Baile
Ábhair
Comhdhúile sileacain a úsáidtear le haghaidh páirteanna resistant creimeadh, páirteanna rónta, páirteanna resistant teocht ard, ráillí treorach agus bíomaí cearnacha
Tá airíonna meicniúla den scoth ag criadóireacht chomhdhúile sileacain ag gnáth-theocht, mar shampla ard-neart, cruas ard, modulus ard-leaisteach, cobhsaíocht ardteochta den scoth, mar shampla seoltacht ard teirmeach, comhéifeacht leathnú íseal teirmeach, agus dea-stiffness sonrach agus airíonna próiseála optúla, go háirithe oiriúnach le haghaidh ullmhú meaisín photolithography agus trealamh ciorcad comhtháite eile le haghaidh cruinneas páirteanna struchtúracha ceirmeacha. Den sórt sin mar a úsáidtear sa mheaisín photolithography cruinneas ag gluaiseacht tábla workpiece, cnámharlach, cupán súchán, pláta uisce-cooled agus cruinneas scáthán tomhais, grating agus páirteanna struchtúracha ceirmeacha eile, Fountyl ábhar nua tar éis blianta de thaighde teicniúil, a réiteach ar an méid mór, balla tanaí, log agus struchtúr casta eile de chomhdhúile sileacain páirteanna struchtúracha fadhbanna próiseála cruinneas agus ullmhú, briseadh tríd an tranglam teicniúil den chineál seo chomhdhúile sileacain cruinneas teicneolaíocht ullmhúcháin páirteanna. Chuir sé go mór chun cinn logánú na bpríomhchodanna struchtúracha a úsáidtear i dtrealamh déantúsaíochta ciorcaid chomhtháite.
● Áirítear go príomha le criadóireacht chomhdhúile sileacain chomhdhúile sileacain shintéirithe gan bhrú (SSiC), cairbíd sileacain sintéirithe le frithghníomhú (RBSC), cairbíd sileacain taiscí ceimiceach gaile (CVD-SiC).
● Tá éagsúlacht airíonna den scoth ag chomhdhúile sileacain: Super crua, friotaíocht a chaitheamh, seoltacht teirmeach ard agus neart meicniúil, comhéifeacht leathnú teirmeach íseal, cobhsaíocht theirmeach den scoth, dlús íseal, ard-stiffness sainiúil, neamh-mhaighnéadach.
● Faoi láthair, cuirtear criadóireacht chomhdhúile sileacain i bhfeidhm i dtionscail éagsúla cosúil le tionscal eitlíochta, aeraspáis agus núicléach, mar shampla páirteanna ceirmeacha de threalamh ard-deireadh le haghaidh frithchaiteoir ceirmeach chomhdhúile sileacain agus déantúsaíocht ciorcad comhtháite IC, malartóirí teasa agus ábhair bulletproof faoi choinníollacha foircneacha.
Gnéithe de chodanna struchtúracha ceirmeacha beachtas do threalamh déantúsaíochta ciorcaid chomhtháite:
① An-éadrom: D'fhonn an táimhe tairiscint a laghdú, an t-ualach mótair a laghdú, an éifeachtúlacht tairiscint, cruinneas suite agus cobhsaíocht a fheabhsú, go ginearálta úsáideann na codanna struchtúracha dearadh struchtúr éadrom, is é an ráta éadrom 60-80%, suas le 90%;
② Cruinneas foirme-suímh ard: Chun gluaiseacht agus suíomh ard-chruinneas a bhaint amach, ní mór cruth agus cruinneas suímh an-ard a bheith ag na codanna struchtúracha, ní mór go mbeadh an maoile, an comhthreomhar agus an ingearachacht níos lú ná 1μm, agus an fhoirm agus ní mór cruinneas suímh a bheith níos lú ná 5μm.
③ Cobhsaíocht tríthoiseach ard: D'fhonn gluaiseacht agus suíomh ard-chruinneas a bhaint amach, ní mór cobhsaíocht tríthoiseach an-ard a bheith ag na codanna struchtúracha, gan brú a tháirgeadh, agus seoltacht teirmeach ard, comhéifeacht leathnú teirmeach íseal, gan a bheith éasca le dífhoirmiúchán tríthoiseach mór a tháirgeadh. ;
④ Glan agus saor ó thruailliú. Éilítear go mbeadh comhéifeacht frithchuimilte thar a bheith íseal ag na codanna struchtúracha, caillteanas fuinnimh cinéiteach beag le linn gluaiseachta, agus gan aon truailliú cáithníní meilt. Tá modulus leaisteach an-ard ag ábhar chomhdhúile sileacain, seoltacht theirmeach agus comhéifeacht leathnú teirmeach íseal, níl sé éasca le dífhoirmiúchán strus lúbthachta agus brú teirmeach a tháirgeadh, agus tá snastacht den scoth aige, is féidir é a mheaisíniú go scáthán den scoth; Dá bhrí sin, tá buntáistí móra ag baint le húsáid chomhdhúile sileacain mar an t-ábhar struchtúrach beachtas le haghaidh príomh-threalamh ciorcaid chomhtháite cosúil le meaisín photolithography, tá na buntáistí a bhaineann le cobhsaíocht cheimiceach maith, neart meicniúil ard, seoltacht teirmeach ard agus comhéifeacht leathnú teirmeach íseal, ag carbide sileacain. agus is féidir é a chur i bhfeidhm i dteocht ard, brú ard, creimeadh agus radaíocht timpeallachtaí foircneacha.
Tá na buntáistí a bhaineann le cobhsaíocht cheimiceach maith, neart meicniúil ard, seoltacht ard teirmeach agus comhéifeacht leathnú teirmeach íseal ag carbide sileacain, agus is féidir é a chur i bhfeidhm i dteocht ard, ardbhrú, creimeadh agus radaíocht na timpeallachtaí foircneacha.
Éilíonn príomh-threalamh an chiorcaid chomhtháite go bhfuil tréithe meáchan éadrom, ard-neart, seoltacht teirmeach ard agus comhéifeacht leathnú teirmeach íseal ag na hábhair chomhpháirte, agus go bhfuil siad dlúth agus aonfhoirmeach gan lochtanna. Ní mór cruinneas tríthoiseach ard agus cobhsaíocht tríthoiseach a bheith ag comhpháirteanna chun gluaiseacht agus rialú ultra-cruinneas an trealaimh a chinntiú. Tá modulus ard leaisteach agus stiffness ar leith ag criadóireacht chomhdhúile sileacain, nach bhfuil sé éasca le dífhoirmiú, agus tá seoltacht ard teirmeach agus comhéifeacht leathnú teirmeach íseal, cobhsaíocht teirmeach ard, agus mar sin is ábhar struchtúrach den scoth é criadóireacht chomhdhúile sileacain, faoi láthair i ndéantúsaíocht chiorcaid chomhtháite de trealamh lárnach chun raon leathan feidhmchlár a fháil, mar shampla meaisín liteagrafaíocht le tábla oibre chomhdhúile sileacain, iarnród treorach, frithchaiteoir, chuck ceirmeach, agus éifeachtóir deiridh ceirmeach.
Is féidir le Fountyl freastal ar an meaisín photolithography mar ionadaí an chuaird chomhtháite déantúsaíochta trealamh eochair le méid mór, balla tanaí log, struchtúr casta, chomhdhúile sileacain cruinneas teicneolaíocht ullmhúcháin páirteanna struchtúracha, mar shampla: chomhdhúile sileacain chuck bhfolús, treoir iarnróid, frithchaiteoir, tábla oibre. agus sraith de chomhdhúile sileacain cruinneas páirteanna struchtúracha le haghaidh meaisín photolithography.
| Airíonna | Fountyl | ||
| Dlús (g/cm3) | 2.98-3.02 | ||
| Modal Óg (GPa) | 368 | ||
| Neart solúbtha （MPa） | 334 | ||
| Weibull | 8.35 | ||
| CTE (× 10-6 / ℃) | 100 ℃ | 2.8×10-6 | |
| 400 ℃ | 3.6×10-6 | ||
| 800 ℃ | 4.2×10-6 | ||
| 1000 ℃ | 4.6×10-6 | ||
| Seoltacht Theirmeach(W/m·k) (20ºC) | 160-180 | ||
| Cóimheas Poisson | 0. 187 | ||
| Modal lomadh (GPa) | 155 | ||