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Produit principal
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Mandrin à broches de plaquette utilisé pour le dispositif d'exposition de semi-conducteurs et le dispositif d'inspection de plaquette
Caractéristiques
Résistance aux hautes températures :Les matériaux en carbure de silicium et en céramique d'alumine ont d'excellentes performances à haute température, peuvent être utilisés dans un environnement à haute température pendant une longue période, pas faciles à déformer ou à fracturer.
Résistance à la corrosion:peut résister à une variété de corrosion chimique, adapté à la manipulation de liquides ou de gaz corrosifs dans l'environnement de travail.
Résistance à l'usure:une dureté élevée, avec une bonne résistance à l'usure, peut être utilisée pendant longtemps sans panne.
Forte adsorption :la structure ponctuelle convexe réduit la zone de contact de la ventouse, augmentant ainsi la force d'adsorption par unité de surface, et peut adsorber plus fermement la pièce.
Haute stabilité :En raison des caractéristiques du matériau, le mandrin à broches pour plaquettes a une grande stabilité et peut fonctionner de manière stable pendant une longue période.
Réduire la pollution:Les mandrins pour plaquettes en céramique évoluent des rainures vers les broches pour réduire la zone de contact, réduire une certaine pollution et améliorer la correction du gauchissement.
Contrôle de processus
Haute précision : 12 pouces de diamètre, la planéité est contrôlée dans les 5 μm ; Si vous avez besoin de plus de précision, veuillez nous envoyer un email.
Contrôle de forme : Ajustez la forme du mandrin en fonction de la forme de la plaquette (contrôle de non-uniformité).
Réactivité absorbante : Conception personnalisée selon cahier des charges.
Nos services
La sélection du mandrin à broches pour plaquettes doit être prise en compte en fonction de plusieurs facteurs tels que le diamètre requis des ventouses, le nombre de points convexes et la forme du mandrin, et faire un choix approprié en fonction de la taille et du poids de l'adsorption. objet et aux exigences de l’environnement de travail.
Nous avons adopté une technologie d'usinage plat de précision, mis en œuvre une conception créative pour la personnalisation et fourni le meilleur mandrin à broches pour répondre aux exigences strictes des clients.
La forme plate du mandrin à broches peut être librement ajustée en fonction de la forme de la plaquette, et la zone d'adsorption ou le motif des broches peut être personnalisé pour améliorer la réactivité de l'adsorption.
Matériau : la céramique d'oxyde d'aluminium ou le carbure de silicium peuvent être sélectionnés, et le DLC et le téflon peuvent être plaqués sur la surface.
Des mandrins à broches pour plaquettes SiC/SSiC de haute précision sont en cours de développement pour les processus d'exposition, d'inspection et de transport des plaquettes. Ils sont très flexibles, très plats et extrêmement résistants aux environnements de travail difficiles.
Données de tests de précision
Application
Fixation de plaquette de dispositif d'exposition à semi-conducteurs ; Fixation des plaquettes du dispositif d'inspection des plaquettes.