Pino de wafer de carboneto de silício
Placa de fixação de pinos de carboneto de silício (fixação de wafers, placa de pré-alinhamento)
Características
Alta resistência à temperatura: Os materiais cerâmicos de carbeto de silício e alumina apresentam excelente desempenho em altas temperaturas, podendo ser utilizados em ambientes de alta temperatura por longos períodos sem deformação ou fraturamento frequentes.
Resistência à corrosão: Pode resistir a diversos tipos de corrosão química, sendo adequado para o manuseio de líquidos ou gases corrosivos no ambiente de trabalho.
Resistência ao desgaste: Alta dureza e boa resistência ao desgaste, podendo ser utilizado por um longo período sem falhas.
Adsorção forte: A estrutura de ponta convexa reduz a área de contato do mandril pré-alinhador, aumentando assim a força de adsorção por unidade de área e permitindo uma fixação mais firme da peça de trabalho.
Alta estabilidade: Devido às características do material, o mandril de carboneto de silício para pinos de wafer possui alta estabilidade e pode funcionar de forma estável por um longo período.
Reduzir a poluição:Os mandris de carboneto de silício estão evoluindo de ranhuras para pinos, visando reduzir a área de contato, diminuir a poluição e melhorar a correção de empenamento.
Controle de Processos
Alta precisão: 12 polegadas de diâmetro, planicidade controlada dentro de 5 μm; Se precisar de maior precisão, entre em contato conosco por e-mail.
Controle de forma: Ajusta a forma de fixação do wafer de acordo com o formato do wafer (controle de não uniformidade).
Capacidade de absorção: Design personalizado de acordo com as especificações.
Nossos serviços
A seleção de um mandril de carboneto de silício para pinos de wafer deve considerar múltiplos fatores, como o diâmetro necessário do mandril, o número de pontos convexos e o formato do mandril, devendo-se fazer uma escolha adequada de acordo com o tamanho e o peso do objeto a ser adsorvido e as exigências do ambiente de trabalho.
Adotamos tecnologia de usinagem plana de precisão, implementamos design criativo para personalização e fornecemos o melhor mandril de pré-alinhamento para atender aos rigorosos requisitos dos clientes.
O formato plano do suporte de carboneto de silício pode ser ajustado livremente de acordo com o formato do wafer, e a área de adsorção ou o padrão dos pinos podem ser personalizados para melhorar a capacidade de resposta da adsorção.
Material: Pode-se escolher cerâmica de óxido de alumínio ou carboneto de silício, e revestimentos de DLC e Teflon podem ser aplicados na superfície.
Estão sendo desenvolvidos suportes de pinos de alta precisão em SiC/SSiC para wafers, destinados a processos de exposição, inspeção e transporte de wafers, que são altamente flexíveis, muito planos e extremamente resistentes a ambientes de trabalho severos.
Dados de teste de precisão
Aplicativo
Dispositivo de fixação de wafers para exposição de semicondutores; Dispositivo de fixação de wafers para inspeção de wafers.