon.
I mandrini SiC/SSiC con perni per wafer ad alta precisione vengono sviluppati per processi di esposizione, ispezione e trasporto di wafer, che sono altamente flessibili, molto piatti ed estremamente resistenti ad ambienti di lavoro difficili.
Dati di test di precisione
Applicazione
Fissaggio del wafer del dispositivo di esposizione dei semiconduttori; Fissaggio del wafer del dispositivo di ispezione dei wafer.