בית
מוצרים
פלטפורמה צפה אוויר נקבובי עם טכנולוגיית העברת עומס של מצב ללא מגע לתעשיית המוליכים למחצה
הפלטפורמה המסורתית הצפה באוויר מאמצת בדרך כלל טכנולוגיית מצערת חורים קטנים, מצערת טורוס או מצערת חריצים, המאופיינת בטכנולוגיית עיבוד פשוטה, אך כאשר לחץ האוויר באספקה משתנה, קל לייצר תופעת שריקות, הצליל חד והמיסב הקיבולת גם משתנה, מה שלא מתאים לסביבת עבודה שקטה ויציבה בלחץ.
מצעי זכוכית TFT-LCD מסורתיים מבוצעים על ידי מערכות רובוטים (רובוטים) ו-AGV (רכב מודרך אוטומטי). מצע זכוכית בתהליך הייצור. זוהי פעולת מגע עם פלטפורמת העברת עומס (או רולר). כאשר מצע הזכוכית נמצא במגע עם פלטפורמת העברת העומס או רולר, מגע וחיכוך גורמים לבעיות אלו נזקים או פגמים של פינות חסרות, סדקים, נזק, זיהום וחשמל סטטי על פני מצע הזכוכית, ולאחר מכן משפיעות על הייצור. תפוקה ואיכות המוצר, בנוסף לשימוש בעומס העברת סיבוב רולר, עדיין יש להתגבר על בעיות טכניות. לבעיות אלו יש השפעה עמוקה על יעילות הייצור של מצעי זכוכית בגודל גדול ויש צורך בשיפור דחוף. אם טכנולוגיית הפלטפורמה הצפה באוויר ללא מגע יכולה להחליף את הבעיות הנגזרות מהטכנולוגיה המסורתית להעברת עומסי מגע, זה יהיה פתרון יעיל. היתרונות של מערכת צפה אוויר:
1. אפס חיכוך.
2. אפס בלאי.
3. תנועה ישרה, תנועת סיבוב ישימים.
4. פעולה שקטה וחלקה.
5. שיכוך גבוה יותר.
6. הסר שמן.
מבנה הפלטפורמה הצפה באוויר מורכב מקרמיקה ננו-נקבובית המוטבעת בבסיס ליצירת תא ואקום. אוויר דחוס נקי ללא מים וללא שמן מוכנס למרווח מצב האוויר בין משטח המיסב למסילת ההובלה הצפה באוויר דרך צינור הגז. הגז זורם במרווח מצב האוויר כדי לגרום למשטח המיסב לצוף על מסילת המדריך הצפה באוויר. הגז פועל כחומר סיכה להזזה או הובלת חפצים ללא חיכוך.
המבנה עבור חור צף אוויר נפוץ:
א) מבנה מצערת פתח
ב) מבנה נקבובי
הגודל המותאם אישית הגדול ביותר: אורך 1600 מ"מ, רוחב 1000 מ"מ
ציוד שינוע והעברת עומס ללא מגע נועד בעיקר לשפר את הבעיות הנגרמות על ידי טכנולוגיית טיפול מסורתית לאחר שמצע הזכוכית הופך גדול יותר, מכיוון שבתהליך השינוע והעברת העומס אינו במגע ישיר עם אובייקט הפעולה, כך שהוא יכול למנוע את ההתרחשות של התקשרות מזהמים, מתח, חשמל סטטי ופגיעה במצע הזכוכית. חומר נקבובי, לעומת זאת, מפחית משמעותית את זרימת הגז, משיג לחץ אוויר אחיד ופיזור טוב של כרית האוויר, ומספק גובה צף מספיק הנדרש לפעולה.