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超精密モーションプラットフォームおよび検出装置用セラミック角形ビーム
主な製品

超精密モーションプラットフォームおよび検出装置用セラミック角形ビーム

炭化ケイ素セラミックビームの応用:

これはリソグラフィー装置のコアコンポーネントの 1 つであり、主な機能は、上部と下部のピース、アライメント、ウェーハ表面の測定、露光など、一連の露光を完了するために必要な高速精密移動と動作のために、規定の軌道に沿ってウェーハを運ぶことです。

    その 製品の特徴 

    炭化ケイ素セラミックスは、室温での優れた機械的特性(高い曲げ強度、優れた耐酸化性、良好な耐腐食性、高い耐摩耗性、低い摩擦係数など)に加え、高温における機械的特性(強度、耐クリープ性など)もセラミック材料の中で広く知られています。炭化ケイ素は、耐腐食性、耐高温性、高強度、優れた熱伝導性、耐衝撃性といった優れた特性を備えています。

    1. 高強度

    2. 耐高温性これ

    3. 強いc耐食性

    4. ハイオー耐酸化性

    5. 優れた耐熱衝撃性

    6. 高い熱伝導率

    目的:

    超精密モーションプラットフォーム、より高精度な検出装置

    サンプルや図面に応じてカスタマイズされた製品を生産できます。

    半導体専用装置や精密試験装置は、コア部品に対する要求が非常に高い

    R要件:超軽量(運動慣性とモーター負荷を軽減)、超高安定性(超精密加工には高精度な運動と位置決めが必要であり、熱膨張などによる寸法変形が最小限に抑えられる)、クリーン性(高硬度、高耐摩耗性)は、精密機器用の大型、中空薄肉、複雑構造、精密シリコンカーバイド構造部品の製造に対する技術要件を満たすことができます。

     

     

    Fountylの利点:

    1、日本の技術、独立 研究開発 および炭化ケイ素セラミック材料の製造。

    2、 T最長 ビーム サイズ: 1600 mm

    3、 S構造カスタマイズ:軽量構造 8減算構造s できる 設計される。

    4、H高精度 超高精度、 構造やサイズによって異なるため、ご確認ください その 顧客との正確性。

    5、 C材質を選択してください:アルミミナセラミックス、炭化ケイ素セラミック秒。