Дом
Продукты
Плавающая платформа на пористом воздухе с технологией передачи нагрузки бесконтактным способом для полупроводниковой промышленности
Традиционная воздушная плавучая платформа обычно использует технологию дросселирования с небольшими отверстиями, дросселирования тора или щелевого дросселирования, которая характеризуется простой технологией обработки, но при изменении давления подаваемого воздуха легко создать явление свиста, звук резкий, а подшипник Производительность также колеблется, что не подходит для тихой и стабильной рабочей среды под давлением.
Традиционные стеклянные подложки TFT-LCD выполняются с помощью роботизированных манипуляторов (роботов) и систем AGV (автоматизированных транспортных средств). Стеклянная подложка в процессе производства. Это контактная операция с грузоперемещающей платформой (или роликом). Когда стеклянная подложка соприкасается с платформой или роликом для перемещения груза, прикосновение и трение вызывают повреждения или дефекты, такие как отсутствие углов, растрескивание, повреждение, загрязнение и статическое электричество на поверхности стеклянной подложки, а затем влияют на производство. Выход и качество продукции, помимо использования нагрузки при вращении роликов, все еще сталкиваются с техническими проблемами, которые необходимо преодолеть. Эти проблемы оказывают глубокое влияние на эффективность производства стеклянных подложек большого размера и требуют срочного решения. Если технология бесконтактной воздушной плавающей платформы сможет заменить проблемы, возникающие при использовании традиционной технологии контактного смещения нагрузки, это станет эффективным решением. Преимущества воздушной плавающей системы:
1. Нулевое трение.
2. Нулевой износ.
3. Возможно прямое движение и вращение.
4. Бесшумная и плавная работа.
5. Более высокое демпфирование.
6. Исключите масло.
Структура воздушной плавучей платформы состоит из нанопористой керамики, встроенной в основание и образующей вакуумную камеру. Чистый сжатый воздух без воды и масла подается в воздушный зазор между несущей поверхностью и воздушной плавающей направляющей через газопровод. Газ течет в воздушном зазоре, заставляя опорную поверхность плавать на воздушной направляющей. Газ действует как смазка для перемещения или транспортировки объектов без трения.
Конструкция обычного воздушного плавающего отверстия:
а) Конструкция дросселирования отверстия
б) Пористая структура
Самый большой индивидуальный размер: длина 1600 мм, ширина 1000 мм.
Оборудование для бесконтактной транспортировки и перемещения груза в основном предназначено для устранения проблем, вызванных традиционными технологиями обработки после того, как стеклянная подложка становится больше, поскольку в процессе транспортировки и перемещения груза он не находится в непосредственном контакте с объектом эксплуатации, поэтому можно избежать возникновения от присоединения загрязняющих веществ, стресса, статического электричества и повреждения стеклянной подложки. Пористый материал, напротив, значительно снижает поток газа, обеспечивает равномерное давление воздуха и хорошее распределение воздушной подушки, а также обеспечивает достаточную высоту плавания, необходимую для работы.