半導体およびオプトエレクトロニクス産業では、通常、非常に薄いウェーハは高度なセラミック通気性チャック上に配置され、真空発生器に取り付けられ、真空吸引によって固定されます。 ファウンティル...
静電チャック(ESC、e-Chuck)としても知られる静電吸着器は、静電吸着の原理を利用して吸着物を保持および固定する治具であり、さまざまな用途に適しています。