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Plate-forme flottante à air poreux dotée de la technologie de transfert de charge en mode sans contact pour l'industrie des semi-conducteurs
La plate-forme flottante à air traditionnelle adopte généralement une technologie d'étranglement par petits trous, d'étranglement en tore ou d'étranglement par fente, qui se caractérise par une technologie de traitement simple, mais lorsque la pression de l'air d'alimentation change, il est facile de produire un phénomène de sifflement, le son est aigu et le roulement la capacité fluctue également, ce qui ne convient pas à un environnement de travail sous pression calme et stable.
Les substrats en verre TFT-LCD traditionnels sont réalisés par des bras robotisés (Robots) et des systèmes AGV (Automated Guided Vehicle). Substrat de verre dans le processus de production. Il s'agit d'une opération de contact avec la plateforme de déplacement de charge (ou rouleau). Lorsque le substrat en verre est en contact avec la plate-forme ou le rouleau de déplacement de charge, le contact et le frottement provoquent ces dommages ou défauts, problèmes de coins manquants, de fissures, de dommages, de contamination et d'électricité statique sur la surface du substrat en verre, et affectent ensuite la production. le rendement et la qualité du produit, en plus de l'utilisation d'une charge de transfert par rotation des rouleaux, ont encore des problèmes techniques à surmonter. Ces problèmes ont un impact profond sur l’efficacité de la production de substrats en verre de grande taille et doivent être améliorés de toute urgence. Si la technologie de plate-forme flottante pneumatique sans contact peut remplacer les problèmes dérivés de la technologie traditionnelle de déplacement de charge par contact, elle constituera une solution efficace. Avantages du système flottant à air :
1. Zéro friction.
2. Zéro usure.
3. Les mouvements droits et les mouvements de rotation sont applicables.
4. Fonctionnement silencieux et fluide.
5. Amortissement plus élevé.
6. Éliminez l'huile.
La structure de la plate-forme flottante à air est composée de céramiques nano-poreuses intégrées dans la base pour former une chambre à vide. de l'air comprimé propre, sans eau et sans huile, est introduit dans l'espace de mode air entre la surface d'appui et le rail de guidage flottant d'air à travers le tuyau de gaz. Le gaz s'écoule dans l'espace du mode air pour faire flotter la surface d'appui sur le rail de guidage flottant à l'air. Le gaz agit comme un lubrifiant pour déplacer ou transporter des objets sans friction.
La construction du trou flottant à air commun :
a) Structure d'étranglement de l'orifice
b) Structure poreuse
La plus grande taille personnalisée : longueur 1600 mm, largeur 1000 mm
L'équipement de transport et de déplacement de charge sans contact vise principalement à améliorer les problèmes causés par la technologie de manipulation traditionnelle une fois que le substrat en verre devient plus grand, car dans le processus de transport et de déplacement de charge, il n'est pas directement en contact avec l'objet opérationnel, ce qui permet d'éviter l'apparition de fixation de polluants, de stress, d'électricité statique et de dommages au substrat de verre. Le matériau poreux, en revanche, réduit considérablement le débit de gaz, permet d'obtenir une pression d'air uniforme et une bonne répartition du coussin d'air, et offre une hauteur de flottement suffisante requise pour le fonctionnement.