Гэр
Материал
0102030405
Цахиурын карбидыг зэврэлтэнд тэсвэртэй эд анги, битүүмжлэлийн эд анги, өндөр температурт тэсвэртэй эд анги, чиглүүлэгч төмөр зам, дөрвөлжин цацрагт ашигладаг.
Цахиур карбидын керамик нь өндөр бат бэх, өндөр хатуулаг, уян хатан модуль, өндөр дулаан дамжуулалт, бага дулаан тэлэлтийн коэффициент зэрэг өндөр температурт тогтвортой байдал зэрэг хэвийн температурт маш сайн механик шинж чанартай, ялангуяа тохиромжтой тусгай хөшүүн чанар, оптик боловсруулалтын шинж чанартай байдаг. нарийн керамик бүтцийн хэсгүүдэд зориулсан фотолитографийн машин болон бусад нэгдсэн хэлхээний төхөөрөмжийг бэлтгэхэд зориулагдсан. Фотолитографийн машинд нарийн хөдөлгөөнт бэлдэцийн ширээ, араг яс, сорох аяга, усан хөргөлттэй хавтан ба нарийн хэмжилтийн толь, сараалжтай болон бусад керамик бүтцийн эд ангиуд, олон жилийн техникийн судалгааны үр дүнд Fountyl шинэ материалыг ашиглаж, том хэмжээтэй, нимгэн хана, цахиурын карбидын бүтцийн эд ангиудын хөндий болон бусад нарийн төвөгтэй бүтэцтэй нарийн боловсруулалт, бэлтгэлийн асуудлууд, энэ төрлийн нарийн цахиурын карбидын бүтцийн эд анги бэлтгэх технологийн техникийн саад бэрхшээлийг даван туулах. Энэ нь нэгдсэн хэлхээний үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид ашиглагддаг үндсэн бүтцийн хэсгүүдийг нутагшуулахад ихээхэн дэмжлэг үзүүлсэн.
● Цахиурын карбидын керамик нь ихэвчлэн даралтгүй агшилтын цахиурын карбид (SSiC), урвалд шингэсэн цахиурын карбид (RBSC), химийн уураар хуримтлуулах цахиурын карбид (CVD-SiC) орно.
● Цахиурын карбид нь төрөл бүрийн маш сайн шинж чанартай: супер хатуу, элэгдэлд тэсвэртэй, өндөр дулаан дамжуулалт ба механик бат бөх, бага дулаан тэлэлтийн коэффициент, маш сайн дулааны тогтвортой байдал, бага нягтрал, өндөр өвөрмөц хөшүүн чанар, соронзон бус.
● Одоогийн байдлаар цахиурын карбидын керамик нь агаарын тээвэр, сансар судлал, цөмийн үйлдвэр зэрэг төрөл бүрийн салбарт, тухайлбал цахиур карбидын керамик цацруулагч, IC нэгдсэн хэлхээний үйлдвэрлэл, дулаан солилцогч, сум нэвтэрдэггүй материал зэрэг өндөр зэрэглэлийн тоног төхөөрөмжийн керамик эд ангиудыг эрс тэс нөхцөлд ашиглаж байна.
Нэгдсэн хэлхээний үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжийн нарийн керамик бүтцийн хэсгүүдийн онцлогууд:
① Маш хөнгөн жинтэй: Хөдөлгөөний инерцийг багасгах, моторын ачааллыг багасгах, хөдөлгөөний үр ашиг, байршлын нарийвчлал, тогтвортой байдлыг сайжруулахын тулд бүтцийн хэсгүүд нь ерөнхийдөө хөнгөн бүтэцтэй дизайныг ашигладаг, хөнгөн жин нь 60-80%, 90% хүртэл;
② Хэлбэрийн байрлалын өндөр нарийвчлал: Хөдөлгөөн, байрлалыг өндөр нарийвчлалтай болгохын тулд бүтцийн хэсгүүд нь хэлбэр, байрлалын маш өндөр нарийвчлалтай, тэгш байдал, параллелизм, перпендикуляр байдал нь 1μm-ээс бага байх шаардлагатай. байрлалын нарийвчлал 5μм-ээс бага байх шаардлагатай.
③ Хэмжээсийн өндөр тогтвортой байдал: Өндөр нарийвчлалтай хөдөлгөөн, байрлалыг бий болгохын тулд бүтцийн хэсгүүд нь хэт өндөр хэмжээст тогтвортой байдал, ачаалал үүсгэхгүй байх шаардлагатай бөгөөд дулаан дамжуулалт өндөр, дулааны тэлэлтийн коэффициент бага, том хэмжээст хэв гажилт үүсгэхэд хялбар биш юм. ;
④ Цэвэр, бохирдолгүй. Бүтцийн хэсгүүд нь маш бага үрэлтийн коэффициенттэй, хөдөлгөөний явцад кинетик энергийн алдагдал багатай, нунтаглах хэсгүүдийн бохирдолгүй байх шаардлагатай. Цахиур карбидын материал нь маш өндөр уян хатан модуль, дулаан дамжилтын илтгэлцүүр, дулааны тэлэлтийн бага коэффициенттэй, гулзайлтын стрессийн хэв гажилт, дулааны суналтыг бий болгоход хялбар биш, маш сайн өнгөлгөөтэй, маш сайн толин тусгал болгон боловсруулах боломжтой; Иймд цахиур карбидыг фотолитографийн машин гэх мэт нэгдсэн хэлхээний гол төхөөрөмжид нарийн бүтцийн материал болгон ашиглах нь ихээхэн давуу талтай. Цахиур карбид нь химийн тогтвортой байдал, механик бат бэх, дулаан дамжуулалт өндөр, дулаан тэлэлтийн коэффициент бага зэрэг давуу талтай. өндөр температур, өндөр даралт, зэврэлт, цацрагийн эрс тэс орчинд хэрэглэх боломжтой.
Цахиур карбид нь химийн тогтвортой байдал, механик бат бөх чанар, дулаан дамжуулалт өндөр, дулааны тэлэлтийн коэффициент бага зэрэг давуу талтай бөгөөд өндөр температур, өндөр даралт, зэврэлт, цацрагийн эрс тэс орчинд хэрэглэх боломжтой.
Нэгдсэн хэлхээний гол төхөөрөмж нь бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн материал нь хөнгөн жинтэй, өндөр бат бэх, өндөр дулаан дамжуулалт, дулааны тэлэлтийн коэффициент багатай, нягт, жигд, согоггүй байхыг шаарддаг. Тоног төхөөрөмжийн хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөн, хяналтыг хангахын тулд эд ангиуд нь хэмжээсийн өндөр нарийвчлал, хэмжээсийн тогтвортой байдлыг шаарддаг. Цахиур карбидын керамик нь уян хатан модуль, өвөрмөц хөшүүн чанар өндөртэй, хэв гажилтанд амархан байдаггүй, өндөр дулаан дамжуулалттай, дулаан тэлэлтийн коэффициент багатай, дулааны тогтвортой байдал өндөртэй байдаг тул цахиур карбид керамик нь одоогоор нэгдсэн хэлхээний үйлдвэрлэлд байгаа маш сайн бүтцийн материал юм. Цахиурын карбидын ажлын ширээ бүхий литографийн машин, чиглүүлэгч төмөр зам, тусгал, керамик патрон, керамик төгсгөлийн эффектор зэрэг өргөн хүрээний хэрэглээг олж авах гол тоног төхөөрөмж.
Фоунтил нь том хэмжээтэй, хөндий нимгэн ханатай, нарийн төвөгтэй бүтэцтэй, цахиур карбидын вакуум патрон, чиглүүлэгч төмөр зам, тусгал, ажлын ширээ гэх мэт нарийн бүтэцтэй, нарийн бүтэцтэй, цахиур карбидын эд анги бэлтгэх технологи бүхий нэгдсэн хэлхээний үндсэн тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэдэг фотолитографийн машиныг төлөөлөх боломжтой. мөн фотолитографийн машинд зориулсан нарийн цахиурын карбидын бүтцийн хэсгүүдийн цуврал.
| Үл хөдлөх хөрөнгө | Фоунтил | ||
| Нягт（г/см3) | 2.98-3.02 | ||
| Янгийн модуль (GPa) | 368 | ||
| Гулзайлтын бат бэх (МПа) | 334 | ||
| Вейбулл | 8.35 | ||
| CTE（×10-6/℃） | 100℃ | 2.8×10-6 | |
| 400℃ | 3.6×10-6 | ||
| 800℃ | 4.2×10-6 | ||
| 1000℃ | 4.6×10-6 | ||
| Дулаан дамжуулалт (Вт/м·к) (20 ºC) | 160-180 | ||
| Пуассоны харьцаа | 0.187 | ||
| Шилжилтийн модуль（GPa） | 155 | ||