① Erittäin kevyt: liikkeen hitauskyvyn vähentämiseksi, moottorin kuormituksen vähentämiseksi, liikkeen tehokkuuden, paikannustarkkuuden ja vakauden parantamiseksi rakenneosat käyttävät yleensä kevyttä rakennesuunnittelua, kevytpaino on 60-80%, jopa 90%;
② Korkea muoto-asennon tarkkuus: Erittäin tarkan liikkeen ja asennon saavuttamiseksi rakenneosien muoto- ja sijaintitarkkuuden on oltava erittäin korkea, tasaisuuden, yhdensuuntaisuuden ja kohtisuoran on oltava alle 1 μm, ja muodon ja paikantamisen on oltava erittäin korkea. sijainnin tarkkuuden on oltava alle 5 μm.
③ Korkea mittojen vakaus: Korkean tarkkuuden liikkeen ja sijoituksen saavuttamiseksi rakenneosilla on oltava erittäin korkea mittojen vakaus, ne eivät aiheuta jännitystä ja korkea lämmönjohtavuus, alhainen lämpölaajenemiskerroin, ei ole helppo tuottaa suuria muodonmuutoksia ;
④ Puhdas ja saasteeton. Rakenneosilla vaaditaan erittäin alhainen kitkakerroin, pieni liike-energiahäviö liikkeen aikana, eikä hiomahiukkasten saastumista. Piikarbidimateriaalilla on erittäin korkea kimmokerroin, lämmönjohtavuus ja alhainen lämpölaajenemiskerroin, ei ole helppo tuottaa taivutusjännityksen muodonmuutoksia ja lämpöjännitystä, ja sillä on erinomainen kiillotettavuus, se voidaan työstää erinomaiseksi peiliksi; Siksi piikarbidilla on suuria etuja käyttää tarkkuusrakennemateriaalina integroitujen piirien, kuten fotolitografiakoneen, tärkeimpiin laitteisiin, piikarbidin etuna on hyvä kemiallinen stabiilius, korkea mekaaninen lujuus, korkea lämmönjohtavuus ja alhainen lämpölaajenemiskerroin, ja sitä voidaan käyttää korkeissa lämpötiloissa, korkeassa paineessa, korroosiossa ja säteilyssä äärimmäisissä ympäristöissä.
Piikarbidin etuna on hyvä kemiallinen stabiilisuus, korkea mekaaninen lujuus, korkea lämmönjohtavuus ja alhainen lämpölaajenemiskerroin, ja sitä voidaan käyttää korkeissa lämpötiloissa, korkeassa paineessa, korroosiossa ja säteilyssä äärimmäisissä ympäristöissä.
Integroidun piirin tärkeimmät varusteet edellyttävät, että komponenttimateriaalien ominaisuudet ovat keveys, korkea lujuus, korkea lämmönjohtavuus ja alhainen lämpölaajenemiskerroin, ja ne ovat tiiviitä ja tasalaatuisia ilman vikoja. Komponenteilta vaaditaan erittäin suurta mittatarkkuutta ja mittojen vakautta laitteiden erittäin tarkan liikkeen ja hallinnan varmistamiseksi. Piikarbidikeramiikalla on korkea kimmokerroin ja ominaisjäykkyys, sitä ei ole helppo muotoilla, ja sillä on korkea lämmönjohtavuus ja alhainen lämpölaajenemiskerroin, korkea lämpöstabiilisuus, joten piikarbidikeramiikka on erinomainen rakennemateriaali, joka on tällä hetkellä integroitujen piirien valmistuksessa. tärkeimmät laitteet monenlaisiin sovelluksiin, kuten litografiakone piikarbidilla varustettu työpöytä, ohjauskisko, heijastin, keraaminen istukka ja keraaminen päätetehostin.
Fountyl voi tavata fotolitografiakoneen integroitujen piirien valmistusavainlaitteiden edustajana, jolla on suuri koko, ontto ohut seinämä, monimutkainen rakenne, tarkkuus piikarbidirakenneosien valmistustekniikka, kuten: piikarbidi-tyhjiöistukka, ohjauskisko, heijastin, työpöytä ja sarja tarkkuuspiikarbidirakenneosia fotolitografiakoneeseen.