Heim
Vörur
Porous loftfljótandi pallur með álagsflutningstækni í snertilausri stillingu fyrir hálfleiðaraiðnað
Hefðbundinn loftfljótandi pallur notar almennt inngjöf á litlum holum, torus inngjöf eða rifa inngjöf tækni, sem einkennist af einfaldri vinnslutækni, en þegar loftþrýstingur breytist er auðvelt að framleiða flautandi fyrirbæri, hljóðið er skarpt og legið getu sveiflast einnig, sem hentar ekki fyrir rólegt og stöðugt vinnuumhverfi með þrýstingi.
Hefðbundin TFT-LCD glerhvarfefni eru framleidd með vélmennaörmum (Vélmenni) og AGV (sjálfvirkum stýrðu ökutæki) kerfum. Gler undirlag í framleiðsluferlinu. Það er snertiaðgerð við álagsskiptingapallinn (eða rúlluna). Þegar glerundirlagið er í snertingu við álagsskiptipallinn eða rúlluna, veldur snerting og núningur þessum skemmdum eða göllum vandamálum sem vantar horn, sprungur, skemmdir, mengun og stöðurafmagn á yfirborði glerundirlagsins, og hafa síðan áhrif á framleiðsluna. ávöxtun og vörugæði, auk notkunar á rúllusnúningsflutningsálagi, hafa enn tæknileg vandamál til að sigrast á. Þessi vandamál hafa mikil áhrif á framleiðslu skilvirkni stórra glerhvarfefna og brýn þörf er á að bæta þau. Ef snertilaus loftfljótandi vettvangstækni getur komið í stað vandamála sem stafa af hefðbundinni snertiálagsbreytingartækni, mun það vera áhrifarík lausn. Kostir loftfljótandi kerfis:
1. Núningur núll.
2. Núll slit.
3. Bein hreyfing, snúningshreyfing eiga við.
4. Hljóðlaus og slétt aðgerð.
5. Meiri dempun.
6. Fjarlægðu olíu.
Uppbygging loftfljótandi pallsins er samsett úr nanó-porous keramik sem er fellt inn í grunninn til að mynda lofttæmishólf. hreint þjappað loft með vatnsfríu og olíufríu er sett inn í loftstillingarbilið milli leguyfirborðsins og loftfljótandi stýribrautarinnar í gegnum gaspípuna. Gasið flæðir í lofthamsbilinu til að láta burðarflötinn fljóta á loftfljótandi stýribrautinni. Gasið virkar sem smurefni til að færa eða flytja hluti án núnings.
Byggingin fyrir sameiginlega loftfljótandi holu:
a) Inngjöf fyrir opið
b) Gopótt uppbygging
Stærsta sérsniðna stærðin: lengd 1600 mm, breidd 1000 mm
Snertilaus flutnings- og álagsskiptibúnaður er aðallega til að bæta vandamálin af völdum hefðbundinnar meðhöndlunartækni eftir að glerundirlagið verður stærra, vegna þess að í flutnings- og álagsbreytingarferlinu er það ekki beint í snertingu við aðgerðarhlutinn, svo það getur forðast atvikið af viðhengi mengunarefna, streitu, stöðurafmagni og skemmdum á glerundirlaginu. Gopótt efni dregur aftur á móti verulega úr gasflæði, nær samræmdum loftþrýstingi og góðri dreifingu loftpúða og gefur nægilega flothæð sem þarf til notkunar.