Leave Your Message
Porös luftflytande plattform med belastningsöverföringsteknik för beröringsfritt läge för halvledarindustrin

Produkter

Porös luftflytande plattform med belastningsöverföringsteknik för beröringsfritt läge för halvledarindustrin

Med utvecklingen av gassmörjningsteknik används den luftflytande plattformen med sin låga friktion, höga renhet, långa livslängd, höga rörelsenoggrannhetsegenskaper i stor utsträckning i behovet av att kompensera gravitationstillfällen och tester, men den luftflytande plattformen i användningen av stora buller, låga lagerbrister, i kraven på tyst arbetsmiljö och höga lagertillfällen begränsar dess användning.

    Den traditionella luftflytande plattformen använder i allmänhet små håls strypning, torus strypning eller spaltstrypningsteknik, som kännetecknas av enkel bearbetningsteknik, men när tilluftstrycket ändras är det lätt att producera visslande fenomen, ljudet är skarpt och lagret kapaciteten fluktuerar också, vilket inte är lämpligt för tyst och stabil arbetsmiljö.
    Traditionella TFT-LCD glassubstrat utförs av robotarmar (Robots) och AGV (Automated guided vehicle) system. Glassubstrat i produktionsprocessen. Det är en kontaktoperation med lastförskjutningsplattformen (eller rullen). När glassubstratet är i kontakt med lastförskjutningsplattformen eller rullen, orsakar beröring och friktion dessa skador eller defektproblem med saknade hörn, sprickor, skador, föroreningar och statisk elektricitet på ytan av glassubstratet, och påverkar sedan produktionen utbyte och produktkvalitet, förutom användningen av rullrotationsöverföringslast, har fortfarande tekniska problem att övervinna. Dessa problem har en djupgående inverkan på produktionseffektiviteten för stora glassubstrat och måste förbättras omgående. Om den beröringsfria luftflytande plattformstekniken kan ersätta problemen som härrör från den traditionella kontaktlastförskjutningstekniken, kommer det att vara en effektiv lösning.

    Fördelar med luftflytande system:

    1. Noll friktion.
    2. Noll slitage.
    3. Rak rörelse, rotationsrörelse är tillämpliga.
    4. Tyst och smidig drift.
    5. Högre dämpning.
    6. Eliminera olja.

    Arbetsprincip:
    Strukturen på den luftflytande plattformen är sammansatt av nanoporös keramik inbäddad i basen för att bilda en vakuumkammare. ren tryckluft med vattenfri och oljefri matas in i luftlägesgapet mellan lagerytan och den luftflytande styrskenan genom gasröret. Gasen strömmar i luftlägesgapet för att få lagerytan att flyta på den luftflytande styrskenan. Gasen fungerar som ett smörjmedel för att flytta eller transportera föremål utan friktion.

    Konstruktionen för vanligt luftflytande hål:
    a) Strypningsstruktur
    b) Porös struktur

    Den största anpassade storleken: längd 1600 mm, bredd 1000 mm

    Lastöverföringstekniken för beröringsfri luftflytande plattform:

    Beröringsfri transport- och lastförskjutningsutrustning är främst för att förbättra problemen som orsakas av traditionell hanteringsteknik efter att glassubstratet blir större, eftersom det i transport- och lastförskjutningsprocessen inte är direkt i kontakt med operationsobjektet, så det kan undvika förekomsten av föroreningar, spänningar, statisk elektricitet och skador på glassubstratet. Poröst material, å andra sidan, minskar gasflödet avsevärt, uppnår jämnt lufttryck och god fördelning av luftkudde och ger tillräcklig flythöjd som krävs för drift.