Пористая воздушная плавающая платформа с технологией передачи нагрузки бесконтактным способом для полупроводниковой промышленности

С развитием технологии газовой смазки воздушно-плавающая платформа с ее низким трением, высокой чистотой, длительным сроком службы и высокой точностью движения широко используется при необходимости компенсации гравитационных воздействий и испытаний, но ее применение ограничивается высоким уровнем шума, низкими недостатками подшипников, требованиями тихой рабочей среды и высокими требованиями к подшипникам.

Связаться с нами

Описание продукта

Видео

Традиционная плавучая воздушная платформа обычно использует технологию дросселирования с малым отверстием, тороидального дросселирования или щелевого дросселирования, которая характеризуется простой технологией обработки, но при изменении давления подаваемого воздуха легко возникает свистящий эффект, звук резкий, а несущая способность также колеблется, что не подходит для тихой и стабильной рабочей среды под давлением.

Традиционные стеклянные подложки TFT-LCD выполняются с помощью роботизированных рук (роботов) и AGV (автоматически управляемых транспортных средств). Стеклянная подложка в процессе производства. Это контактная операция с платформой смещения нагрузки (или роликом). Когда стеклянная подложка соприкасается с платформой смещения нагрузки или роликом, касание и трение вызывают эти повреждения или дефекты, проблемы отсутствующих углов, трещин, повреждений, загрязнения и статического электричества на поверхности стеклянной подложки, а затем влияют на выход продукции и качество продукции, в дополнение к использованию передачи нагрузки вращением ролика, все еще имеют технические проблемы, которые необходимо преодолеть. Эти проблемы оказывают глубокое влияние на эффективность производства стеклянных подложек большого размера и срочно нуждаются в улучшении. Если технология бесконтактной воздушной плавающей платформы сможет заменить проблемы, возникающие из традиционной технологии контактного смещения нагрузки, это будет эффективным решением.

Преимущества системы Air Floating:

1. Нулевое трение.

2. Нулевой износ.

3. Применимы прямолинейное движение и вращательное движение.

4. Бесшумная и плавная работа.

5. Более высокое демпфирование.

6. Удалите масло.

Принцип работы:

Конструкция воздушной плавающей платформы состоит из нанопористой керамики, встроенной в основание, образуя вакуумную камеру. Чистый сжатый воздух без примесей воды и масла подается в воздушный зазор между опорной поверхностью и направляющей по газовой трубе. Газ, протекая через воздушный зазор, обеспечивает плавающее движение опорной поверхности по направляющей. Газ действует как смазка, обеспечивая перемещение или транспортировку объектов без трения.

Конструкция для обычного воздушного плавающего отверстия:

а) Дроссельная конструкция

б) Пористая структура

Наибольший индивидуальный размер: длина 1600 мм, ширина 1000 мм

Технология передачи нагрузки бесконтактной воздушной плавучей платформы:

Бесконтактное транспортное и грузоперемещающее оборудование предназначено, главным образом, для решения проблем, возникающих при использовании традиционных технологий обработки стеклянной подложки, поскольку в процессе транспортировки и перемещения груза отсутствует непосредственный контакт с обрабатываемым объектом, что позволяет избежать прилипания загрязняющих веществ, возникновения напряжений, статического электричества и повреждения стеклянной подложки. Пористый материал, в свою очередь, значительно снижает поток газа, обеспечивает равномерное давление воздуха и хорошее распределение воздушной подушки, а также обеспечивает достаточную высоту парения, необходимую для работы.