mandrin en carbure de silicium à broche de plaquette
mandrin à broches pour plaquettes en carbure de silicium (serrage de plaquettes, mandrin de préalignement)
Caractéristiques
Résistance aux hautes températures : Les matériaux céramiques en carbure de silicium et en alumine présentent d'excellentes performances à haute température, peuvent être utilisés longtemps dans un environnement à haute température et ne se déforment ni ne se fracturent facilement.
Résistance à la corrosion : résiste à diverses corrosions chimiques et convient à la manipulation de liquides ou de gaz corrosifs en milieu de travail.
Résistance à l'usure : Sa dureté élevée, associée à une bonne résistance à l'usure, lui permet d'être utilisée longtemps sans défaillance.
Forte adsorption : La structure à pointe convexe réduit la surface de contact du mandrin du pré-aligneur, augmentant ainsi la force d'adsorption par unité de surface et permettant une adsorption plus ferme de la pièce.
Haute stabilité : Grâce aux caractéristiques du matériau, le mandrin en carbure de silicium pour broches de plaquettes présente une grande stabilité et peut fonctionner de manière stable pendant longtemps.
Réduire la pollution :Les mandrins en carbure de silicium évoluent des rainures aux broches afin de réduire la surface de contact, de diminuer la pollution et d'améliorer la correction du gauchissement.
Contrôle des processus
Haute précision : diamètre de 12 pouces, planéité contrôlée à 5 μm près ; pour une précision supérieure, veuillez nous contacter par e-mail.
Contrôle de la forme : Ajuster la forme de serrage de la plaquette en fonction de la forme de la plaquette (contrôle de la non-uniformité).
Réactivité d'absorption : Conception personnalisée selon les spécifications.
Nos services
Le choix du mandrin en carbure de silicium pour broches de plaquettes doit être envisagé en fonction de multiples facteurs tels que le diamètre requis du mandrin, le nombre de points convexes et la forme du mandrin, et faire un choix approprié en fonction de la taille, du poids de l'objet à adsorber et des exigences de l'environnement de travail.
Nous avons adopté une technologie d'usinage plat de précision, mis en œuvre une conception créative sur mesure et fourni le meilleur mandrin de préalignement pour répondre aux exigences strictes de nos clients.
La forme plate du mandrin en carbure de silicium peut être librement ajustée en fonction de la forme de la plaquette, et la zone d'adsorption ou le motif des broches peuvent être personnalisés pour améliorer la réactivité d'adsorption.
Matériau : On peut choisir entre la céramique d'oxyde d'aluminium et le carbure de silicium, et il est possible d'appliquer un revêtement DLC ou Teflon en surface.
Des mandrins de haute précision pour plaquettes en SiC/SSiC sont en cours de développement pour les processus d'exposition, d'inspection et de transport des plaquettes ; ils sont extrêmement flexibles, très plats et extrêmement résistants aux environnements de travail difficiles.
Données de test de précision
Application
Fixation de la plaquette pour dispositif d'exposition de semi-conducteurs ; fixation de la plaquette pour dispositif d'inspection de plaquettes.