itthon
Termékek
Porózus, levegős lebegő platform érintésmentes üzemmódú teherátviteli technológiával a félvezetőipar számára
A hagyományos levegős lebegő platform általában kis lyuk fojtó, tórusz fojtó vagy rés fojtó technológiát alkalmaz, amelyet az egyszerű feldolgozási technológia jellemez, de amikor a befúvott levegő nyomása megváltozik, könnyű sípoló jelenséget előidézni, a hang éles és a csapágy a kapacitás is ingadozik, ami nem alkalmas csendes és stabil nyomású munkakörnyezetre.
A hagyományos TFT-LCD üvegfelületeket robotkarok (robotok) és AGV (automatizált irányított jármű) rendszerek végzik. Üveghordozó a gyártási folyamatban. Ez egy érintkezési művelet a tehermozgató platformmal (vagy görgővel). Amikor az üveghordozó érintkezik a tehermozgató platformmal vagy hengerrel, az érintés és a súrlódás ezeket a sérüléseket vagy hibákat okozza, mint a hiányzó sarkok, repedések, sérülések, szennyeződések és az üveghordozó felületén lévő statikus elektromosság, és ez befolyásolja a gyártást. a hozam és a termékminőség, a görgős forgásátviteli terhelés alkalmazása mellett még technikai problémákat kell megoldani. Ezek a problémák jelentős hatással vannak a nagyméretű üveghordozók gyártási hatékonyságára, és sürgősen javítani kell. Ha az érintésmentes levegős lebegő platform technológia képes pótolni a hagyományos érintkezős terheléseltolódási technológiából adódó problémákat, akkor ez hatékony megoldás lesz. A léglebegő rendszer előnyei:
1. Nulla súrlódás.
2. Nulla kopás.
3. Az egyenes mozgás, a forgó mozgás alkalmazható.
4. Csendes és egyenletes működés.
5. Magasabb csillapítás.
6. Távolítsa el az olajat.
A levegőben lebegő platform szerkezete nanoporózus kerámiából áll, amely az alapba ágyazva vákuumkamrát alkot. tiszta, víz- és olajmentes sűrített levegő kerül a csapágyfelület és a levegőben lebegő vezetősín közötti légrésbe a gázcsövön keresztül. A gáz a levegő üzemmódú résben áramlik, hogy a csapágyfelület lebegjen a levegőben lebegő vezetősínen. A gáz kenőanyagként működik a tárgyak súrlódás nélküli mozgatásához vagy szállításához.
A közös levegős lebegő lyuk felépítése:
a) A nyílás fojtó szerkezete
b) Porózus szerkezet
A legnagyobb egyedi méret: hossz 1600mm, szélesség 1000mm
Az érintésmentes szállító és tehermozgató berendezések elsősorban a hagyományos kezelési technológia által okozott problémák javítására szolgálnak, miután az üveghordozó megnő, mivel a szállítási és tehermozgatási folyamat nem érintkezik közvetlenül a műveleti tárggyal, így elkerülhető az előfordulás szennyezőanyag tapadásának, feszültségnek, statikus elektromosságnak és az üvegfelület károsodásának. A porózus anyag viszont jelentősen csökkenti a gázáramlást, egyenletes légnyomást és jó légpárnaeloszlást biztosít, valamint a működéshez szükséges megfelelő lebegési magasságot biztosítja.