Hem
Huvudprodukt
Waferstiftchuck som används för halvledarexponeringsanordning och waferinspektionsanordning
Funktioner
Hög temperaturbeständighet:Keramiska material av kiselkarbid och aluminiumoxid har utmärkt prestanda vid hög temperatur, kan användas i högtemperaturmiljö under lång tid, inte lätt att deformeras eller spricka.
Korrosionsbeständighet:tål en mängd olika kemisk korrosion, lämplig för hantering av frätande vätskor eller gaser i arbetsmiljön.
Slitstyrka:hög hårdhet, med god slitstyrka, kan användas under lång tid utan fel.
Stark adsorption:den konvexa punktstrukturen minskar kontaktytan på sugkoppen, vilket ökar adsorptionskraften per ytenhet och kan mer fast adsorbera arbetsstycket.
Hög stabilitet:På grund av materialets egenskaper har waferstiftchucken hög stabilitet och kan arbeta stabilt under lång tid.
Minska utsläpp:Keramiska waferchuckar utvecklas från spår till stift för att minska kontaktytan, minska en del föroreningar och förbättra vridningskorrigeringen.
Processkontroll
Hög precision: 12 tum diameter, planheten kontrolleras inom 5 μm; Om du behöver mer precision, vänligen maila oss.
Formkontroll: Justera chuckformen enligt waferformen (icke-likformighetskontroll).
Absorptiv lyhördhet: Anpassad design enligt specifikationer.
Våra tjänster
Valet av waferstiftchuck bör övervägas utifrån flera faktorer såsom sugkopparnas önskade diameter, antalet konvexa punkter och formen på chucken, och gör ett lämpligt val beroende på storleken, vikten av adsorptionen objekt och arbetsmiljöns krav.
Vi antog precisionsteknik för platt bearbetning, implementerar kreativ design för anpassad och tillhandahåller den bästa waferstiftchucken för att möta kundernas strikta krav.
Den platta formen på stiftchucken kan fritt justeras enligt formen på skivan, och adsorptionsområdet eller stiftmönstret kan anpassas för att förbättra adsorptionskänsligheten.
Material: Aluminiumoxidkeramik eller kiselkarbid kan väljas, och DLC och Teflon kan pläteras på ytan.
Hög precision SiC/SSiC wafer pin chuckar utvecklas för wafer exponering, inspektion, transportprocesser som är mycket flexibla, mycket platta och extremt motståndskraftiga mot tuffa arbetsmiljöer.
Precisionstestdata
Ansökan
Waferfixering av halvledarexponeringsanordning; Waferfixering av waferinspektionsanordning.