Mandril de carboneto de silício com pino de wafer
Mandril de carboneto de silício com pino de wafer (fixação de wafer, mandril de pré-alinhamento) usado para campo de semicondutores
Características
Resistência a altas temperaturas: Os materiais cerâmicos de carboneto de silício e alumina têm excelente desempenho em altas temperaturas, podem ser usados em ambientes de alta temperatura por um longo tempo e não são fáceis de deformar ou fraturar.
Resistência à corrosão: pode suportar uma variedade de corrosão química, adequado para manusear líquidos ou gases corrosivos no ambiente de trabalho.
Resistência ao desgaste: alta dureza, com boa resistência ao desgaste, pode ser usado por muito tempo sem falhas.
Forte adsorção: a estrutura de ponta convexa reduz a área de contato do mandril do pré-alinhador, aumentando assim a força de adsorção por unidade de área e pode adsorver a peça de trabalho com mais firmeza.
Alta estabilidade: Devido às características do material, o mandril de carboneto de silício com pino de wafer tem alta estabilidade e pode funcionar de forma estável por um longo tempo.
Reduzir a poluição:Os mandris de carboneto de silício estão evoluindo de ranhuras para pinos para reduzir a área de contato, reduzir alguma poluição e melhorar a correção de empenamento.
Controle de Processo
Alta precisão: 12 polegadas de diâmetro, a planura é controlada dentro de 5 μm; se precisar de mais precisão, envie-nos um e-mail.
Controle de forma: ajuste a forma de fixação do wafer de acordo com a forma do wafer (controle de não uniformidade).
Capacidade de absorção: Design personalizado de acordo com as especificações.
Nossos Serviços
A seleção do mandril de carboneto de silício com pino de wafer deve ser considerada de acordo com vários fatores, como o diâmetro necessário do mandril, o número de pontos convexos e o formato do mandril, e fazer uma escolha adequada de acordo com o tamanho, o peso do objeto de adsorção e os requisitos do ambiente de trabalho.
Adotamos tecnologia de usinagem plana de precisão, implementamos design criativo para clientes e fornecemos o melhor mandril pré-alinhador para atender aos rigorosos requisitos dos clientes.
O formato plano do mandril de carboneto de silício pode ser ajustado livremente de acordo com o formato do wafer, e a área de adsorção ou padrão do pino pode ser personalizado para melhorar a capacidade de resposta da adsorção.
Material: É possível selecionar cerâmica de óxido de alumínio ou carboneto de silício, e DLC e Teflon podem ser revestidos na superfície.
O mandril de pino de wafer de SiC/SSiC de alta precisão está sendo desenvolvido para processos de exposição, inspeção e transporte de wafers que são altamente flexíveis, muito planos e extremamente resistentes a ambientes de trabalho adversos.
Dados de teste de precisão
Aplicativo
Fixação de wafer do dispositivo de exposição de semicondutores; Fixação de wafer do dispositivo de inspeção de wafer.