штифт для пластины, зажим из карбида кремния
Зажим для пластин из карбида кремния (зажим для пластин, зажимной патрон для предварительной центровки)
Функции
Высокая термостойкость: Керамические материалы на основе карбида кремния и оксида алюминия обладают превосходными характеристиками при высоких температурах, могут использоваться в условиях высоких температур в течение длительного времени, не подвержены деформации или разрушению.
Коррозионная стойкость: Выдерживает различные виды химической коррозии, подходит для работы с агрессивными жидкостями или газами в рабочей среде.
Износостойкость: Обладает высокой твердостью и хорошей износостойкостью, что позволяет использовать его в течение длительного времени без поломок.
Сильная адсорбция: Выпуклая точечная структура уменьшает площадь контакта патрона предварительного выравнивателя, тем самым увеличивая силу адсорбции на единицу площади и обеспечивая более прочное прилегание заготовки.
Высокая стабильность: Благодаря характеристикам материала, зажимной патрон для пластин из карбида кремния обладает высокой стабильностью и может стабильно работать в течение длительного времени.
Снизьте уровень загрязнения:В настоящее время в твердосплавных патронах происходит эволюция от канавок к штифтам для уменьшения площади контакта, снижения уровня загрязнения и улучшения коррекции деформации.
Управление технологическими процессами
Высокая точность: диаметр 12 дюймов, плоскостность контролируется в пределах 5 мкм; если вам требуется более высокая точность, пожалуйста, напишите нам по электронной почте.
Контроль формы: отрегулируйте форму зажима пластины в соответствии с формой пластины (контроль неравномерности).
Абсорбционная способность: Индивидуальный дизайн в соответствии со спецификациями.
Наши услуги
Выбор зажимного устройства для пластин из карбида кремния должен осуществляться с учетом множества факторов, таких как требуемый диаметр зажимного устройства, количество выпуклых точек и его форма, а также с учетом размера и веса адсорбируемого объекта и требований рабочей среды.
Мы используем технологию высокоточной плоскостной обработки, внедряем креативный дизайн для индивидуальных заказов и предлагаем лучшие патроны для предварительной центровки, отвечающие строгим требованиям клиентов.
Плоская форма зажимного элемента из карбида кремния может свободно регулироваться в соответствии с формой пластины, а область адсорбции или расположение штифтов могут быть настроены для повышения эффективности адсорбции.
Материал: на выбор может быть использована керамика на основе оксида алюминия или карбида кремния, а на поверхность может быть нанесено DLC-покрытие и тефлон.
Разрабатываются высокоточные зажимные устройства для пластин из SiC/SSiC, предназначенные для процессов экспонирования, контроля и транспортировки пластин, которые отличаются высокой гибкостью, идеально ровной поверхностью и исключительной устойчивостью к суровым условиям эксплуатации.
Данные испытаний на точность
Приложение
Фиксация пластины в устройстве для экспонирования полупроводниковых пластин; фиксация пластины в устройстве для контроля качества пластин.