Heim
Efni
Kísilkarbíð notað fyrir tæringarþolna hluta, innsiglihluta, háhitaþolna hluta, stýrisbrautir og ferkantaða geisla
Kísilkarbíð keramik hefur framúrskarandi vélræna eiginleika við venjulegt hitastig, svo sem hár styrkur, hár hörku, hár mýktarstuðull, framúrskarandi háhitastöðugleiki, svo sem hár hitaleiðni, lágur varmaþenslustuðull og góður sérstakur stífleiki og sjónvinnslueiginleikar, sérstaklega hentugur til að undirbúa ljóslitavél og annan samþættan hringrásarbúnað fyrir nákvæma keramik burðarhluta. Eins og notað í ljóslithography vél nákvæmni hreyfanlegur vinnustykki borð, beinagrind, sogskál, vatnskælt plata og nákvæmni mælingar spegill, rist og aðrir keramik burðarhlutar, Fountyl nýtt efni eftir margra ára tæknirannsóknir, leysa stór stærð, þunnur veggur, holur og önnur flókin uppbygging kísilkarbíð burðarhluta nákvæmni vinnslu og undirbúningsvandamál, brjótast í gegnum tæknilega flöskuháls þessa tegundar nákvæmni kísilkarbíð burðarhluta undirbúnings tækni. Það hefur mjög stuðlað að staðsetningu helstu byggingarhluta sem notaðir eru í samþættum hringrásarframleiðslubúnaði.
● Kísilkarbíð keramik inniheldur aðallega þrýstingslaust hertu kísilkarbíð (SSiC), hvarfsintað kísilkarbíð (RBSC), kísilkarbíð úr efnagufu (CVD-SiC).
● Kísilkarbíð hefur margs konar framúrskarandi eiginleika: frábær hart, slitþol, mikil hitaleiðni og vélrænni styrkur, lágt varmaþenslustuðull, framúrskarandi hitastöðugleiki, lágþéttleiki, hár sérstakur stífleiki, ekki segulmagnaðir.
● Sem stendur er kísilkarbíð keramik notað í ýmsum atvinnugreinum eins og flug-, geim- og kjarnorkuiðnaði, svo sem keramikhlutum hágæða búnaðar fyrir kísilkarbíð keramikreflektor og IC samþætta hringrásarframleiðslu, hitaskipta og skotheld efni við erfiðar aðstæður.
Eiginleikar nákvæmni keramikbyggingarhluta fyrir samþættan hringrásarframleiðslubúnað:
① Mjög létt: Til þess að draga úr hreyfitregðu, draga úr mótorálagi, bæta hreyfiskilvirkni, staðsetningarnákvæmni og stöðugleika, nota byggingarhlutar almennt létta uppbyggingu hönnunar, léttur hlutfall er 60-80%, allt að 90%;
② Mikil nákvæmni form- og staðsetningar: Til að ná mikilli nákvæmni hreyfingar og staðsetningar, þarf að burðarhlutirnir hafi mjög mikla form- og staðsetningarnákvæmni, flatleiki, samsíða og hornréttur þarf að vera minni en 1μm, og form og Nauðsynlegt er að staðsetningarnákvæmni sé minni en 5μm.
③ Hár víddarstöðugleiki: Til þess að ná mikilli nákvæmni hreyfingu og staðsetningu, þurfa burðarhlutirnir að hafa mjög mikla víddarstöðugleika, ekki að framleiða álag og mikla hitaleiðni, lágan varmaþenslustuðul, ekki auðvelt að framleiða stóra víddar aflögun ;
④ Hreint og mengunarlaust. Gerð er krafa um að burðarhlutirnir hafi mjög lágan núningsstuðul, lítið hreyfiorkutap við hreyfingu og enga malaagnamengun. Kísilkarbíð efni hefur mjög háan teygjustuðul, hitaleiðni og lágan varmaþenslustuðul, er ekki auðvelt að framleiða beygjuspennu aflögun og hitaálag, og hefur framúrskarandi fægjanleika, hægt að vinna í framúrskarandi spegil; Þess vegna hefur það mikla kosti að nota kísilkarbíð sem nákvæmnisbyggingarefni fyrir lykilbúnað samþættra hringrása eins og ljóslitafræðivél, kísilkarbíð hefur kosti góðs efnafræðilegs stöðugleika, mikillar vélrænni styrkleika, mikillar hitaleiðni og lágs varmaþenslustuðul, og hægt að nota við háan hita, háan þrýsting, tæringu og geislun í erfiðu umhverfi.
Kísilkarbíð hefur kosti góðs efnafræðilegs stöðugleika, mikils vélræns styrks, mikillar varmaleiðni og lágs varmaþenslustuðulls og er hægt að nota við háan hita, háan þrýsting, tæringu og geislun í erfiðu umhverfi.
Lykilbúnaður samþættrar hringrásar krefst þess að íhlutaefnin hafi einkenni létts, mikils styrks, mikillar varmaleiðni og lágs varmaþenslustuðuls og séu þétt og einsleit án galla. Íhlutir þurfa að hafa mjög mikla víddarnákvæmni og víddarstöðugleika til að tryggja mjög nákvæma hreyfingu og stjórn á búnaðinum. Kísilkarbíð keramik hefur mikinn teygjustuðul og sérstakan stífleika, ekki auðvelt að afmynda, og hefur mikla hitaleiðni og lágan varmaþenslustuðul, mikinn hitastöðugleika, svo kísilkarbíð keramik er frábært byggingarefni, sem nú er í samþættri hringrásarframleiðslu. lykilbúnaður til að fá fjölbreytt úrval af forritum, svo sem steinþrykkvél með kísilkarbíð vinnuborði, stýrisbraut, endurskinsmerki, keramik chuck og keramik end effector.
Fountyl getur mætt ljóslitavélinni sem fulltrúi samþættra hringrásarframleiðslu lykilbúnaðar með stórum stærð, holur þunnur vegg, flókna uppbyggingu, nákvæmni kísilkarbíð byggingarhluta undirbúningstækni, svo sem: kísilkarbíð tómarúm chuck, stýribraut, endurskinsmerki, vinnuborð og röð af nákvæmni kísilkarbíð burðarhlutum fyrir ljósþynningarvél.
| Eiginleikar | Fountyl | ||
| Þéttleiki (g/cm3) | 2,98-3,02 | ||
| Young's Modulus (GPa) | 368 | ||
| Sveigjanleiki (MPa) | 334 | ||
| Weibull | 8.35 | ||
| CTE（×10-6/℃） | 100 ℃ | 2,8×10-6 | |
| 400 ℃ | 3,6×10-6 | ||
| 800 ℃ | 4,2×10-6 | ||
| 1000 ℃ | 4,6×10-6 | ||
| Varmaleiðni (W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| Hlutfall Poisson | 0,187 | ||
| Skúfstuðull (GPa) | 155 | ||