Патрон из карбида кремния с пластинчатым штифтом
- Продукты
- Патрон из карбида кремния с пластинчатым штифтом
- Патрон с кольцевой канавкой
- Пористый керамический патрон
- Воздушный плавающий стол
- Керамическая рука
- Электростатический патрон
- Керамическая балка
- Керамический поршень
- Детали AISiC
- Керамические детали
- Кварцевые детали
- Конструкционные компоненты ПЭЭК
- Керамический направляющий
- Материалы
0102030405
Держатель пластины из карбида кремния (зажим пластины, зажим предварительного совмещения), используемый в области полупроводников
Функции
Высокая термостойкость: Керамические материалы из карбида кремния и оксида алюминия обладают превосходными высокотемпературными характеристиками, могут использоваться в условиях высоких температур в течение длительного времени, не подвержены деформации и разрушению.
Коррозионная стойкость: может противостоять различным химическим коррозиям, пригоден для работы с едкими жидкостями и газами в рабочей среде.
Износостойкость: высокая твердость, хорошая износостойкость, возможность длительного использования без выхода из строя.
Сильная адсорбция: Выпуклая структура вершины уменьшает площадь контакта зажимного патрона предварительного выравнивателя, тем самым увеличивая силу адсорбции на единицу площади, и может более прочно адсорбировать заготовку.
Высокая стабильность: Благодаря свойствам материала, пластинчатый держатель из карбида кремния обладает высокой стабильностью и может стабильно работать в течение длительного времени.
Уменьшить загрязнение:Патроны из карбида кремния эволюционируют от канавок к штифтам, чтобы уменьшить площадь контакта, снизить загрязнение и улучшить коррекцию коробления.
Управление процессами
Высокая точность: диаметр 12 дюймов, плоскостность контролируется в пределах 5 мкм. Если вам нужна более высокая точность, напишите нам по электронной почте.
Контроль формы: Отрегулируйте форму зажима пластины в соответствии с формой пластины (контроль неравномерности).
Поглощающая способность: Индивидуальная разработка в соответствии со спецификациями.
Наши услуги
При выборе держателя пластины из карбида кремния следует учитывать множество факторов, таких как требуемый диаметр держателя, количество выпуклых точек и форма держателя, а также сделать подходящий выбор в соответствии с размером, весом объекта адсорбции и требованиями рабочей среды.
Мы применяем технологию прецизионной плоской обработки, реализуем креативный дизайн по индивидуальному заказу и поставляем лучшие патроны для предварительного выравнивания, отвечающие строгим требованиям клиентов.
Плоскую форму держателя из карбида кремния можно свободно регулировать в соответствии с формой пластины, а область адсорбции или рисунок штифта можно настраивать для улучшения чувствительности адсорбции.
Материал: можно выбрать керамику на основе оксида алюминия или карбида кремния, а также нанести на поверхность покрытие DLC и тефлон.
Разрабатываются высокоточные держатели пластин SiC/SSiC со штифтами для экспонирования, инспекции и транспортировки пластин, которые отличаются высокой гибкостью, плоскостью и исключительной устойчивостью к суровым рабочим условиям.
Данные испытаний точности
Приложение
Фиксация пластины устройства экспонирования полупроводников; Фиксация пластины устройства инспекции пластин.