domov
Izdelki
Porozna zračna lebdeča platforma s tehnologijo prenosa obremenitve brezkontaktnega načina za industrijo polprevodnikov
Tradicionalna zračna lebdeča platforma na splošno uporablja tehnologijo dušenja z majhnimi luknjami, torusnega dušenja ali reže, za katero je značilna preprosta tehnologija obdelave, ko pa se tlak dovodnega zraka spremeni, je enostavno ustvariti pojav žvižganja, zvok je oster in ležaj niha tudi zmogljivost, kar ni primerno za tiho in stabilno delovno okolje pod pritiskom.
Tradicionalne steklene podlage TFT-LCD izdelajo robotske roke (roboti) in sistemi AGV (avtomatsko vodeno vozilo). Steklena podlaga v proizvodnem procesu. Gre za kontaktno delovanje s ploščadjo (ali valjem) za premikanje tovora. Ko je steklena podlaga v stiku s ploščadjo ali valjem za premikanje obremenitve, dotik in trenje povzroči te poškodbe ali napake, težave z manjkajočimi vogali, razpokami, poškodbami, kontaminacijo in statično elektriko na površini steklene podlage, nato pa vpliva na proizvodnjo izkoristek in kakovost izdelkov, poleg uporabe obremenitve prenosa vrtenja valja, še vedno obstajajo tehnične težave, ki jih je treba premagati. Te težave močno vplivajo na proizvodno učinkovitost steklenih substratov velikih velikosti in jih je nujno treba izboljšati. Če lahko tehnologija brezkontaktne zračne lebdeče platforme nadomesti težave, ki izhajajo iz tradicionalne tehnologije prenosa kontaktne obremenitve, bo to učinkovita rešitev. Prednosti zračnega plavajočega sistema:
1. Brez trenja.
2. Brez obrabe.
3. Uporablja se ravno gibanje, rotacijsko gibanje.
4. Tiho in gladko delovanje.
5. Večje dušenje.
6. Odstranite olje.
Struktura zračne lebdeče platforme je sestavljena iz nanoporozne keramike, vdelane v osnovo, da tvori vakuumsko komoro. Čist stisnjen zrak brez vode in olja se skozi plinsko cev dovaja v zračno režo med nosilno površino in zračno lebdečo vodilno tirnico. Plin teče v reži zračnega načina, da naležna površina lebdi na zračni lebdeči vodilni tirnici. Plin deluje kot mazivo za premikanje ali transport predmetov brez trenja.
Konstrukcija za skupno zračno plavajočo luknjo:
a) Struktura dušilne odprtine
b) Porozna struktura
Največja velikost po meri: dolžina 1600 mm, širina 1000 mm
Brezkontaktna oprema za transport in premik tovora je namenjena predvsem izboljšanju težav, ki jih povzroča tradicionalna tehnologija ravnanja po povečanju steklene podlage, ker v procesu transporta in prestavljanja tovora ni v neposrednem stiku s predmetom delovanja, tako da se lahko izogne pojavu oprijema onesnaževal, napetosti, statične elektrike in poškodbe steklene podlage. Porozni material pa bistveno zmanjša pretok plinov, doseže enakomeren zračni tlak in dobro porazdelitev zračne blazine ter zagotavlja zadostno lebdečo višino, potrebno za delovanje.