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Mandril de pino wafer usado para dispositivo de exposição de semicondutores e dispositivo de inspeção de wafer
Características
Resistência a altas temperaturas:Os materiais cerâmicos de carboneto de silício e alumina têm excelente desempenho em altas temperaturas, podem ser usados em ambientes de alta temperatura por um longo tempo, não são fáceis de deformar ou fraturar.
Resistência à corrosão:pode suportar uma variedade de corrosão química, adequado para manusear líquidos ou gases corrosivos no ambiente de trabalho.
Resistência ao desgaste:alta dureza, com boa resistência ao desgaste, pode ser usada por muito tempo sem falhas.
Adsorção forte:a estrutura de ponto convexo reduz a área de contato da ventosa, aumentando assim a força de adsorção por unidade de área, e pode adsorver a peça de trabalho com mais firmeza.
Alta estabilidade:Devido às características do material, o mandril de pino wafer possui alta estabilidade e pode funcionar de forma estável por um longo tempo.
Reduzir a poluição:Os mandris de wafer de cerâmica estão evoluindo de ranhuras para pinos para reduzir a área de contato, reduzir alguma poluição e melhorar a correção de empenamento.
Controle do processo
Alta precisão: 12 polegadas de diâmetro, nivelamento é controlado dentro de 5 μm; Se precisar de mais precisão, envie-nos um e-mail.
Controle de formato: Ajuste o formato do mandril de acordo com o formato do wafer (controle de não uniformidade).
Capacidade de resposta absorvente: Design personalizado de acordo com as especificações.
Nossos serviços
A seleção do mandril de pino wafer deve ser considerada de acordo com vários fatores, como o diâmetro necessário das ventosas, o número de pontos convexos e o formato do mandril, e fazer uma escolha adequada de acordo com o tamanho, peso da adsorção objeto e os requisitos do ambiente de trabalho.
Adotamos tecnologia de usinagem plana de precisão, implementamos design criativo para personalização e fornecemos o melhor mandril de pino wafer para atender aos requisitos rigorosos dos clientes.
A forma plana do mandril de pinos pode ser ajustada livremente de acordo com o formato do wafer, e a área de adsorção ou padrão de pinos pode ser personalizada para melhorar a capacidade de resposta da adsorção.
Material: Cerâmica de óxido de alumínio ou carboneto de silício podem ser selecionados, e DLC e Teflon podem ser revestidos na superfície.
Mandris de pino wafer SiC/SSiC de alta precisão estão sendo desenvolvidos para processos de exposição, inspeção e transporte de wafers que são altamente flexíveis, muito planos e extremamente resistentes a ambientes de trabalho agressivos.
Dados de teste de precisão
Aplicativo
Fixação de wafer de dispositivo de exposição semicondutor; Fixação de wafer do dispositivo de inspeção de wafer.